技术编号：5892198
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检测废液浓度的方法与设备，特别是涉及一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备。背景技术 目前在超大规模集成电路(Very Large Scale Integration；VLSI)的制造过程中，由于在许多制造制程中需要用大量的水用以清洗、洁净等作用，因此，也会产生大量的废液，这些废液通常具有毒性，而且与制程中的物质混合之后，可形成有机废液，相当容易燃烧，因此在处理的过程中必须格外小心，避免对厂区环境或者处理人员造成伤害。一般来说，工...
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