专利名称：半导体集成电路的测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及测试系统LSI等半导体集成电路的半导体集成电路测试装置。
背景技术：
近年来，由于对多种电路混合载置的系统LSI的开发迅速发展，人们提出了对该系统LSI进行测试用的各种各样的装置和方法。
由测试器制造者提供了用于系统LSI的测试专用的作为半导体集成电路的测试装置的混合信号测试器，该半导体集成电路的测试装置存在价格极其昂贵的问题。
为达到低价格化和高精度化的目的，日本特开2002-236150号公报等揭示了具有廉价的测试器和模拟电路单元测定功能的器件测试装置(外部测试辅助装置Built OffSelf Test(以下简称“BOST装置”)，还揭示了取代廉价的测试器，使用作为通用计算机装置的通用PC(个人计算机)和通用EWS(工作站)、通信卡、通信形式变换模块，控制BOST装置进行测试的方法。
图2是表示这种已有的半导体集成电路的测试装置的构成和测试方法的概略图。该已有半导体集成电路测试装置中，BOST装置21的控制装置22，使用由通用PC或者通用工作站构成的通用计算机装置，这些控制装置22和BOST装置21通过作为一般的通信形式的USB、RS232C、EEE1394、GPIB、LAN等通信线路23连接。这里，作为BOST装置21一侧的接口，对于每一通信形式都设有通信卡24，共有多个通信卡24，在BOST装置21设置1个或者多个可以安装的沟槽，并且具备向BOST装置21的专用总线形式转变的通信形式变换模块25。
又，在BOST装置21中设置的BOST板26由ADC/DAC测定部27、测定数据储存器28、解析部29、控制部30、电源部31构成。在这里，ADC/DAC测定部27由产生数字测试信号并将这个测试信号提供给作为被测定器件的半导体集成电路的DA变换电路的数据电路、变换来自该数据电路的数字测试信号为模拟测试信号，然后提供给被测定器件的AD变换电路的测试用DA变换电路(数字模拟转换器(DAC))、以及将被测定器件的DA变换电路的模拟测试输出变换为数字测试输出的测试用AD变换电路(模拟数字转换器(ADC))构成。测定数据存储器部28存储由被测定器件的AD变换电路来的数字测试输出和测试用AD变换电路的数字测试输出。解析部29分析在测定数据存储器28中存储的各数字测试输出，并将分析结果提供给作为控制装置22的通用计算机装置22。
但是，上述已有构成的半导体集成电路的测试装置中，作为器件测定装置的BOST装置21中，不仅有ADC/DAC测定部27和解析部29，还装入了通信接口卡24、通信形式变换模块25、以及控制部30等，因此BOST装置21的尺寸变大，作为外部附加的部件多而空间很小的测试板是不合适的。又，存在在被测定器件的近侧置放多个BOST装置21有困难的问题。
在不久的将来，需要对混合搭载更多种电路的系统LSI等半导体集成电路进行测试，并期望测试高精度化和低成本化，而为了对大量半导体集成电路进行高精度的测试，需要在作为被测定器件的半导体集成电路的近侧配置多个有适用于各半导体集成电路的测定部的BOST装置21。
发明内容
本发明是为解决上述已有的课题而作出的，其目的在于，提供既能够在被测定器件的近侧放置由BOST板等构成的多个器件测定装置，也能对系统LSI等半导体集成电路中的多个混合搭载的电路进行高精度的测试的半导体集成电路的测试装置。
本发明的第1形态的半导体集成电路的测试装置，以在半导体集成电路的制造工程中进行是否良好的检查及功能和性能的评价为目的，该测试装置具备对半导体集成电路构成的被测定器件进行信号收发的测定部和用可编程的器件对来自所述测定部的信息进行分析的解析部构成的器件测定装置、以及用与所述器件测定装置不同的board构成，与所述器件测定装置连接，对所述器件测定装置进行控制，而且与通用计算机装置进行通信的控制·通信卡。
采用这样的构造，就不需要用测试器制造商提供的高价的测试装置，而通过使用价格便宜的通用计算机装置，控制·通信卡、器件测定装置，谋求低成本化。
在本发明的第2形态中，所述的控制·通信卡具有从器件测定装置取入数据的数据输入部、给所述器件测定装置提供控制信号的控制信号输出部、以及与通用计算机装置进行信号交换的接口部。
采用这样的构造，通过在控制·通信卡上设置数据输入部、控制信号输出部和接口部，可以使器件测定装置上搭载的部件为最低限度的数目，能够实现小型化，又容易利用通用计算机装置处理多个器件测定装置。
在本发明的第3实施形态中，器件测定装置形成这样的结构，即具有程序写入口，可以从通用计算机装置向器件测定装置的可编程器件写入程序。
