专利名称：藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种检测废液浓度的方法与设备，特别是涉及一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备。
背景技术：
目前在超大规模集成电路(Very Large Scale Integration；VLSI)的制造过程中，由于在许多制造制程中需要用大量的水用以清洗、洁净等作用，因此，也会产生大量的废液，这些废液通常具有毒性，而且与制程中的物质混合之后，可形成有机废液，相当容易燃烧，因此在处理的过程中必须格外小心，避免对厂区环境或者处理人员造成伤害。
一般来说，工厂中废液的处理程序，是会先将各个制程部门所产生的废液收集于一个废液收集槽。然后，再对该废液收集槽中的废液成分及其浓度作检测。之后，依照检测的结果，调整废液的排出量，以使废液排入污水处理厂的流量是污水处理厂所能负荷的范围。
然而，在检测废液收集槽的废液浓度时，却常常因为浓度超过浓度侦测器可以侦测的上限值，所以无法得知废液收集槽中的真正浓度。如此将会产生一些问题，例如若现场操作人员无法确切掌握真正浓度，则可能因为轻忽这些废液所带来的危害，而使自身暴露在危险的工作环境中。再者，若无法正确地得知废液的真正浓度，则可能造成后续排放至污水处理厂时，单位时间的废液排出量超出污水处理厂所能承受的负荷，而衍生出一些工安问题。
当然，上述的问题可以藉由购入更先进、侦测上限值更高的浓度侦测器来解决，但是，从经济的观点来考量，如此势必提高设备的成本。因此该方法并不是一个根本的解决之道。
由此可见，上述现有的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备仍存在有缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决现有的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备的缺陷，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，此显然是相关业者急欲解决的问题。
有鉴于上述现有的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及其专业知识，积极加以研究创新，以期创设一种新的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，能改进一般现有的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，使其更具有实用性。经过不断研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备存在的缺陷，而提供一种新的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，所要解决的技术问题是使其藉由该设备可以得知废液的真正浓度，进而可控制废液的排出量在安全的范围内，能够避免操作人员暴露在危险的工作环境中，从而非常适于实用，且具有产业上的利用价值。
本发明的另一目的在于，提供一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，所要解决的技术问题是使其可以解决现有技术中为了量测出高浓度的废液，而需花费更多经费购入昂贵的设备的问题，从而符合经济效益。
本发明的再一目的在于，提供一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，所要解决的技术问题是藉由该方法可以使再高浓度的废液都能检测出其真正浓度，从而更加适于实用。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种检测废液浓度的设备，藉由该设备的检测结果可以决定由一废液收集槽排出废液的流量大小，该设备包括一混合槽，该混合槽具有一第一输送管；一检测槽，该检测槽是藉由该第一输送管与该混合槽相通；一纯水供应单元，该纯水供应单元具有一第二输送管，且该纯水供应单元是藉由该第二输送管与该混合槽相通；一废液供应单元，该废液供应单元具有一第三输送管，且该废液供应单元是藉由该第三输送管与该混合槽相通，而且该废液供应单元是与该废液收集槽相通；一浓度侦测器，配置于该检测槽中；一控制器，该控制器是分别与该纯水供应单元、该废液供应单元与该浓度侦测器电性连接；以及一显示面板，该显示面板是与该控制器电性连接，以显示该纯水供应单元、该废液供应单元与该浓度侦测器的状态。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的检测废液浓度的设备，其更包括一酸碱侦测器，配置于该检测槽中。
