专利名称：测试装置及测试方法
技术领域：
本发明涉及测试装置及测试方法。
背景技术：
作为测试半导体电路等被测试器件的测试装置，已知有配置了多个测试模块、测试总线以及测试控制器的装置(例如参照专利文献1)。测试控制器通过测试总线控制多个测试模块，测试被测试器件。专利文献1特开平9-89999号公报由于多个测试模块测试的是同一个被测试器件，因而最好同步动作。在现用的测试装置中，测试控制器控制着多个测试模块的同步动作。这样就产生了测试控制器中的处理时间，因而并不理想。
发明内容
因此本说明书中包含的技术革新(新发明)的(一)侧面以提供能够解决上述课题的测试装置及测试方法为目的。该目的可通过权利要求书中的独立项中所述的特征的组合实现。此外，从属项规定本发明更加有利的具体用例。也就是说，依照本说明书中包含的新发明涉及的装置及方法的一个用例提供一种测试装置以及该测试装置涉及的测试方法，该测试装置是测试被测试器件的测试装置，配置有多个测试模块，其在被测试器件间传输信号；总线，其可连接多个测试模块；测试控制部，其经总线控制多个测试模块；测试模块具有在被测试器件间传输信号的测试部和控制测试部的模块控制部；各个测试模块中的模块控制部经总线与其它测试模块的模块控制部传输信号。而上述发明概要并未全部列举本发明的必要特征，这些特征群的次级组合也可构成发明。
图1是测试装置100的功能构成图，一并示出多个被测试器件(DUT) 10。图2是测试控制部132的动作例示图。图3是控制接口部134的局部构成例示图。图4是控制接口部134的局部构成的另一例示图。图5是测试部210及被测试器件10的连接例示图。图6是测试控制部132的另一动作例的说明图。图7是测试模块120的构成例示图。图8是在测试模块120间传输同步信息包的传输路径例示图。图9是测试部210的构成例示。
具体实施例方式下面通过发明的实施方式说明本发明的(一)侧面，但下面的实施方式并不既定权利要求涉及的发明，另外，并非实施方式中说明的全部特征组合都是发明的解决手段中必须具备的。图1是测试装置100的功能构成，一并示出多个被测试器件(DUT) 10。测试装置 100至少测试1个被测试器件10。也就是说测试装置100既可测试1个被测试器件10，也可并行测试多个被测试器件10。测试装置100配置有系统控制部110、多个测试模块120、多个测点控制部130、总线140。系统控制部110与多个测点控制部130连接，控制整个该测试装置100。系统控制部110和多个测点控制部130之间例如可用通用或专用的高速串行总线连接。各个测点控制部130可对应1个或多个被测试器件10。各个测点控制部130通过控制与对应的被测试器件10连接的1个或多个测试模块120，控制对应的被测试器件10 的测试。各个测点控制部130按照系统控制部110提供的控制命令以及测试程序等，控制对应的测试模块120。也就是说，各个测点控制部130把1个或多个测试部210作为资源使用，控制对应的被测试器件10的测试。总线140连接测点控制部130以及1个或多个测试模块120之间。而测点控制部130也可在测试模块120中包含的各个测试部210上控制测试模块 120。例如，当1个测试模块120中包含的测试部210的一部分与第1被测试器件10连接， 另一测试部210与第2被测试器件10连接的情况下，也可第1测点控制部130控制与第1 被测试器件10对应的测试部210，第2测点控制部130控制与第2被测试器件10对应的测试部210。即，1个测试模块120中包含的多个测试部210可被各组群内的不同测点控制部 130控制。测试模块120在对应的被测试器件之间传输信号。各个测试模块120具有多个测试部210。各个测试部210可与作为该测试装置100的测试对象的所有被测试器件10中的任意一个被测试器件10的端子连接。多个测试部210中的每一个通过在连接的被测试器件10之间传输信号测试该被测试器件10。例如，测试模块120给被测试器件10提供具有规定的逻辑图形的测试信号，接收与该测试信号对应的表示被测试器件10的动作结果的信号。而各个测试模块120可分别设置在不同的基板上。设置在同一测试模块120中的多个测试部210可经共用的接口与总线140连接。此处，该接口可在每个测试部210上独立设定对应的各个测试部210是否接受某个测点控制部130的控制。例如，该接口可将从总线140接收的命令仅通知给多个测试部 210中该命令中指定的测试部210。