技术编号:5887883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。探针台吸盘平整度的测量装置及千分表固定架本实用新型涉及半导体工业中的测试技术,特别是涉及一种探针台吸盘平整度的 测量装置及千分表固定架。背景技术探针台是半导体工业中用于晶圆测试的一种设备,包括探针卡和吸盘。探针台用 于完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台和测试机的信 号连接等功能。探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件,探针卡上的探针直接与 晶圆上的锡垫(pad)或凸块(bump)接触,引出电信号,再配合测试机进行测量...
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