技术编号:5872166
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体失效分析领域,特别涉及一种包含埋入式位线及金属位线结构的存储器芯片位线失效分析方法。背景技术对于半导体器件的大规模生产,通过对设计和制造后的半导体器件进行失效分析是提高产率、改善工艺技术可靠性和稳定性的重要手段。对半导体存储器件而言,位线间的短路是一种常见的失效现象,位线的短路将使两条位线上的所有存储单元失去作用,使得存储芯片的存储容量降低,因此,针对半导体存储器件的位线失效分析是非常重要的。对于一些存在埋入式位线以及金属位线结构的特殊存储...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。