这样一来，测试装置100可将一个测试模块120具有的多个测试部210接受控制的测点控制部130各自独立地任意设定。因此，若采用测试装置100，可高效利用测试模块 120内的资源进行测试。各个测点控制部130具有测试控制部132以及控制接口部134。测试控制部132 执行用于控制被测试器件10的测试的程序，发布实施结果对应的命令。测试控制部132发布含指定应通知该命令的测试模块120的信息的命令。例如，测试控制部132可发布含指定被测试器件10的信息的命令。各个测试模块 120的接口，在属于自己的测试部210与该命令中指定的被测试器件10连接的情况下，可判定为该命令指定了自己。此外，测试控制部132也可发布含指定应通知该命令的测试部210的信息的命令。 各个测试模块120的接口当属于自己的测试部210在该命令中被指定的情况下，可判定为该命令指定了自己。各个测试模块120把该命令通知被指定的测试部210。测试部132可发布读出数据的读出命令，写入数据的写入命令，以及其它命令。测试控制部132可具有信息处理器、存储器等。控制接口部134按照测试控制部132的控制，处理测点控制部130以及总线140 间的通信。例如，控制接口部134可把从测试控制部132接收到的命令发送给与该命令对应的测试模块120，也可发送给所有测试模块120。此外，控制接口部134把从各个测试模块120接收到的数据发送给测试控制部132。此外，测试控制部132给2个以上的测试模块120成批发布群组读出命令，让其读出测试模块120存储的数据。测试控制部132既可在该群组读出命令中指定测试模块120， 也可指定测试部210或被测试器件10。控制接口部134从该群组读出命令对应的测试模块120读出数据。例如，控制接口部134可将该群组读出命令通知连接在总线140上的所有测试模块120。各个测试模块 120在接收到的群组读出命令中指定了自己的情况下，把该群组读出命令通知对应的测试部 120。在群组读出命令中被指定的测试模块120向总线140输出群组命令中指定的地址、缓冲寄存器等处存储的数据。此时，测试模块120把表示该群组读出命令对应的应答数据的内容的信息添加到该应答数据中。例如，测试模块120可把从其它命令中识别该群组读出命令的识别信息添加到该应答数据中。该应答数据可以是表示测试模块120状态的数据，例如各个测试模块120是否处于待机状态等。此外，该应答数据也可以是表示测试结果的数据，例如被测试器件10是否良好的判定结果等。各个控制接口部134经总线140接收测试模块120的应答数据。并且废弃自己发送的群组读出命令对应的应答数据以外的应答数据。控制接口部134从该群组读出命令中指定的所有测试模块120接收应答数据情况下，把这些应答数据成批通知测试控制部132。 控制接口部134可把这些数据的逻辑和或逻辑积通知测试控制部132。通过此种构成，测试控制部132可成批指定2个以上的测试模块120，成批读出数据。因此能高效取得测试模块120的状态、测试结果等。测试控制部132可根据成批读出的应答数据，控制多个测试模块120。例如测试控制部，当指定的测试模块120全部处于待机状态情况下，可给这些测试模块120提供使之开始下一测试的触发信号。此外，测试控制部132可使各测试模块120实施与指定的测试模块120中的测试结果对应的测试项目。图2是测试控制部132的动作例示图。在本例中说明测试控制部132发布一个一个地指定测试模块120读出数据的单一读出命令的情况，以及发布上述群组读出命令的情况。图2中的标号C表示测试控制部132发布读出命令的期间，标号D表示测试控制部132 接收应答数据的期间，标号P表示测试控制部132处理数据的期间。利用单一读出命令从多个测试模块120读出数据情况下，测试控制部132从1个测试模块120接收应答数据之后，再向下一个测试模块120发布单一读出命令。因此，与测试模块120的个数成比例，单一读出命令的实施时间相应延长。与之相对应，利用群组读出命令从多个测试模块120读出数据情况下，测试控制部132发布成批指定多个测试模块120的群组读出命令。并且成批接收控制接口部134中存储的应答数据。因此可用比单一读出命令更短的时间从多个测试模块120读出数据。图3是控制接口部134的局部构成例示图。在本例中说明在控制接口部134的构成中处理按照群组读出命令读出的应答数据的构成，省略其它构成的说明。本例的控制接口部134具有计数器135以及数据存储部136。