专利名称：探针台吸盘平整度的测量装置及千分表固定架的制作方法
技术领域：
探针台吸盘平整度的测量装置及千分表固定架
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种探针台吸盘平整度的 测量装置及千分表固定架。
背景技术：
探针台是半导体工业中用于晶圆测试的一种设备，包括探针卡和吸盘。探针台用 于完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台和测试机的信 号连接等功能。探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件，探针卡上的探针直接与 晶圆上的锡垫(pad)或凸块(bump)接触，引出电信号，再配合测试机进行测量。吸盘是用来吸取晶圆的一个圆形装置，其利用真空方式吸附固定晶圆，表面有分 散圆孔或圆槽型真空通路，对其表面平整度的要求在微米数量级。探针台在调试和修理的 过程中，经常要测量内部的吸盘的平整度。图1是传统技术中测量吸盘平整度的装置在测量时的示意图。图中包括千分表 110、固定架120以及探针台200，探针台200又包括上盖板210、探针卡固定架220、移动平 台230以及吸盘240。千分表110固定在固定架120上，且千分表110的测头置于吸盘240 上以测量其平整度，固定架120置于上盖板210上。通过控制移动平台230在平面上进行 移动，带动吸盘240相对于千分表110的测头进行运动，吸盘表面的起伏通过测头反映在千 分表110上，从而遍测吸盘240上表面的平整度。然而上盖板210表面未做精密加工处理，较为粗糙，再加上固定架120是磁性固定 架，而上盖板210通常是铝或其他不易磁化的材料所制，所以固定架120无法吸附在上盖板 210上，在测量平整度时易产生滑动，因此测量时会有较大误差，导致传统技术测量吸盘平 整度时不准确。
实用新型内容基于此，有必要提供一种能够精确测量探针台吸盘平整度的测量装置。一种探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，包括千分表，包括用于测量高 度的前端测头；调节装置，与千分表配合连接对千分表的位置进行调节；千分表固定架，所 述千分表固定架包括中间开设通孔的平板；所述调节装置与平板固定连接，所述前端测头 穿过所述通孔与吸盘接触，以测量吸盘表面的平整度；所述平板的横截面形状与需要测量 的探针台的探针卡相同，与探针台内部的探针卡固定架紧密卡合。优选的，所述平板上还设有抓取孔。优选的，所述千分表为电子式的数字千分表。优选的，还包括测试机，所述测试机与所述数字千分表连接，获取并记录数字千分 表采集的平整度数据。优选的，还包括个人电脑，所述个人电脑获取并处理所述测试机记录的平整度数
3据生成平整度分布图并进行显示。优选的，还包括个人电脑和探针台，所述探针台获取测试机记录的平整度数据并 保存，所述个人电脑获取探针台保存的平整度数据并进行进一步处理，生成平整度分布图 并进行显示。还有必要提供一种能提高千分表测量时准确度的千分表固定架。还有必要提供一种能与千分表配合，精确测量探针台吸盘平整度的千分表固定
^K O一种千分表固定架，包括中间开设通孔的平板，所述通孔用于供千分表的测头穿 过所述平板，所述平板的横截面形状与需要测量的探针台的探针卡相同。优选的，所述平板上还设有抓取孔。上述探针台吸盘平整度的测量装置的千分表固定架与需要测量的探针台的探针 卡横截面积相同，能够紧固卡合在探针台的探针卡固定架上，又由于探针卡固定架的表面 是做了精密加工处理的，因此测量的结果非常精确。采用数字千分表，能避免读数误差，测量结果更准确。采用包括测试机在内的电子式测试系统，自动化程度高，操作简便，测试效率也得 到了提高。
图1是传统技术中测量吸盘平整度的装置在测量时的示意图；图2是一个实施例的探针台吸盘平整度的测量装置在测量时的示意图；图3是另一个实施例中探针台吸盘平整度的测量装置的结构示意图。
具体实施方式图2是一个实施例的探针台吸盘平整度的测量装置在测量时的示意图。包括探针 台吸盘平整度的测量装置以及探针台200。探针台吸盘平整度的测量装置包括千分表310、 千分表固定架320以及调节装置(图未示)。千分表310又包括用于测量高度的前端测头。 探针台200包括上盖板210、探针卡固定架220、移动平台230以及吸盘240。调节装置与千分表310配合连接，用于对千分表的位置进行调节，使千分表310的 前端测头的位置能与吸盘240匹配。在优选的实施例中，调节装置以螺栓连接的方式固定 在千分表固定架320上。探针卡固定架220是探针台200内部固定探针卡的装置，而在测试吸盘240的平 整度时，探针卡是被取下的，本实用新型就在测试吸盘240的平整度时，巧妙的将千分表固 定架320固定在探针卡固定架220上。千分表固定架320包括一块中间开设通孔的平板，千分表310的前端测头穿过通 孔与吸盘240接触。