前述的检测废液浓度的设备，其更包括一酸碱调整液供应单元，该酸碱调整液供应单元具有一第四输送管，且该酸碱调整液供应单元是藉由该第四输送管与该检测槽相通。
前述的检测废液浓度的设备，其更包括一搅拌器，配置于该混合槽中。
前述的检测废液浓度的设备，其更包括一搅拌器，配置于该检测槽中。
前述的检测废液浓度的设备，其更包括一第一控制阀、一第二控制阀与一第三控制阀，其中该第一控制阀是配置于该混合槽与该检测槽之间的该第一输送管上，且该第二控制阀是配置于该纯水供应单元与该混合槽之间的该第二输送管上，而且该第三控制阀是配置于该废液供应单元与该混合槽之间的该第三输送管上。
前述的检测废液浓度的设备，其中所述的第一控制阀、该第二控制阀与该第三控制阀是分别与该控制器电性连接，且在该显示面板上显示出该第一控制阀、该第二控制阀与该第三控制阀的状态。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，该方法是用于检测出一废液收集槽中的一废液浓度之后，再决定该废液自该废液收集槽的排出量，该方法包括以下步骤由该废液收集槽取一特定量的废液与纯水混合稀释，以得到一混合液；以及利用一浓度侦测器量测该混合液的浓度，并推算该废液的真正浓度，再决定出该废液自该废液收集槽的排出量。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，其中若该混合液的浓度值等于该浓度侦测器的上限值时，则进行下列步骤重新由该废液收集槽取该特定量废液，并将该特定量的废液与纯水以更高的稀释倍数稀释，以稀释成一第一混合液；以及利用该浓度侦测器量测该第一混合液的浓度，并推算该废液的真正浓度，再决定出该废液自该废液收集槽的排出量。
前述的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，其中在量测该混合液的浓度的步骤中，更包括同时对该混合液进行一酸碱值检测步骤。
前述的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，其中若该混合液的酸碱值未介于pH5至pH9之间，则在该混合液中加入一酸碱值调整液以调整该混合液的酸碱值之后，再将该混合液排放出。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下本发明提出一种检测废液浓度的设备，藉由该设备的检测结果可以决定由一废液收集槽排出废液的流量大小，该设备包括混合槽、检测槽、纯水供应单元、废液供应单元、浓度侦测器、控制器与显示面板。其中，混合槽具有第一输送管，且检测槽是藉由该第一输送管与混合槽相通。此外，纯水供应单元具有第二输送管，且纯水供应单元是藉由该第二输送管与混合槽相通。另外，废液供应单元具有第三输送管，且废液供应单元是藉由该第三输送管与混合槽相通，而且废液供应单元是与废液收集槽相通。此外，浓度侦测器是配置于检测槽中。另外，控制器是分别与纯水供应单元、废液供应单元与浓度侦测器电性连接。此外，显示面板是与控制器电性连接，以显示纯水供应单元、废液供应单元与浓度侦测器的状态。除此之外，该检测设备更包括在检测槽中配置酸碱侦测器，另外更配置有酸碱调整液供应单元，用以供应酸碱调整液至检测槽内，以调整被稀释的废液的酸碱值之后，再将检测槽内稀释的废液排放出。
由于上述的检测设备的各个构件是与控制器电性连接，因此使用者可在显示面板监控该检测设备的状况，并藉由控制器而输入相关的参数使其运作，所以该设备是为自动控制的检测设备。
本发明提出一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，该检测方法是用于检测废液收集槽中的废液浓度，然后再决定废液自废液收集槽的排出量，以使其排出量在安全范围内。该方法是首先由废液收集槽取一特定量的废液与纯水混合稀释，以得到混合液。之后，利用浓度侦测器来量测该混合液的浓度，以推算该废液的真正的浓度，然后再决定废液收集槽排出废液的排出量，并控制其排出量是在安全范围内。特别是，若上述浓度侦测器侦测出的浓度等于浓度侦测器的上限值时，则重新由废液收集槽取特定量废液，并将特定量的废液与纯水以更高的稀释倍数稀释，以稀释成一第一混合液。之后利用浓度侦测器量测第一混合液的浓度，并推算废液的真正浓度，再决定出废液自废液收集槽的排出量。
由于本发明是以稀释的方式来降低废液的浓度，之后再进行量测，再推算出废液的真实浓度，而且可以藉由多次的稀释，以使浓度侦测器量测的浓度小于浓度侦测器的上限值，然后再推算出真实浓度，因此，利用该种方法所得的废液浓度的可靠度较高，而能正确地决定出废液从废液收集槽排放至污水处理厂的排出量。
此外，本发明藉由多次稀释的方式就可以精确的掌握高浓度的废液的真正浓度，因此，不需购买具有高侦测上限的浓度侦测器，而能降低成本。
