专利名称：蓝宝石晶棒参考边角度定向系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种应用X射线衍射原理为蓝宝石晶棒定向的光机电一体化定向系统。
背景技术：
随着电子信息时代的到来，为电子产品配套的电子元件及功能件也越来越精密，国内外现有的半导体材料已经不能满足日益发展电子设备功能要求，提高电子产品的精度关键是提高电子材料的精度。现在，国内外正在大规模生产蓝宝石晶体，但在这种晶体的生产和加工的工艺过程中，各个晶面的晶向定向精度最为重要，为了提高蓝宝石晶面的加工精度，改变过去传统、落后的加工方式，我们要研发高精度的蓝宝石晶棒参考边角度定向系 统，此种仪器不但精度高，而且加工效率高，在生产过程中节约了人力和时间，为企业降低成本。
实用新型内容本实用新型的主要目的就在于提供一套蓝宝石晶棒参考边角度定向的系统。该系统通过小功率X射线管发生的X射线，经过单色器处理后，能够获得Kal单一谱线下的两个方向的回摆曲线，通过对回摆曲线的特征提取得到蓝宝石晶棒参考边两个方向测角精度，从而实现对监宝石晶棒参考边的定向检测。采用的技术方案是蓝宝石晶棒参考边角度定向系统，包括X射线装置，闪烁探测器、晶棒转台；晶棒转台设置在底平台上，并通过升降系统和控制器予以控制，晶棒水平放置在晶棒转台上，X射线装置内装设有X光管，X射线装置和闪烁探测器分别置于转台的左右两侧，X光管的射线经过单色器后，照射在晶棒的中心。本实用新型具有不破样品、无污染、快捷、测量精度高等优点。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
蓝宝石晶棒参考边角度定向系统，包括X射线装置5，闪烁探测器2、晶棒转台8 ；晶棒转台8设置在底平台3上，并通过升降系统4和控制器9予以控制，晶棒水平放置在晶棒转台8上，X射线装置5内装设有X光管1，X射线装置5和闪烁探测器2分别置于转台8的左右两侧，X光管I的射线经过单色器6后，照射在晶棒7的中心。
权利要求1.蓝宝石晶棒参考边角度定向系统，包括X射线装置，其特征在于闪烁探测器、晶棒转台；晶棒转台设置在底平台上，并通过升降系统和控制器予以控制，晶棒水平放置在晶棒转台上，X射线装置内装设有X光管，X射线装置和闪烁探测器分别置于转台的左右两侧，X光管的射线经过单色器后，照射在晶棒的中心。
专利摘要蓝宝石晶棒参考边角度定向系统，包括工作台，其特征在于所述的工作台上设置有X射线发生器、衍射线探测器、所述的X射线发生装置中设置有X射线管和单色器，剩下的较单色化的Ka射线照射在晶片样品旋转台上的被测晶片上，并与被测晶片中心交于一点，产生晶片衍射线，晶片衍射线被X射线探测器接收，蓝宝石晶体某一边具有不破坏样品、无污染、快捷、测量精度高等优点。
文档编号G01B15/00GK202661410SQ201220264939
公开日2013年1月9日 申请日期2012年6月7日 优先权日2012年6月7日
发明者甄伟, 赵松彬, 马敏 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司