计数器135及数据存储部136从总线140接收与群组读出命令对应的应答数据。 计数器135计数接收的应答数据的个数。此外，可在计数器135内预先设定根据对应的测试控制部132发布的群组读出命令应读出的数据个数的期待值。例如，在针对各测试模块120单独接收应答数据情况下，计数器135内可把群组读出命令指定的测试模块120的数量作为该期待值设定。此外，在针对各测试部210中每一个接收应答数据情况下，计数器135内可将群组读出命令指定的测试部210的数量作为该期待值设定。计数器135在计数值与期待值一致情况下，把计数值复位的同时，将其内容通知数据存储部136。数据存储部136存储接收到的应答数据。此外，数据存储部136在接收到计数器 135的计数值和期待值一致的内容的通知情况下，把存储的应答数据成批发送给测试控制部132。此时，数据存储部136把已发送的应答数据从存储区域中删除。通过采用此种构成，测试控制部132可成批读出多个测试模块120或多个测试部 210的应答数据。此外，通过计数对应的群组读出命令对应接收的应答数据的个数，控制接口部134不必识别应答数据是哪个测试模块120的数据，就可检出指定的多个测试模块120 的数据读出已完毕。图4是控制接口部134另一种局部构成的例示图。本例的控制接口部134除具有图3所示的控制接口部134的构成之外，还具有逻辑运算部137。本例的控制接口部134把从各个测试模块120接收的应答数据的逻辑和或逻辑积通知测试控制部132。计数器135 具有与图3关连说明过的计数器135同样的功能。逻辑运算部137每次从各个测试模块120接收应答数据，即运算与接收到的数据的逻辑和或逻辑积。例如，测试控制部132在各个测试模块120处于待机状态时，可发布读出表示逻辑值1的应答数据的命令。测试控制部132仅需判定指定的所有测试模块120是否处于待机状态即可。在此情况下，逻辑运算部137运算各个应答数据的逻辑积。此外，测试控制部132可发布被测试器件10的测试结果为损坏时读出表示逻辑值 1的应答数据的命令。测试控制部132可判定指定的测试模块120中的至少一个上是否检出了被测定器件10的损坏。在此情况下，逻辑运算部137运算各个应答数据的逻辑和。数据存储部136存储逻辑运算部137的运算结果。并且，每当接收到新的应答数据，即从数据存储部136中读出数据，与该应答数据逻辑运算，把运算结果存储到存储部136 中。计数器135在计数值与期待值一致的情况下，使数据存储部136把存储的数据值发送给测试控制部132。发送了数据后，数据存储部136可把存储数据设为初值。通过采用此种构成，可将多个测试模块120的应答数据以少的传输量发送给测试控制部132。此外，由于是把本应在测试控制部132中实施的逻辑运算放到控制接口部134 中实施的，因而可减少测试控制部132的处理负荷。图5是测试部210及被测试器件10的连接例示图。在本例中，第1测试模块120_1 具有与第ι被测试器件10-1之间传输信号的1个以上的第1测试部210-1、和与第2被测试器件10-2之间传输信号的1个以上的第2测试部210-2。当测试控制部132输出指定某个被测试器件10的群组读出命令情况下，各个测试模块120成批发送与该群组读出命令中指定的被测试器件10对应的1个以上的测试部210 存储的数据。例如，当接收到指定第2被测试器件10-2的群组读出命令情况下，第1测试模块120-1成批发送多个测试部210中，第2测试部210-2存储的数据。此处所说的成批发送，是指发送各测试部210存储的数据的逻辑和或逻辑积的处理。各个测试模块120可具有逻辑运算部122，其把从群组读出命令中指定的测试部210读出的数据的逻辑和或逻辑积发送给总线140。这样一来，通过在测试模块120的内部运算多个测试部210的应答数据的逻辑和或逻辑积，可减少测点控制部130中的处理负荷。图6说明测试控制部132的其它动作例。在本例中，说明发布快速读出(# ν r ^ ” K 'J 一 K )命令时的测试控制部132的动作。快速读出命令是指把指定某个测试模块 120读出应答数据的个别读出命令不等从各个测试模块120发来的应答数据读出完毕，即对多个测试模块120连续输出的命令。正如图6所示，在实施单一读出命令的情况下，等待从各个测试模块120而来的应答数据D读出完毕之后，再发布指定下一个测试模块120的个别读出命令C。与之相对应， 在快速读出命令中，测试控制部132向总线140连续输出指定各个测试模块120的个别读出命令。