专利名称：痕量氧分析仪管路优化结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种痕量氧分析仪，尤其涉及一种在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下可保证痕量氧分析仪正常使用的痕量氧分析仪管路优化结构。
背景技术：
随着电子行业尤其是像半导体，液晶面板等行业的快速发展，对于超高纯电子气的需要也迅速增长，其对氧含量的要求通常是几十个ppb，有的甚至要求达到lppb。一般的原电池型氧分析仪在通入纯度达标的样品气后，仍然需要数天时间来降至所需要的纯度， 而装置调试过程中时常发生跳车，这就又增加了分析仪降至所需纯度的时间，因此在线分析仪对样品气实现快速准确分析成为人们的关注焦点。
发明内容本实用新型主要是提供了一种结构简单，在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下可确保痕量氧分析仪不会与不合格气体接触，并在样品气或分析仪吹扫气达标后能快速恢复使用的痕量氧分析仪管路优化结构，解决了现有技术中存在的当样品气或分析仪吹扫气不合格时会直接进入痕量氧分析仪，由此导致分析仪恢复时间长，影响工作效率等的技术问题。本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的一种痕量氧分析仪管路优化结构，包括痕量氧分析仪及其进气管路和排放管路，在进气管路上设有三通阀，所述三通阀分别与分析仪吹扫气源、样品气源及量程气源对应连接，在对应于三通阀与痕量氧分析仪之间的进气管路上设有二位四通电磁阀，在排放管路上设有二位开关电磁阀，所述二位四通电磁阀和二位开关电磁阀连接在检测控制系统上，且对应于二位四通电磁阀中的一个端口通过旁路管路与二位开关电磁阀的进气端口相连。通过在痕量氧分析仪的进气管路上安装一个二位四通电磁阀，在排放管路上安装一个二位开关电磁阀，正常工作时，二位开关电磁阀状态为开，来自样品气源的样品气(或分析仪吹扫气源的分析仪吹扫气)通过二位四通电磁阀的两个端口进入痕量氧分析仪后进入排放管路，其中一部分样品气经过二位开关电磁阀后再次进入排放管路，另一部分样品气经过旁路管路回流至二位四通电磁阀，并通过二位四通电磁阀的另外两个端口持续吹扫管线后排空。当检测控制系统检测到样品气有纯度变坏趋势或者控制系统连锁(如装置跳车)时，检测控制系统控制二位四通电磁阀和二位开关电磁阀同时切换，二位开关电磁阀关闭，此时旁路管路内纯度仍旧合格的样品气经过二位四通电磁阀上的两个端口再次进入痕量氧分析仪进行循环，而来自样品气源的不合格样品气通过二位四通电磁阀其它两个端口将样品气体排出，当样品气纯度合格或者装置恢复正常工作后，检测控制系统控制二位四通电磁阀和二位开关电磁阀复位，系统即恢复正常，只在原有管路中增加一个二位四通电磁阀和二位开关电磁阀，结构简单，在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下均可通过检测控制系统自动切换二位四通电磁阀和二位开关电磁阀，确保痕量氧分析仪不会进入不合格气体，并在样品气或分析仪吹扫气达标后能快速恢复使用，痕量氧分析仪恢复迅速，提高工作效率。作为优选，所述二位四通电磁阀包括Al端口、A2端口、A3端口和A4端口，其中的 A3端口与旁路管路相连，在A4端口上连接有第二排放管路。通过二位四通电磁阀上的四个端口可自动转换管路内气体的流动方向，可靠性好，自动化程度高。作为优选，在对应于二位四通电磁阀与痕量氧分析仪之间的进气管路上设有零点纯化器。可在样品气纯度变坏时，根据需要手动开启零点纯化器，使痕量氧分析仪内维持纯度合格的环境，进一步保证痕量氧分析仪不会与不合格气体接触。作为优选，所述二位四通电磁阀和二位开关电磁阀均为隔膜阀。隔膜阀流阻小，性能稳定，价格便宜。作为优选，在所述分析仪吹扫气源与三通阀之间的进气管路上设有分析仪吹扫气调压阀和分析仪吹扫气过滤器。通过分析仪吹扫气调压阀可任意调节分析仪吹扫气的进气压力，分析仪吹扫气过滤器可去除分析仪吹扫气内的粉尘杂质，防止粉尘杂质进入痕量氧分析仪而降低痕量氧分析仪的精度。作为优选，在所述样品气源与三通阀之间的进气管路上设有样品气调压阀和样品气过滤器。通过样品气调压阀可任意调节样品气的进气压力，样品气过滤器可去除样品气内的粉尘杂质，防止粉尘杂质进入痕量氧分析仪而降低痕量氧分析仪的精度。作为优选，在所述量程气源与三通阀之间的进气管路上设有量程气过滤器。量程气过滤器可去除量程气内的粉尘杂质，防止粉尘杂质进入痕量氧分析仪而降低痕量氧分析仪的精度。因此，本实用新型的痕量氧分析仪管路优化结构具有下述优点通过在原有管路系统中增设一个二位四通电磁阀和二位开关电磁阀，即可在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下通过检测控制系统自动切换二位四通电磁阀和二位开关电磁阀，使痕量氧分析仪不会进入不合格气体，并在样品气或分析仪吹扫气达标后又可通过检测控制系统自动切换后快速恢复，结构简单，痕量氧分析仪恢复迅速，工作效率高；系统也可以在样品气纯度变坏时根据需要手动开启零点纯化器向痕量氧分析仪内维持纯度合格的环境，进一步保证痕量氧分析仪不会与不合格气体接触，可靠性高。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是二位四通电磁阀的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。