采用这样的构造，随时可以简单地从通用计算机装置下载测试用的程序到器件测定装置，因为完全不更换ROM等硬件，调整器件测定装置的效率高。又，通过改写器件测定装置上的可编程的器件的内容，完全不变更硬件就可以测定多品种的被测定器件，同时测试装置能够通用化。
在本发明的第4实施形态中，所述的器件测定装置或控制·通信卡具备观测器件测定装置的输入输出信号和内部信号的观测用端子。
采用这样的构造，使用观测用的端子，能够确认从器件测定装置输入输出什么样的信号，其内部进行什么样的动作。
在本发明的第5实施形态中，器件测定装置上设置用于通过电缆连接搭载被测定器件安装用的插座的基板的插头和用于直接插入所述基板的插头。
采用这样的构造，能够将被测定器件适当地连接于安装的基板上。
在本发明的第6实施形态中，器件测定装置具备输入在被测定器件上设置的多个电路来的信号的多个输入端子、以及选择切换处理来自这些输入端子的多个输入信号的输入信号选择手段。
采用这样的构造，可以一边选择、切换来自混载于被测定器件上的多个回路的信号一边进行处理，也可以对应进行多个电路测试的情况。
本发明的第7实施形态中，控制·通信卡具备器件测定装置诊断手段，该手段向器件测定装置传送诊断该器件测定装置的诊断用信号，同时传送来自所述器件测定装置的诊断结果数据到通用计算机装置上。
采用这样的构造，控制·通信卡给予器件测定装置以诊断用的信号，器件测定装置根据控制·通信卡提供的诊断用信号进行自诊断，再将结果返回给控制·通信卡。这样，就能进行器件测定装置的自诊断。
在本发明的第8实施形态中，设置多个器件测定装置，形成能够用于1个或者多个器件测定装置进行实验的结构。
采用这样的构造，测试被测定器件含有的特性不同的多个电路(例如ADC电路，DAC电路等)的情况下，能够用具备适于各电路的特性的测定部的器件测定装置进行测试。又，因为器件测定装置小型化了，所以能够在被测定器件周围配置多个。
在本发明的第9实施形态中，器件测定装置的可编程器件是Flash-ROM(闪存)。
在本发明的第10实施形态中，器件测定装置中搭载了可以安装被测定器件的插座。
采用这样的构造，器件测定装置中可以直接安装被测定器件进行测定。
这样使用本发明，使BOST板等器件测定装置具有必要的最低限度的功能(解析部和测定部)，使控制·通信卡具有其他功能，这样就实现器件测定装置的小型化，在对被测定器件中混合搭载的多个电路进行测试时，能够在被测定器件的近旁不受场所的制约配置多个具有适用于各电路特性的测定部的小型器件测定装置来进行测试。又，对于被测定器件和全部的器件测定装置，因为能够让模拟信号的配线距离最短，所以能够实现高精度的测试。
另一方面，在器件测定装置的控制中使用通用PC/EWS等通用计算机装置，因此与测试器制造商提供的半导体集成电路的测试装置(混合式信号测试器)相比要便宜，又，因为容易由通用计算机装置改写器件测定装置的解析部的程序，排除故障的性能和通用性能提高了。
图1是本发明的半导体集成电路测试装置的简略图。
图2是已有的半导体集成电路测试装置的简略图。
具体实施例方式
以下参照图1说明本发明的实施例。
图1是本发明实施例的半导体集成电路测试装置的构成的概略图。如图1所示，半导体集成电路测试装置具备作为器件测定装置的BOST板1，以及用的与BOST板(board)1不同的板构成，连接作为器件测定装置的BOST板1并对其进行控制，并且对通用PC/EWS构成的通用计算机装置2进行通信的控制·通信卡3。又，BOST板1和控制通信卡由专用线13连接，而专用线13中只进行数字信号的通信。还有，14是连接通用计算机装置2和控制通信卡3的USB、RS232C、IEEE1394、GPIB、LAN等通信线路。
作为器件测定装置的BOST板1是以作为被测定器件4的半导体集成电路的制造工程中的是否良好的检查和功能性能评价为目的，由与被测定器件4进行模拟信号和数字信号的交换的测定部5、以及用可编程器件分析来自测定部5的信息的解析部6构成。还有，为了测定被测定器件4的不同特性的多个电路，可以使用多枚BOST板1。
通用计算机装置2通过控制·通信卡3向BOST板1发送测试开始信号和最低限度必要的控制信号，BOST板1给被测定器件提供用于器件测试的数字/模拟信号。BOST板1判断从被测定器件4返回的模拟/数字信号是否正常的响应信号，通过控制通信卡3向通用计算机装置2传回PASS/FAIL信号。又，BOST板1和控制·通信卡3通过只进行数字信号通信的专用线13连接。
控制·通信卡3由取入来自BOST板1的数据的数据输入部7、向BOST板1提供控制信号的控制信号输出部8、进行与通用计算机装置2的信号交换的接口部(BUS_I/F部)9、以及输入输出对BOST板1进行诊断的数据的诊断用数据输入输出部10构成。
又，BOST板1有写入用于测定被测定器件4的程序的Flash-ROM，同时还设置将所述程序等写入所述Flash-ROM的程序写入口1a，形成能够从通用计算机装置2向BOST板1的Flash-ROM写入程序的装置。