该平板的横截面形状与探针台200的探针卡相同，因此能紧密卡合在 探针卡固定架220上。又由于探针卡固定架220的表面经过精密加工处理，因此与千分表 固定架320紧密贴合，不会因为千分表310与吸盘的接触带动千分表固定架320产生振动， 影响测试结果，因此测量的结果非常精确。在测量时，千分表310的测头置于吸盘240上，通过控制移动平台230在平面上进 行移动，带动吸盘240相对于千分表310的测头进行运动，从而遍测吸盘240表面的平整[0028]在优选的实施方式中，千分表固定架320的制造材料为不锈钢。平板上还设有抓 取孔(图未示)，供移动千分表固定架320时操作员的手指穿过去进行抓取。在另一个实施例中，可以采用电子式的测量装置。其将第一个实施例的千分表310 换成数字千分表。在优选的实施例中，数字千分表可以将测量的数据进行输出，输出的数据 可以是模拟信号也可以是数字信号。图3是另一个实施例中探针台吸盘平整度的测量装置 的结构示意图。包括测试机402、探针台200、数字千分表406。测试机402是专门用于集成电路测试的一种装置，具有各种测量单元，通过程序 控制，可以测量电流、电压等各种电信号，实现各种集成电路性能的测试，其可以和探针台 200配合，实现晶圆的测试。探针台200控制测试过程，在需要测试的物体到位后，向测试机402发送开始测试 的信号，同时控制移动平台230开始移动，进行测试。数字千分表406采集平整度数据，并 将数据传送给测试机402，由测试机402记录平整度分布数据，并将平整度数据传送给探针 台200保存。在优选的实施例中，还可以由测试机402或探针台200将平整度数据传送给 PC (Personal Computer,个人电脑)，由PC进行进一步的处理，并生成平整度分布图或以其 他形式进行直观的显示。在优选的实施例中，平整度分布图是将需要测量的区域分为多个 小块，并将高度值(平整度)不同的小块以不同的颜色进行渲染，从而能直观地看出吸盘平 整度的情况。采用电子式的测量装置，能避免读数误差，测量结果更准确；且自动化程度高，操 作简便，测试效率也得到了提高。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，包括 千分表，包括用于测量高度的前端测头；调节装置，与千分表配合连接，对千分表的位置进行调节；千分表固定架，所述千分表固定架包括中间开设通孔的平板；所述调节装置与平板固 定连接，所述前端测头穿过所述通孔与吸盘接触，以测量吸盘表面的平整度；所述平板的横 截面形状与需要测量的探针台的探针卡相同，与探针台内部的探针卡固定架紧密卡合。
2.根据权利要求1所述的探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，所述平板上还 设有抓取孔。
3.根据权利要求1或2所述的探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，所述千分表 为电子式的数字千分表。
4.根据权利要求3所述的探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，还包括测试机， 所述测试机与所述数字千分表连接，获取并记录数字千分表采集的平整度数据。
5.根据权利要求4所述的探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，还包括个人电 脑，所述个人电脑获取并处理所述测试机记录的平整度数据生成平整度分布图并进行显示。
6.根据权利要求4所述的探针台吸盘平整度的测量装置，其特征在于，还包括个人电 脑和探针台，所述探针台获取测试机记录的平整度数据并保存，所述个人电脑获取探针台 保存的平整度数据并进行进一步处理，生成平整度分布图并进行显示。
7. 一种千分表固定架，其特征在于，包括中间开设通孔的平板，所述通孔用于供千分表 的测头穿过所述平板，所述平板的横截面形状与需要测量的探针台的探针卡相同。
8.根据权利要求7所述的千分表固定架，其特征在于，所述平板上还设有抓取孔。
专利摘要本实用新型涉及一种探针台吸盘平整度的测量装置，包括千分表，包括用于测量高度的前端测头；调节装置，与千分表配合连接，用于对千分表的位置进行调节；千分表固定架，所述千分表固定架包括中间开设通孔的平板；所述调节装置与平板固定连接，所述前端测头穿过所述通孔与所述吸盘接触，以测量吸盘表面的平整度；所述平板与探针台内部的探针卡固定架紧密卡合。本实用新型还涉及一种千分表固定架。本实用新型的千分表固定架与需要测量的探针台的探针卡横截面积相同，能够紧固卡合在探针卡固定架上，又由于探针卡固定架的表面是经过精密加工处理的，因此测量的结果非常精确。采用数字千分表，能避免读数误差，测量结果更准确。
文档编号G01B5/28GK201780093SQ20102013000
公开日2011年3月30日 申请日期2010年3月12日 优先权日2010年3月12日
发明者顾汉玉 申请人:华润赛美科微电子(深圳)有限公司