由上述可知，本发明主要是一种检测废液浓度的设备，藉由该设备的检测结果可以决定由一废液收集槽排出废液的流量大小。该设备包括混合槽、检测槽、纯水供应单元、废液供应单元、浓度侦测器、控制器与显示面板。其中，该检测槽与混合槽相通。此外，该纯水供应单元与混合槽相通。另外，该废液供应单元与混合槽相通。此外，浓度侦测器是配置于检测槽中。另外，控制器是分别与各个单元电性连接。此外，显示面板是与控制器电性连接，以显示各个单元的状态。利用该设备可以得知废液的真实浓度，因此藉由量测结果可以控制废液排出量在安全的范围内。
综上所述，本发明特殊的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，藉由该设备可以得知废液的真正浓度，进而可控制废液的排出量在安全的范围内，能够避免操作人员暴露在危险的工作环境中，从而非常适于实用，且具有产业上的利用价值；另其可以解决现有技术中为了量测出高浓度的废液，而需花费更多经费购入昂贵的设备的问题，从而符合经济效益；再者，藉由该方法可使再高浓度的废液都能检测出其真正浓度，从而更加适于实用。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类制造方法及产品中未见有类似的方法及结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在制造方法、产品结构或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备具有增进的多项功效，从而更加适于实用，且具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
图1是依照本发明的一较佳实施例的一种检测废液中化学物浓度的设备结构示意图。
100混合槽 101、103溢流管102检测槽 104纯水供应单元105废液收集槽 106废水供应单元108浓度侦测器 110控制器112显示面板114酸碱侦测器116酸碱调整液供应单元 118、120搅拌器122、124、126控制阀128、130控制阀132、134、136输送管138、140输送管具体实施方式
以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备其具体方法、步骤、结构、特征及其功效，详细说明如后。
一般来说，废液的处理程序会先将工厂中各个制程部门所产生的废液收集于一个废液收集槽内。然后，再对废液收集槽中的废液成分及其浓度作检测。之后，在依照检测的结果，决定该废液排放至污水处理厂的排出量，以控制废水排出量在安全的范围内，并使废水排入污水处理厂的流量是污水处理厂所能负荷的范围。由于废液收集槽的排出量会直接影响后续污水处理厂的运转效能，且该排出量又与废液的浓度有关，因此，以下则是针对如何检测废液收集槽内的废液浓度的设备加以说明。
请参阅图1所示，是依照本发明一较佳实施例的一种检测废液浓度的设备示意图。该设备包括混合槽100、检测槽102、纯水供应单元104、废液供应单元106、浓度侦测器108、控制器110与显示面板112、搅拌器(118与120)、控制阀(122、124与126)与输送管(132、134与136)，其中该检测槽102，是藉由输送管132与混合槽100相通，而且在该输送管132上更可配置有控制阀122，以控制混合槽100其注入检测槽102的注入量。
该纯水供应单元104，是藉由输送管134与混合槽100相通，而且在输送管134上更可配置有控制阀124，以控制纯水供应单元104其注入混合槽100的注入量。
该废液供应单元106，是藉由输送管136与混合槽100相通，而且在输送管136上更可配置有控制阀126，以控制废液供应单元106其注入混合槽100的注入量。除此之外，废液供应单元106是与废液收集槽105相通，该废液收集槽105是汇集了工厂中各个制程部门所产生的废液。
该浓度侦测器108，是配置于检测槽102中，用以检测检测槽102中的废液浓度。其中，若废液为氢氟酸，则所量测的废液浓度例如是氟离子浓度。
该控制器110，是分别与纯水供应单元104、废液供应单元106、浓度侦测器108与控制阀(122、124与126)电性连接。此外，显示面板112亦与控制器110电性连接，以显示纯水供应单元104、废液供应单元106、浓度侦测器108与控制阀(122、124与126)的状态。
除此之外，在混合槽100与检测槽102上更可配置设有溢流管(101与103)。而该溢流管(101与103)的功用是当混合槽100与检测槽102注入过多的液体时，可以藉由溢流管(101与103)将多余的液体排出。
另外，该装置更可选择性地在混合槽100与检测槽102中配置搅拌器(118与120)，以均匀混合所注入的液体。其中，搅拌器(118与120)是与控制器110电性连接。
