测试装置及测试方法技术资料下载

技术编号:6004091

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本发明涉及。 背景技术作为测试半导体电路等被测试器件的测试装置,已知有配置了多个测试模块、测试总线以及测试控制器的装置(例如参照专利文献1)。测试控制器通过测试总线控制多个测试模块,测试被测试器件。专利文献1特开平9-89999号公报由于多个测试模块测试的是同一个被测试器件,因而最好同步动作。在现用的测试装置中,测试控制器控制着多个测试模块的同步动作。这样就产生了测试控制器中的处理时间,因而并不理想。发明内容因此本说明书中包含的技术革新(新发明)的(一)侧...
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