技术编号:5982814
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种应用X射线衍射原理为蓝宝石晶棒定向的光机电一体化定向系统。背景技术随着电子信息时代的到来,为电子产品配套的电子元件及功能件也越来越精密,国内外现有的半导体材料已经不能满足日益发展电子设备功能要求,提高电子产品的精度关键是提高电子材料的精度。现在,国内外正在大规模生产蓝宝石晶体,但在这种晶体的生产和加工的工艺过程中,各个晶面的晶向定向精度最为重要,为了提高蓝宝石晶面的加工精度,改变过去传统、落后的加工方式,我们要研发高精度的蓝宝石晶棒参考边...
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