此外，该设备更可在检测槽102中配置酸碱侦测器114，以量测检测槽102中废液的酸碱值。其中，酸碱侦测器114是与控制器110电性连接。另外，该设备更可配置酸碱调整液供应单元116，该酸碱调整液供应单元116是藉由输送管138与检测槽102相通，其是用以中和检测槽102中废液。而且在输送管138上更可配置控制阀128，以控制酸碱调整液供应单元116其注入检测槽102的注入量，其中，该控制阀128是与控制器110电性连接。
当然，在该设备中还可以配置有输送管140与控制阀130，藉由输送管140与控制阀130可将检测槽102中已检测完毕的废液排出。其中，该控制阀130是与控制器110电性连接。
由于上述的检测设备的各个构件是与控制器电性连接，因此使用者可在显示面板监控该检测设备的状况，并藉由控制器而输入相关的参数使其运作，所以该设备是为自动控制的检测设备。
以下是利用上述的检测设备进行废液的检测，以决定出废液自废液收集槽排放至污水处理厂的排出量，使其排放量在安全的范围内。在下述的操作方法中，各个构件的操作是藉由控制器110所操控之，并将各个构件的状态显示于显示面板112上。
首先，开启控制阀124，以使一定量的纯水由纯水供应单元104流经输送管134而注入混合槽100中。其中，纯水注入量是由注入时间来决定。之后，关闭控制阀124。
然后，在启动搅拌器118之后，开启控制阀126，以使一定量的废液由废液收集槽105经由废液供应单元106与输送管136而注入混合槽100中。其中，该废液注入量是由注入时间来决定，且该废液例如是氢氟酸、硝酸、盐酸、氢氧化钠或有机溶剂等。此外，搅拌器118可以使废液与纯水均匀的混合稀释，而形成混合液，其中，搅拌器118的搅拌时间是可依照不同需求来设定。当然，若所注入的废液与纯水大于混合槽100的容量，则多余的液体可以藉由溢流管101排出。之后，关闭控制阀126。
接着，开启控制阀122，以使混合液由混合槽100流经输送管132而注入检测槽102中。其中，混合液注入量是由注入时间来决定。当然，若所注入的混合液大于检测槽102的容量，则多余的液体可以藉由溢流管103排出。之后，关闭控制阀122。然后，启动搅拌器120，并在充分搅拌混合液一段时间之后停止。
之后，以浓度侦测器108量测检测槽102中的混合液(被稀释的废液)浓度。其中，若上述的废液是为氢氟酸溶液，则所检测的废液浓度是为氟离子浓度。此时，控制器110会依照先前所注入的废液体积与纯水体积，换算出检测槽102中的混合液稀释倍率，并依照浓度侦测器108所传回的数值进行换算，而在显示面板112中显示出废液的真正浓度，然后再决定出废液收集槽105排出废液的排出量，并控制其排出量是在安全范围内。
另外，在上述以浓度检测器量108测浓度的同时，亦可以利用酸碱侦测器114量测检测槽102中混合液的酸碱值。值得注意的是，若所量测的混合液的酸碱值在显示面板112上所显示的数值未介于pH5至pH9之间，则开启控制阀128，以使酸碱调整液由酸碱调整液供应单元116流经输送管138而注入检测槽102中，来中和该混合液，之后再将中和后的混合液排出检测槽102。在本发明中，将混合液排出检测槽102的步骤是先开启控制阀130，以排出检测槽102中已检测且中和完毕的混合液，然后，再关闭控制阀130。上述酸碱调整液供应单元116注入酸碱调整液的量是由注入时间来决定。此外，若废液的酸碱值小于pH5，其例如是氢氟酸溶液，则该酸碱调整液例如是碱性溶液，其例如是氢氧化钠溶液。当然，若废液的酸碱值大于pH9，则该酸碱调整液例如是酸性溶液。之后，关闭控制阀128。
值得注意的是，当显示面板112中所显示的废液浓度等于浓度侦测器108的上限值，则表示该废液的浓度有可能大于或是等于显示面板112所显示的数值。因此，为了使得所检测的数据具有可信赖度，故需重新检测该废液，其检测方法是采用上述的检测步骤进行之，并可藉由调整废液供应单元106或是纯水供应单元104的注入混合槽100的时间，以提高混合液的稀释倍数。上述的步骤可以重复进行，直到显示面板112所显示的废液浓度小于浓度侦测器108的上限值为止。之后，再决定出废液自废液收集槽106的排出量。
由于本发明是以稀释的方式来降低废液的浓度，之后再进行量测，再推算出废液的真实浓度，而且可以藉由多次的稀释，以使浓度侦测器量测的浓度小于浓度侦测器的上限值，然后再推算出真实浓度，因此，利用该种方法所得的废液浓度的可靠度较高，而能正确地决定出废液从废液收集槽排放至污水处理厂的排出量。
此外，本发明藉由多次稀释的方式就可以精确的掌握高浓度的废液的真正浓度，因此不需购买具有高侦测上限的浓度侦测器，而能降低成本。
另外，利用本发明的方法可以使再高浓度的废液都能检测出其真正浓度，意即高浓度的废液可以藉由稀释得知其真正的浓度，然后再决定出废液从废液收集槽排放至污水处理厂的排出量。
