技术编号:5891315
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空产品的真空漏率检测。 背景技术一般对真空产品进行真空漏率检查,都是采用真空检漏仪与产品直接连接来进行 检查,如图1。该种方法存在以下缺点1、检漏仪真空系统附带的粗抽泵的功率一般都比较小,对腔体容积较大的真空产 品,抽真空达到规定的测试真空度条件,耗时比较长;2、对腔体容积较大的产品进行真空检漏,检漏仪会因长时间高负荷的运行,对检 漏仪的使用寿命有很大的影响;3、体积大的真空产品内腔,当没有专用设备整体洗净时,人工洗净的内腔通常达 不到...
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