专利名称：一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空产品的真空漏率检测。
背景技术：
一般对真空产品进行真空漏率检查，都是采用真空检漏仪与产品直接连接来进行 检查，如图1。该种方法存在以下缺点1、检漏仪真空系统附带的粗抽泵的功率一般都比较小，对腔体容积较大的真空产 品，抽真空达到规定的测试真空度条件，耗时比较长；2、对腔体容积较大的产品进行真空检漏，检漏仪会因长时间高负荷的运行，对检 漏仪的使用寿命有很大的影响；3、体积大的真空产品内腔，当没有专用设备整体洗净时，人工洗净的内腔通常达 不到高精度检漏仪要求的洁净度，在这种状态下抽真空，检漏仪零部件易损坏，特别是系统 中的分子泵；4、检漏仪一般在净空房的环境下使用，环境达不到洁净度要求时，检漏仪的精度 下降比较快。
发明内容本实用新型要解决现有的真空检漏方法存在费时、检查精度低、检漏仪寿命短的 问题，提供了一种检测时间短、精度高、检漏仪寿命延长的用于大型真空腔体批量真空检漏 的系统。本实用新型的技术方案一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，包括真空检漏仪，其特征在于所述 真空检漏仪并接有真空粗抽泵，所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统 粗抽时的真空度动态数据的真空托表上，所述真空托表的另一侧与检测产品连接。进一步，所述真空托表上连接有多个检查产品。进一步，所述真空托表与检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪之间均设有真空阀 门。进一步，所述真空托表的连接管路上设有预留接口。进一步，所述真空托表与真空阀门之间通过无缝钢管连接。进一步，所述检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪与真空阀门之间均通过波纹管连 接。本实用新型在检漏时，先用真空粗抽泵对大型真空产品进行粗抽，待被检测产品 中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查。本实用新型的有益效果1、系统实现了几个产品同时粗抽，针对批量的大型真空产品漏率检测，大大缩短 了检测时间；发生异常漏率时，也可通过阀门控制接入系统的产品，一一确认；[0018]2、通过真空托表获得系统的动态真空度数据；3、该系统先对产品进行粗抽，相对净化了产品中的空气，使其达到高精度检漏仪 要求的洁净度，使检漏仪保持灵敏状态；延长检漏仪的使用寿命。
图1是传统检漏真空系统的示意图。图2是本实用新型的真空检漏系统示意图。
具体实施方式
参照图2，一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，包括真空检漏仪1，所述 真空检漏仪1并接有真空粗抽泵2，所述真空检漏仪1与所述粗抽泵2均连接在用于获得 真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表4上，所述真空托表4的另一侧与检测产品 6连接。所述真空托表4上连接有多个检查产品6。所述真空托表4与检查产品6、真空粗抽泵2、真空检漏仪1之间均设有真空阀门 3。所述真空托表4的连接管路上设有预留接口 5。所述真空托表4与真空阀门3之间通过无缝钢管连接。所述检查产品6、真空粗抽泵2、真空检漏仪1与真空阀门3之间均通过波纹管连 接。其具体实施步骤如下1、将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；2、关闭控制真空检漏仪的真空阀门；3、打开真空粗抽泵的真空阀门，打开真空粗抽泵进行粗抽；4、观察真空托表，当真空托表的数据达到高真空度；5、关闭控制粗抽泵的真空阀门，停止粗抽；6、开启高精度检漏仪，仪器完成自检进入检查状态后，打开控制检漏仪的真空阀 门；7、对产品进行真空漏率检查；8、当出现系统漏率异常，需要对单个产品进行检查确认时，关闭关联回路中的其 它几个真空阀门，一一检测；本说明书实施例所述的内容仅仅是对实用新型构思的实现形式的列举，本实用新 型的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本实用新型的保护范围也 及于本领域技术人员根据本实用新型构思所能够想到的等同技术手段。
权利要求一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，包括真空检漏仪，其特征在于所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵，所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上，所述真空托表的另一侧与检测产品连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于 所述真空托表上连接有多个检查产品。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在 于所述真空托表与检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪之间均设有真空阀门。
4.根据权利要求2所述的一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于 所述真空托表的连接管路上设有预留接口。
5.根据权利要求4所述的一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于 所述真空托表与真空阀门之间通过无缝钢管连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于 所述检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪与真空阀门之间均通过波纹管连接。
专利摘要一种用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，包括真空检漏仪，所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵，所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上，所述真空托表的另一侧与检测产品连接。本实用新型的有益效果1、系统实现了几个产品同时粗抽，针对批量的大型真空产品漏率检测，大大缩短了检测时间；发生异常漏率时，也可通过阀门控制接入系统的产品，一一确认；2、通过真空托表获得系统的动态真空度数据；3、该系统先对产品进行粗抽，相对净化了产品中的空气，使其达到高精度检漏仪要求的洁净度，使检漏仪保持灵敏状态；延长检漏仪的使用寿命。
文档编号G01M3/34GK201724796SQ20102019520
公开日2011年1月26日 申请日期2010年5月19日 优先权日2010年5月19日
发明者唐建强, 张志成, 徐磊, 戴永成, 李天普, 阮根才 申请人:杭州大和热磁电子有限公司