激光振动检测方法及其实施装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5882675

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本发明涉及一种对物体的振动进行精确测量和分析的设备,尤其涉及采用光测量方法对振动进行精确测量和分析的设备。背景技术 目前已经公开的用于振动、加速度检测领域的传感器有电磁式传感器、压电传感器、光学传感器三类。电磁式传感器和压电传感器的共同缺陷是接触式测量方式,需要与被测物体连接在一起,这会影响到被测振动,使测量不够准确。另外电磁式传感器存在比较严重的非线性,测量的动态范围小,而压电传感器的低频响应比较差。光学传感器是非接触测量方法,通常有干涉测量和多普勒测量...
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