又，BOST板1具备为了能够得到被测定器件4的详细评价和BOST板1的Flash-ROM的评价等，观测BOST板1的输入输出信号和内部信号的观测用端子1b。还有，也可以将观测用端子1b设置在控制·通信卡上，形成能够通过专用线向BOST板1输出的结构。
而且，BOST板1上具备利用通用电缆与搭载被测定器件4安装用的插座11的基板12连接用的插头1c、用于直接插入搭载被测定器件4安装用的插座11的基板12用的插头1d。这些插头1c，1d上设置输入来自被测定器件4中混合搭载的多个电路的信号的多个输入端子。而且，BOST板1具备对来自这些插头1c、1d上设置的多个输入端子的多个输入信号进行选择切换处理的输入信号选择功能。
控制·通信卡3具备向BOST板1提供诊断用信号，向通用计算机装置2传送来自BOST板1的诊断结果数据的器件测定装置诊断功能。又，BOST板1或控制·通信卡3中搭载有向BOST板1和控制·通信卡提供时钟脉冲的时钟脉冲生成部(未图示)。
下面对具备以上构成的这种半导体集成电路测试装置，说明其动作的一个例子。
来自通用计算机装置2的测试开始·控制信号(测试开始的信号和最低限度需要的控制信号)a经过控制·通信卡3的BUS_I/F部9、控制信号输出部8，输入到BOST板1。接收到信号a的BOST板1向被测定器件4输出测试用信号b(模拟或数字信号，下面记为模拟/数字信号)，输入来自被测定器件4的应答信号(模拟/数字信号)c到BOST板1的测定部5。BOST板1的解析部6分析应答信号c是否包括在预先决定的精度范围中，也就是说，判断是否正常的应答信号，并使作为其结果的PASS/FAIL信号d经过控制·通信卡3的数据输入部7、BUS_I/F部9返回到通用计算机装置2中。
进行调整等的情况下，想改写BOST板1的解析部6时，从通用计算机装置2把程序改写信号e提供给BOST板1的解析部6，进行程序的改写。
又，在这一实施形态中，能够进行定期校正，诊断(DIAG)BOST板1，诊断BOST板1时，控制·通信卡3的诊断用数据输入部8提供BOST板1以诊断用的信号，BOST板1根据Flash-ROM中已写入的诊断用程序和来自控制·通信卡3的诊断用信号进行自诊断，并使其结果返回到控制·通信卡3中。就这样，在控制·通信卡3和BOST板1之间进行诊断用信号的交换并且进行诊断。因此，已有的技术中，模拟测试装置自诊断时需要DA变换电路和AD变换电路两者，但是本方法中，因为使自诊断从BOST板1返回到控制·通信卡3中，DA变换电路和AD变换电路只需要任意一个就可以了。
采用这样的构成，半导体集成电路的测试装置的构成包括价格便宜的通用计算机装置2、控制·通信卡3。以及有测定部5和解析部6的作为器件测定装置的BOST板1，利用这样的构成，不再需要测试器制造商提供的高价测试装置，从而可谋求低成本化。又，作为器件测定装置的BOST板1的构成，只要以可编程器件Flash-ROM(也可以用Flash-ROM以外的可编程器件)构成的解析部6和测定部5为最低限度即可，所以能够实现小型化和低成本化。又，因为BOST板1和控制·通信卡通过只进行数字信号通信的专用线13连接，所以BOST板1在被测定器件4的近侧能够不受场所制约地自由移动，能为了减少噪音将模拟信号的通信距离变为最短，从而实现高精度化。
又，控制·通信卡的构成包括取入来自BOST板1的数据的数据输入部7、给予BOST板1以控制信号的控制信号输出部8、与通用计算机装置2进行信号交换的接口部(BUS_I/F部)9以及输入输出诊断BOST板1数据的诊断用数据输入输出部10，采用这样的构成，BOST板1上搭载的部件能够达到最低限度从而实现小型化，又，利用通用计算机装置2可以简单地处理多个BOST板1。
又因为采用能够从通用计算机装置2向BOST板1的Flash-ROM写入程序的结构，所以随时能够从测试用的通用计算机装置2下载程序，不进行ROM替换等任何硬件的变更，因此器件测定装置调整的效率高。又，因为BOST板1上的Flash-ROM等的可编程器件能够多次改写，测试中需要的数据可以全部存储。从而，通过改写可编程器件的内容，在硬件方面可完全不改变，就能测定多品种的被测定器件4，能够将提出的测试装置通用化。
又，在BOST板1具备观测BOST板1的输入输出信号和内部信号的观测用端子1b，因此通过使用这个观测用端子1b，能够确认作为器件测定装置的BOST板1内部的动作。又，通过改写Flash-ROM等可编程器件的内容，能够决定从观测用端子1b输出的信号，因此能够抑制观测用端子1b于最低限度。
又，BOST板1具备用于通过电缆连接基板12的插头1c以及用于直接插入基板12的插头1d，所以被测定器件4和BOST板1的连接方法可以选择，BOST板1能够进行适合搭载被测定器件4的基板12的形状的连接。
