陀螺仪封装组件的制作方法技术资料下载

技术编号:6000919

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本文描述的主题关于陀螺仪,并且具体关于平面谐振陀螺仪或惯性传感器及其制造。更具体地,本发明关于谐振仪惯性传感器和陀螺仪的封装。背景技术陀螺仪可以用于基于感测的内部移动检测质量块的惯性反应来确定移动平台的方向。典型的机电陀螺仪包括悬挂的检测质量块、陀螺仪壳体、传感器(Pickoff)、扭矩装置和读出电子器件。惯性检测质量块悬挂在陀螺仪壳体内部,陀螺仪壳体刚性安装到平台并且传达平台的惯性运动,同时将检测质量块与外界干扰隔离开。感测检测质量块内部运动的传感器、维...
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