控制接口部134把与各个个别读出命令对应的应答数据排序。此时，控制接口部 134也可在接收快速读出命令中依次指定的多个测试模块120的全部应答数据之前不向测试控制部132发送应答数据。在控制接口部134接收到指定的全部测试模块120发来的应答数据情况下，可将这些应答数据成批发送给测试控制部132。控制接口部134可使用图3或图4关连说明过的某种构成处理应答数据。例如， 可在计数器135中把快速读出命令指定的测试模块120的个数作为期待值设定。计数器135在与快速读出命令相对应，从测试模块120接收的数据个数与设定的期待值一致的情况下，把从测试模块120接收到的数据成批发送给测试控制部132。通过此种控制，测试控制部132不必等待接收个别的应答数据即可执行测试程序。图7是测试模块120的构成例示图。测试模块120具有多个测试部210、模块控制部220、以及模块接口部230。模块控制部220存储是否把多个测试部210中的每一个与多个测点控制部130中某个被测试器件10 (或者测点控制部130)对应的设定。在本例中，模块控制部220针对多个测试部210的每一个，存储识别对应的被测试器件10的识别码。
此外，模块控制部220存储控制各个测试部210的控制数据。此种数据以及设定可在测试之前例如由测试控制部132写入。模块接口部230与多个测试部210连接。还有，模块接口部230经总线140在多个测点控制部130之间收发读出命令、应答数据等。模块接口部230在接收到指定某个被测试器件10的群组读出命令的情况下，向模块控制部220查询各个测试部210是否与该被测试器件10对应。当存在与该被测试器件 10对应的测试部210的情况下，模块接口部230向该测试部210发送群组读出命令。此外，各个测试模块120可不经由测试控制部132，在其它测试模块120之间传输信号。在此情况下，模块控制部220在其它测试模块120的模块控制部220之间传输信号。更具体而言，模块控制部220把指定其它测试模块120的信号发送给总线140。其它测试模块120的模块控制部220可经由总线140接收该信号。此外，各个模块控制部220为使对应的测试部210和其它测试模块120中的测试部210同步动作，可给总线140发送同步信息包。更具体而言，各个模块控制部220在对应的测试部210处于规定的待机状态情况下，生成同步信息包。控制接口部134可经由总线140向所有测试模块120发送接收到的同步信息包。 而控制接口部134可将从模块控制部220接收到的同步信息包，发送给同一测点控制部130 对应的所有测试模块120。图8是在测试模块120间传输同步信息包情况下的，信息包传输路径的例示图。一个测试模块120发送的同步信息包可经由总线140被对应的控制接口部134接收。S卩，模块控制部220向对应的测点控制部130发送同步信息包。控制接口部134在接收到的信号是同步信息包的情况下，指定所有对应的测试模块120后，把该同步信息包发送给总线140。各个模块控制部220从总线140接收到系统控制部110等预先设定的规定个数的同步信息包情况下，判定为应同步动作的所有测试模块 120均处于待机状态。而各模块控制部220也接收自己发送的同步信息包。因此，作为应接收的同步信息包的个数，包括自己在内的测试模块120的个数可在各个模块控制部220中设定。并且，模块控制部220使对应的测试部210实施下述测试项目。更具体而言，各个模块控制部220接收到规定个数的同步信息包的情况下，使测试部210生成下一个应生成的测试信号，提供给被测试器件10。通过此种控制，各个测试项目的实施时间即使在各个测试模块120中各不相同的情况下，仍可使多个测试模块120在每个测试项目中同步动作。此外，由于在同步动作中不经由测试控制部132，因而可减少测试控制部132的处理负荷。图9是测试部210的构成例示图。而测试部210并不局限于此种构成，也可以是其它构成。测试部210例如可具有发信方单元12、收信方单元14。测试部210也可以是仅具有发信方单元12或收信方单元14中的一方的构成。发信方单元12按照信息包目录指定的顺序把信息包发送给被测试器件10。收信方单元14从被测试器件10接收信息包后，比较信息包目录中指定的信息包和接收到的信息包，判定被测试器件10是否良好。首先，说明发信方单元12。发信方单元12包括信息包目录存储部20、信息包目录处理部22、信息包命令列存储部24、信息包数据列存储部26、下位顺序控制器28、数据处理部32、数据变换部34、发信部36。