技术编号:5924019
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种痕量氧分析仪,尤其涉及一种在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下可保证痕量氧分析仪正常使用的痕量氧分析仪管路优化结构。背景技术随着电子行业尤其是像半导体,液晶面板等行业的快速发展,对于超高纯电子气的需要也迅速增长,其对氧含量的要求通常是几十个ppb,有的甚至要求达到lppb。一般的原电池型氧分析仪在通入纯度达标的样品气后,仍然需要数天时间来降至所需要的纯度, 而装置调试过程中时常发生跳车,这就又增加了分析仪降至所需纯度的时间,因此在线分析仪...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。