技术编号:5870665
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于具有用于测试集成电路、更特定地说用于遮蔽系统的电接头的探针卡,以及保护那些电接头的方法。背景技术 探针卡用于测试通常位于晶圆板上的晶片(如集成电路器件)。这些探针卡可与被称为检测器(有时称为探测器)的器件联合使用,其中该探针卡电子连接至该探测器器件,且该探针卡也依次电子连接至要测试的集成电路。在美国专利第5,640,100号(其以引用的方式并入本文)中说明了这种探测器/检测器的一实例。其它检测器也可结合本发明来修改与使用。该探针卡具有用于与集成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。