信息包目录存储部20存储提供来的多个信息包目录。信息包目录处理部22执行信息包目录存储部20中存储的多个信息包目录中被外部指定的信息包目录，依次指定与被测试器件10通信的各信息包。信息包目录处理部22 例如根据从外部接收的地址执行信息包目录，依次指定发送给被测试器件10的信息包。信息包目录处理部22例如，指定用来产生指定的信息包的命令列存储的信息包命令列存储部24上的地址。还有，信息包目录处理部22例如针对与被测试器件10之间的通信的信息包，指定包含在信息包数据列存储部26中的该信息包中的数据列的地址(例如数据列的开头地址)。这样一来，信息包目录处理部22单独指定用于产生信息包的命令列的地址和包含在该信息包中的数据列的地址。而在此情况下，在信息包目录中对两个以上的信息包指定了共同的命令列或数据列的情况下，信息包目录处理部22也可对该两个以上的信息包指定同一命令列的地址或同一数据列的地址。信息包命令列存储部24按照信息包的种类分别存储用于产生各种信息包的命令列。信息包命令列存储部24存储例如用于产生写入信息包的命令列、用于产生读出信息包的命令列、以及用于产生闲置信息包的命令列等。信息包数据列存储部26按照信息包的种类分别存储多种信息包各自所包含的数据列。信息包数据列存储部26例如可包含写入信息包中包含的数据列、读出信息包中包含的数据列、以及闲置信息包中包含的数据列等。此外，信息包数据列存储部26也可把例如各信息包中被变更的个别数据、以及各种信息包共同的数据区别开来存储在不同的存储区域内。还有，发信方的信息包数据列存储部26从收信方单元14内的数据变换部34接收收信方单元14内的收信部82接收的信息包中包含的收信数据。并且，发信方的信息包数据列存储部26存储收信方单元14内的收信部82接收的信息包中包含的收信数据。下位顺序控制器28从信息包命令列存储部24中读出信息包目录处理部22指定的信息包的命令列，即由信息包目录处理部22指定了地址的命令列，然后依次执行读出的命令列中包含的各种命令。还有，下位顺序控制器28通过使信息包目录处理部22指定的信息包的数据列、即由信息包目录处理部22指定了地址数据列，随着命令列的执行依次从信息包数据列存储部26中输出，生成与被测试器件10之间的测试中使用的测试数据列。下位顺序控制器28每次执行命令时均给数据处理部32以及数据变换部34提供控制数据，指示其对读出的个别数据以及共同数据实施指定的处理(运算或者数据变换)。 因此，下位顺序控制器28可将信息包目录处理部22指定的信息包中的，被指定的数据部分改造为对读出的数据实施了指定处理的数据。此外，下位顺序控制器28在信息包目录处理部22指定的信息包的命令列执行完毕情况下，可给信息包目录处理部22提供结束通知。因此，信息包目录处理部22可根据下位顺序控制器28的命令列的执行进展情况，依次指定信息包。此外，发信方单元12具有的发信方的下位顺序控制器28向发信部36指定给被测试器件10发信的信号的定时界限。下位顺序控制器28例如通过给发信部36提供定时信号控制各信息包的定时界限。
此外，发信方的下位顺序控制器28与收信方单元14具有的收信方的下位顺序控制器28进行通信。因此，发信方的下位顺序控制器28可通过与收信方的下位顺序控制器 28进行信息交换，与收信方的下位顺序控制器28同步执行命令列。发信方的下位顺序控制器28例如把已将预先指定的信息包的测试数据列发送给被测试器件10 —事通知收信方的下位顺序控制器28。因此，发信方的下位顺序控制器28 可禁止收信方的下位顺序控制器28在收到收信方的下位顺序控制器28的通知之前判定接收到的数据列是否良好。此外，发信方的下位顺序控制器28例如在收到收信方的下位顺序控制器28已收到与生成的测试数据列一致的数据列的通知之后，生成预先指定的信息包的测试数据列。 因此，发信方的下位顺序控制器28可在从被测试器件10接收到规定的信息包之后，给被测试器件10发送预先规定的信息包。数据处理部32从信息包数据存储部26读出由信息包目录处理部22指定的信息包的数据列后，生成被测试器件10的测试中使用的测试数据列。在此情况下，发信方的数据处理部32可在与发送给被测试器件10的信息包对应的测试数据列中包含与收信方单元 14内的收信部82接收的信息包中含有的收信数据对应的值。例如，发信方的数据处理部32从发信方的信息包数据列存储部26读出数据后生成测试数据列，其把发送给被测试器件10的信息包的数据列中的预先指定的部分作为与收信数据中对应的值(例如收信数据不加任何改变的值或对收信数据实施了某种处理的值)。