此外，该操作方法是为自动化的操作流程，操作人员只需将相关参数输入控制器中，控制器便可使检测设备的各个构件自行运作。因此，操作人员可在显示面板中监看整个检测的过程。
除此之外，该对于废水的检测及其设备并不限定于半导体厂使用，其它例如化学厂或纺织厂等都可以利用本发明的方法与设备来决定废液排放至污水处理厂的排出量，而具有广泛的工业利用价值。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种检测废液浓度的设备，藉由该设备的检测结果可以决定由一废液收集槽排出废液的流量大小，其特征在于该设备包括一混合槽，该混合槽具有一第一输送管；一检测槽，该检测槽是藉由该第一输送管与该混合槽相通；一纯水供应单元，该纯水供应单元具有一第二输送管，且该纯水供应单元是藉由该第二输送管与该混合槽相通；一废液供应单元，该废液供应单元具有一第三输送管，且该废液供应单元是藉由该第三输送管与该混合槽相通，而且该废液供应单元是与该废液收集槽相通；一浓度侦测器，配置于该检测槽中；一控制器，该控制器是分别与该纯水供应单元、该废液供应单元与该浓度侦测器电性连接；以及一显示面板，该显示面板是与该控制器电性连接，以显示该纯水供应单元、该废液供应单元与该浓度侦测器的状态。
2.根据权利要求1所述的检测废液浓度的设备，其特征在于其更包括一酸碱侦测器，配置于该检测槽中。
3.根据权利要求2所述的检测废液浓度的设备，其特征在于其更包括一酸碱调整液供应单元，该酸碱调整液供应单元具有一第四输送管，且该酸碱调整液供应单元是藉由该第四输送管与该检测槽相通。
4.根据权利要求1所述的检测废液浓度的设备，其特征在于其更包括一搅拌器，配置于该混合槽中。
5.根据权利要求1所述的检测废液浓度的设备，其特征在于其更包括一搅拌器，配置于该检测槽中。
6.根据权利要求1所述的检测废液浓度的设备，其特征在于其更包括一第一控制阀、一第二控制阀与一第三控制阀，其中该第一控制阀是配置于该混合槽与该检测槽之间的该第一输送管上，且该第二控制阀是配置于该纯水供应单元与该混合槽之间的该第二输送管上，而且该第三控制阀是配置于该废液供应单元与该混合槽之间的该第三输送管上。
7.根据权利要求6所述的检测废液浓度的设备，其特征在于其中所述的第一控制阀、该第二控制阀与该第三控制阀是分别与该控制器电性连接，且在该显示面板上显示出该第一控制阀、该第二控制阀与该第三控制阀的状态。
8.一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，该方法是用于检测出一废液收集槽中的一废液浓度之后，再决定该废液自该废液收集槽的排出量，其特征在于该方法包括以下步骤由该废液收集槽取一特定量的废液与纯水混合稀释，以得到一混合液；以及利用一浓度侦测器量测该混合液的浓度，并推算该废液的真正浓度，再决定出该废液自该废液收集槽的排出量。
9.根据权利要求8所述的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，其特征在于其中若该混合液的浓度值等于该浓度侦测器的上限值时，则进行下列步骤重新由该废液收集槽取该特定量废液，并将该特定量的废液与纯水以更高的稀释倍数稀释，以稀释成一第一混合液；以及利用该浓度侦测器量测该第一混合液的浓度，并推算该废液的真正浓度，再决定出该废液自该废液收集槽的排出量。
10.根据权利要求8所述的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，其特征在于其中在量测该混合液的浓度的步骤中，更包括同时对该混合液进行一酸碱值检测步骤。
11.根据权利要求10所述的藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法，其特征在于其中若该混合液的酸碱值未介于pH5至pH9之间，则在该混合液中加入一酸碱值调整液以调整该混合液的酸碱值之后，再将该混合液排放出。
全文摘要
本发明是关于一种藉由检测废液浓度来决定废液排出量的方法及其设备，该检测废液浓度的设备，是藉由该设备的检测结果可决定由一废液收集槽排出废液的流量大小。该设备包括混合槽、检测槽、纯水供应单元、废液供应单元、浓度侦测器、控制器与显示面板。该检测槽与混合槽相通，纯水供应单元与混合槽相通，废液供应单元与混合槽相通。此外浓度侦测器是配置于检测槽中，控制器是分别与各个单元电性连接。此外，显示面板是与控制器电性连接，以显示各个单元的状态。利用该设备可得知废液真实浓度，藉此量测结果可控制废液排出量在安全范围内，能避免操作人员暴露在危险工作环境中；另藉由该方法可使再高浓度的废液都能检测出其真正浓度，从而具有广泛的利用价值。
文档编号G01N35/00GK1601280SQ0315749
公开日2005年3月30日 申请日期2003年9月22日 优先权日2003年9月22日
发明者汤志英, 李昭德, 蔡志钦, 吴文泰, 徐嘉立 申请人:旺宏电子股份有限公司