技术编号：5999804
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氧气的检测方法、空气泄漏的判别方法、气体成分检测装置、以及真空 处理装置。本发明特别涉及通过使用电离真空计或质谱仪来控制和测量灯丝电流，从而有 效地检测出真空处理室内的氧气的方法、利用该检测方法的空气泄漏的判别方法、执行这 种检测方法或判别方法的气体成分检测装置、以及包括该成分检测装置的真空处理装置。本申请基于2009年3月18日申请的特愿2009-066887号主张优先权，在此引用 其内容。背景技术一直以来，在利用于半导体、平板显示器或太阳能电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。