此种发信方的数据处理部32可将从被测试器件10接收到的信息包中含有收信数据对应的值，包含在信息包中发送。数据变换部34在下位顺序控制器28指定的定时内把数据处理部32输出的测试数据列数据变换。数据变换部34例如可对测试数据列，通过预先设定的图表等进行Sb-IOb 变换等。还有，数据变换部34例如也可对测试数据列进行扰码处理。并且，数据变换部34 输出变换后的数据列。发信部3b把数据变换部34生成的测试数据列发送给被测试器件 10。下面说明收信方单元14。由于收信方单元14具有与发信方单元12大致相同的构成及功能，因而对于收信方单元14仅就其与发信方单元12的不同点加以说明。收信方单元14包括信息包目录存储部20、信息包目录处理部22、信息包命令列存储部24、信息包数据列存储部26、下位顺序控制部28、数据处理部32、数据变换部34、收信部82、判定部84。收信部82接收被测试器件10发来的信息包的数据列。收信方的数据变换部34在收信方的下位顺序控制器28指定的定时内把收信部82 接收到的数据列数据变换。收信方的数据变换部34例如对接收到的数据列利用预先设定的图表等进行Sb-IOb变换。此外，收信方的数据变换部34例如也可对接收到的数据列进行解扰码处理。并且，收信方的数据变换部34把变换后的数据列提供给判定部84。此外，收信方的数据变换部34也可把变换后的数据列至少提供给收信方的信息包数据列存储部26或发信方的信息包数据列存储部26中的一方。收信方的信息包目录处理部22通过执行外部指定的信息包目录，依次指定从被测试器件10接收的和期待的信息包。此外，收信方的数据处理部32把生成的测试数据列提供给判定部84。收信方的下位顺序控制器28把期待被测试器件10输出的信息包的数据列作为测试数据列使之从收信方的信息包数据列存储部26输出。此外，收信方的下位顺序控制部28 对收信部82指定纳入被测试器件10输出的信号数据值的读取脉冲定时。判定部84在从收信方的数据处理部32收取测试数据列的同时，收取从收信方的数据变换部34接收到的数据列。判定部84根据把接收到的数据列与测试数据列比较的结果，判定与被测试器件10之间的通信是否良好。判定部84包含例如比较收信部82接收到的数据列和测试数据列是否一致的逻辑比较部、和存储比较结果的损坏存储器。此外，判定部84例如也可把收信部82接收到的数据列与指定的数据列一致的情况通知收信方的下位顺序控制器28。此外，收信方的下位顺序控制器28与发信方的下位顺序控制器28进行通信。因此，收信方的下位顺序控制器28可通过与发信方的下位顺序控制器28进行信息交换，与发信方的下位顺序控制器28同步执行命令列。收信方的下位顺序控制器28把已收到与该收信方的下位顺序控制器28先成的测试数据列一致的数据列的情况通知发信方的下位顺序控制器28。因此，收信方的下位顺序控制器28从收信方的下位顺序控制器28接收到已收到与生成的测试数据列一致的数据列的通知之后，即可先成预先指定的信息包的测试数据列。此外，收信方的下位顺序控制器28例如在从发信方的下位顺序控制器28接收到已将预先指定的信息包的测试数据列发送给被测试器件10的通知之前，禁止判定部84判定收信部82接收到的数据列是否良好。因此，收信方的下位顺序控制器28在把规定的信息包发送给被测试器件10之后，即可判定是否从被测试器件10输出了与该规定的信息包对应的应答。收信方的信息包数据列存储部26从收信方单元14的数据变换部34收取收信部 82接收到的信息包中含有的收信数据。并且，收信方的信息包数据存储部26存储收信部 82接收到的信息包中含有的收信数据。还有，收信方的数据处理部32在期待被测试器件10输出的信息包中含有的测试列中，含有与收信部82已接收到的信息包中含有的收信数据对应的值。例如，收信方的数据处理部32从收信方的信息包数据存储部26中读出数据后，生成测试数据列，其将期待从被测试器件10接收的信息包的数据列中的预先指定的部分作为与收信数据对应的值(例如，收信数据不加任何改变的值或实施了某种处理的值)。例如，收信方的数据处理部32可在与应从被测试器件10接收的第2信息包对应的测试数据列中，含有与收信部82已接收的第1信息包中含有的收信数据对应的值。因此，若采用收信方的数据处理部32，例如可通过参照从被测试器件10接收到的信息包中含有ID等，判定应在其后的信息中含有的ID是否正确。