技术编号：5969600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种红外显微系统。背景技术红外成像在半导体功率器件的设计、集成电路的可靠性检测、激光二极管的实效分析、MEMS器件的热分布分析、材料热性能的分析以及生物标本温度分析等微观领域具有相当广泛的应用，因此红外显微镜系统应运而生。但是由于红外热像仪通常只对单一波长或某个特定波段敏感， 比如7-14 ii m波段、3-5ii m波段等，导致其对场景的亮度变化不敏感，成像清晰度低，对图像的细节捕捉远没有可见光丰富。而可见光成像显微镜敏感于目标物体的反射，...
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