专利名称：红外显微系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种红外显微系统。
背景技术：
红外成像在半导体功率器件的设计、集成电路的可靠性检测、激光二极管的实效分析、MEMS器件的热分布分析、材料热性能的分析以及生物标本温度分析等微观领域具有相当广泛的应用，因此红外显微镜系统应运而生。但是由于红外热像仪通常只对单一波长或某个特定波段敏感， 比如7-14 ii m波段、3-5ii m波段等，导致其对场景的亮度变化不敏感，成像清晰度低，对图像的细节捕捉远没有可见光丰富。而可见光成像显微镜敏感于目标物体的反射，与热对比度无关，能够获取高清晰度的图像，并能够提供目标物体的细节信息，但无法提供目标物体的热谱信息，因此，在诸多需要热谱分析的检测应用中受到限制。
发明内容为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种红外显微系统，可同时满足微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求，又能够实现红外热分布的成像。本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种红外显微系统，包括支架、载物台、目标物、可见显微相机和红外显微相机，所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物。作为本实用新型的进一步改进，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物的结构为在所述载物台正上方设置Z向导杆，另设有横向支架，所述横向支架通过螺纹啮合于所述Z向导杆上，且所述横向支架可沿Z向导杆上下移动并定位；所述可见显微相机和红外显微相机分别滑动定位于所述横向支架上，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别相对所述横向支架左右移动并定位。本实用新型的有益效果是该系统能够同时将目标物体的可见光与红外静态或动态图像信息提供给使用者，既满足了微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求，又能够实现红外热分布的成像，从而实现结构特征与性能特征的同时采集，有利于同时分析其性能及效能。
图I为本实用新型所述红外显微系统结构示意图。[0008]结合附图，作以下说明7——横向支架2——载物台3——目标物4——可见显微相机5-红外显微相机 6-Z向导杆
具体实施方式
一种红外显微系统，包括支 架I、载物台2、目标物3、可见显微相机4和红外显微相机5，所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物。优选的，上述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物的结构为在所述载物台正上方设置Z向导杆6,另设有横向支架7,所述横向支架通过螺纹哨合于所述Z向导杆上,且所述横向支架可沿Z向导杆上下移动并定位；所述可见显微相机和红外显微相机分别滑动定位于所述横向支架上，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别相对所述横向支架左右移动并定位。
权利要求1.一种红外显微系统，其特征在于其包括支架(I)、载物台(2)、目标物(3)、可见显微相机(4)和红外显微相机(5)，所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物。
2.根据权利要求I所述的红外显微系统，其特征在于所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物的结构为在所述载物台正上方设置Z向导杆(6)，另设有横向支架(7)，所述横向支架通过螺纹啮合于所述Z向导杆上，且所述横向支架可沿Z向导杆上下移动并定位；所述可见显微相机和红外显微相机分别滑动定位于所述横向支架上，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别相对所述横向支架左右移动并定位。
专利摘要本实用新型公开了一种红外显微系统，包括支架、载物台、目标物、可见显微相机和红外显微相机，所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物。可同时满足微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求，又能够实现红外热分布的成像。
文档编号G01J5/00GK202442791SQ201220024869
公开日2012年9月19日 申请日期2012年1月19日 优先权日2012年1月19日
发明者吴健雄, 孔延梅, 李庆, 焦斌斌, 程腾, 高杰 申请人:昆山光微电子有限公司