又，BOST板1具备能够处理来自被测定器件4的多个输入信号的输入信号选择功能，所以来自被测定器件4上混合搭载的多个电路的信号可以通过可编程器件的控制切换，从而能够达到用1枚BOST板1进行多个回路测试的效果。
又，因为能够使用多个作为器件测定装置的BOST板1进行测试，所以对被测定器件4中包含特性不同的多个电路(ADC电路，DAC电路等)进行测试时，能够在具有适合各电路特性的测定部5的BOST板进行测试，因为BOST板1小型化了，所以能够在被测定器件周围配置多个。还有，在上述实施的形态中叙述了通过1枚控制·通信卡3进行多个BOST板1的控制的情况，但不仅限于此，也可以用多枚控制·通信卡进行控制。
又，上述实施的形态中，叙述了将被测定器件4安装于基板12上安装的插座11中的情况，但不限于此，也可以在BOST板1本身搭载能够安装被测定器件4的插座，这种情况下，为了减少噪音，能够将模拟信号的通信距离进一步缩短，从而实现高精度化。
权利要求
1.一种半导体集成电路的测试装置，其特征在于，具备由对半导体集成电路构成的被测定器件进行信号交换的测定部和用可编程的器件对来自所述测定部的信息进行分析的解析部构成的器件测定装置、以及用与所述器件测定装置不同的板构成，与所述器件测定装置连接，对所述器件测定装置进行控制，而且与通用计算机装置进行通信的控制·通信卡。
2.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，控制·通信卡具有从器件测定装置取入数据的数据输入部、向所述器件测定装置提供控制信号的控制信号输出部，以及与通用计算机装置进行信号交换的接口。
3.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，器件测定装置由有程序写入口，能从通用计算机装置将程序写入器件测定装置的可编程的器件中。
4.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，在所述器件测定装置或控制·通信卡上具有观测器件测定装置的输入输出信号以及内部信号的观测用端子。
5.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，在器件测定装置上设有通过电缆与基板连接用的插头，以及直接插入所述基板用的插头；所述基板是搭载被测定器件安装用的插座的基板。
6.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，器件测定装置具备输入被测定器件上设置的多个电路来的信号的多个输入端子，以及选择、切换处理来自这些输入端子的多个输入信号的输入信号选择手段。
7.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，控制·通信卡具备向器件测定装置提供诊断该器件测定装置的诊断用信号，同时将来自所述器件测定装置的诊断结果数据传送到通用计算机装置的器件测定装置诊断手段。
8.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，设置多个器件测定装置，形成能用一个或多个器件测定装置进行测试的结构。
9.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，器件测定装置是，拥具有程序写入口，形成能够将程序从通用计算机装置写入到器件测定装置的可编程的器件的结构，器件测定装置的可编程的器件是Flash-ROM。
10.根据权利要求1所述的半导体集成电路的测试装置，其特征在于，在器件测定装置上搭载有能安装被测定器件的插座。
全文摘要
本发明提供能够在被测定器件近旁配置由BOST板等构成的多个器件测定装置，能够对系统LSI等半导体集成电路中混合载置的多个电路进行高精度测试的半导体集成电路的测试装置。本发明的半导体集成电路的测试装置具备以半导体集成电路的制造工序中的品质是否良好的检查、或功能、性能的评价为目的，由对半导体集成电路构成的被测定器件(4)进行信号交换的测定部(5)和用可编程的器件对来自所述测定部(5)的信息进行分析的解析部(6)构成的器件测定装置(1)、以及用与该器件测定装置(1)不同的板构成，与所述器件测定装置(1)连接，对所述器件测定装置(1)进行控制，而且与通用计算机装置(2)进行通信的控制·通信卡(3)。
文档编号G01R31/28GK1573344SQ20041000680
公开日2005年2月2日 申请日期2004年2月18日 优先权日2003年6月18日
发明者鐮野智, 金光朋彦 申请人:松下电器产业株式会社