技术编号:5974212
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及洁净空间发尘量检测,特别涉及一种油脂发尘量测试装置。背景技术洁净空间,是指为了将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电等因素控制在某一需求范围内而特别设计的特定空间,不论外在的空气条件如何变化,其室 内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度以及温湿度等,使产品能在一...
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