技术编号:594726
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及下列 <1>一种化学放大型抗蚀剂组合物,其包含树脂,所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元 其中R1表示氢原子或甲基,环X表示C3-C30环烃基,其中一个-CH2-被-COO-取代,并且在所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代,并且p表示1至4的整数,并且所述树脂本身在碱水溶液中不溶解或溶解差,但是通过酸的作用变得可溶于碱水溶液中;以及由式(II)表示的盐 ...
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