实施例如图1所示，本实用新型的一种痕量氧分析仪管路优化结构，包括痕量氧分析仪1 及连接在痕量氧分析仪1两端的进气管路2和排放管路3，在进气管路2上装有一个三通阀 4，三通阀4的三个端口分别通过管路与分析仪吹扫气源5、样品气源6及量程气源7对应连接，在分析仪吹扫气源5与三通阀4之间的进气管路2上装有一个分析仪吹扫气调压阀51 和一个分析仪吹扫气过滤器52，在样品气源6与三通阀4之间的进气管路2上装有一个样品气调压阀61和一个样品气过滤器62，在量程气源7与三通阀4之间的进气管路2上装有一个量程气过滤器71，在三通阀4与痕量氧分析仪1之间的进气管路2上装有一个二位四通电磁阀8，在对应于二位四通电磁阀8与痕量氧分析仪1之间的进气管路2上装有零点纯化器11，如图2所示，二位四通电磁阀8包括Al端口 81、A2端口 82、A3端口 83和A4端口 84，在排放管路3上装有一个二位开关电磁阀9，二位四通电磁阀8和二位开关电磁阀9均为隔膜阀，且二者均电连接在检测控制系统上，对应于二位四通电磁阀8中的A3端口 83通过旁路管路10与二位开关电磁阀9的进气端口相连，A4端口 84连接着第二排放管路12。正常工作时，二位开关电磁阀9状态为开，来自样品气源6的样品气通过样品气调压阀61、样品气过滤器62和三通阀4后进入二位四通电磁阀8，经Al端口 81和A2端口 82 进入痕量氧分析仪1后进入排放管路3，其中一部分样品气再经过二位开关电磁阀9后进入排放管路3，另一部分样品气经过旁路管路10回流至二位四通电磁阀8，并通过二位四通电磁阀8的A3端口 83和A4端口 84持续吹扫管线后进入第二排放管路12排空。当检测控制系统检测到样品气有纯度变坏趋势或者控制系统连锁(如装置跳车)时，检测控制系统控制二位四通电磁阀8和二位开关电磁阀9同时切换，二位开关电磁阀9关闭，此时旁路管路 10内纯度仍旧合格的样品气经过二位四通电磁阀8上的A3端口 83和A2端口 82再次进入痕量氧分析仪1进行循环，而来自样品气源6的不合格样品气通过二位四通电磁阀8的 Al端口 81和A4端口 84后进入第二排放管路12排出，当样品气纯度合格当样品气纯度合格或者装置恢复正常工作后，检测控制系统控制二位四通电磁阀8和二位开关电磁阀9复位，系统即恢复正常。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型的构思作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
权利要求1.一种痕量氧分析仪管路优化结构，包括痕量氧分析仪(1)及其进气管路(2)和排放管路(3)，在进气管路(2)上设有三通阀(4)，所述三通阀(4)分别与分析仪吹扫气源(5)、 样品气源(6 )及量程气源(7 )对应连接，其特征在于在对应于三通阀(4 )与痕量氧分析仪 (1)之间的进气管路(2)上设有二位四通电磁阀(8)，在排放管路(3)上设有二位开关电磁阀(9)，所述二位四通电磁阀(8)和二位开关电磁阀(9)连接在检测控制系统上，且对应于二位四通电磁阀(8)中的一个端口通过旁路管路(10)与二位开关电磁阀(9)的进气端口相连。
2.根据权利要求1所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于所述二位四通电磁阀(8)包括 Al 端口(81)、A2 端口(82)、A3 端口(83)和 A4 端口(84)，其中的 A3 端口(83) 与旁路管路(10)相连，在A4端口(84)上连接有第二排放管路(12)。
3.根据权利要求1或2所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于在对应于二位四通电磁阀(8)与痕量氧分析仪(1)之间的进气管路(2)上设有零点纯化器(11)。
4.根据权利要求1或2所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于所述二位四通电磁阀(8 )和二位开关电磁阀(9 )均为隔膜阀。
5.根据权利要求3所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于所述二位四通电磁阀(8 )和二位开关电磁阀(9 )均为隔膜阀。
6.根据权利要求1或2所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于在所述分析仪吹扫气源(5)与三通阀(4)之间的进气管路(2)上设有分析仪吹扫气调压阀(51)和分析仪吹扫气过滤器(52)。
7.根据权利要求1或2所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于在所述样品气源(6)与三通阀(4)之间的进气管路(2)上设有样品气调压阀(61)和样品气过滤器(62)。
8.根据权利要求1或2所述的痕量氧分析仪管路优化结构，其特征在于在所述量程气源(7)与三通阀(4)之间的进气管路(2)上设有量程气过滤器(71)。
专利摘要本实用新型公开了一种痕量氧分析仪，提供了一种在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下可确保痕量氧分析仪不会与不合格气体接触，并在样品气或分析仪吹扫气达标后能快速恢复使用的痕量氧分析仪管路优化结构，解决了现有技术中存在的当样品气或分析仪吹扫气不合格时会直接进入痕量氧分析仪，由此导致分析仪恢复时间长，影响工作效率等技术问题，它包括痕量氧分析仪及其进气管路和排放管路，在进气管路上设有三通阀，三通阀分别与分析仪吹扫气源、样品气源及量程气源对应连接，在对应于三通阀与痕量氧分析仪之间的进气管路上设有二位四通电磁阀，在排放管路上设有二位开关电磁阀，两电磁阀连接在检测控制系统上，且对应于二位四通电磁阀中的一个端口通过旁路管路与二位开关电磁阀的进气端口相连。
文档编号G01N27/26GK202230050SQ20112034294
公开日2012年5月23日 申请日期2011年9月14日 优先权日2011年9月14日
发明者许斌 申请人:林德工程(杭州)有限公司