技术编号:5932093
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测试系统LSI等半导体集成电路的半导体集成电路测试装置。背景技术 近年来,由于对多种电路混合载置的系统LSI的开发迅速发展,人们提出了对该系统LSI进行测试用的各种各样的装置和方法。由测试器制造者提供了用于系统LSI的测试专用的作为半导体集成电路的测试装置的混合信号测试器,该半导体集成电路的测试装置存在价格极其昂贵的问题。为达到低价格化和高精度化的目的,日本特开2002-236150号公报等揭示了具有廉价的测试器和模拟电路单元测定功能的器件测试装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。