如上所述，若采用本实施方式涉及的测试装置100，就可在距被测试装置10较近的位置上进行把与接收到的信息包中含有的收信数据对应的值包含在其后的信息包中的处理。因此，若采用测试装置100，就可高速地进行与被测试器件10彼此间的应答。此外，测试装置100最好配置可通过工作频率较高的运算处理部件等实现的数据处理部32。这样，测试装置100就可从接收到的信息包中含有的数据，高速地进行生成其后的信息包中含有的数据的处理。以上，用实施方式说明了本发明的(一)的侧面，但本发明的技术并不局限于上述实施方式中所述的范围。可对上述实施方式施加多种变更或改良。从权利要求书中显然可知，施加了此种变更或改良的方式仍可包含在本发明的技术范围内。请注意，权利要求书、说明书、以及附图中所示的装置、系统、程序、以及方法中动作、顺序、步骤、以及阶段等的各种处理的实施顺序只要没有明确表示出“在此之前”、“先行”等，此外，只要不是后面的处理中使用前面处理的输出，则能够以任意顺序实现。关于权利要求书、说明书、以及附图中的动作流程，虽然为了方便起见使用了“首先”、“接着”等加以说明，但并不意味着必须按此顺序实施。
权利要求
1.一种测试被测试器件的测试装置，其特征在于，配置有 多个测试模块，其在前述被测试器件之间传输信号； 总线，其转接前述多个测试模块；测试控制部，其经由前述总线控制前述多个测试模块； 前述多个测试模块中的各个模块具有 测试部，其在前述被测试器件之间传输信号； 模块控制部，其控制前述测试部；各个前述测试模块中的前述模块控制部经前述总线，与其它前述测试模块的前述模块控制部传输信号。
2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于各个前述模块控制部向前述总线发送同步信息包，使对应的前述测试部和前述测试模块中的前述测试部同步动作。
3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于各个前述模块控制部在对应的前述测试部处于规定的待机状态情况下，发送前述同步信息包，并在从总线接收到规定个数的前述同步信息包的情况下，使前述测试部实施下一个测试项目。
4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于各个前述模块控制部不经由前述测试控制部发送前述同步信息包。
5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于前述测试控制部在各自的前述模块控制部中预先存储控制各自的前述测试部的控制数据。
6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于还配置有设置在前述测试控制部以及前述总线之间的控制接口部；各个前述模块控制部经前述总线给前述控制接口部发送前述同步信息包；前述控制接口部把收取的前述同步信息包经由前述总线，发送给所有前述模块控制部。
7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于 配置有多组前述测试控制部以及前述控制接口部； 各个前述测试模块受控于某个前述测试控制部；各个前述模块控制部给对应的前述控制接口部发送前述同步信息包； 前述控制接口部给对应的前述模块控制部发送收取的前述同步信息包。
8.一种用测试装置测试被测试器件的测试方法，其特征在于， 前述测试装置配置有多个测试模块，其在前述被测试器件之间传输信号；总线，其连接前述多个测试模块；测试控制部，其经由前述总线控制前述多个测试模块；前述多个测试模块的各个测试模块具有测试部，其在前述被测试器件之间传输信号；模块控制部，其控制前述测试部；使各个前述测试模块中的前述模块控制部经由前述总线和其它前述测试模块的前述模块控制部传输信号。
全文摘要
本发明提供一种测试被测试器件的测试装置，其配置有在被测试器件之间传输信号的多个测试模块、连接多个测试模块的总线、经由总线控制多个测试模块的测试控制部；测试模块具有在被测试器件之间传输信号的测试部、控制测试部的模块控制部；各个测试模块中的模块控制部经由总线与其它测试模块的模块控制部传输信号。
文档编号G01R31/28GK102193057SQ20111002592
公开日2011年9月21日 申请日期2011年1月24日 优先权日2010年1月26日
发明者平出守, 矢口刚史 申请人:爱德万测试株式会社