专利名称：测试装置及测试方法
技术领域：
本发明涉及测试装置及测试方法。
背景技术：
作为测试半导体芯片之类的被测试设备的测试装置，已知的是具有多个测试电路、测试总线、以及测试控制器的装置(例如，参照专利文献1)。测试控制器经测试总线控制多个测试模块、以测试被测试设备。专利文献1 特开平9-89999号公报测试控制器通过读取各测试模块存储的数据、来获取诸如测试模块的状态、被测试设备的测试结果之类的信息。现有的测试控制器在从各测试模块接收到数据之后，发出从下一测试模块读取数据的读指令。因此，在从多个测试模块读取数据的情况下，很花费时间。
发明内容
在本说明书中所包含的技术创新的一个侧面，本发明的目的是提供一种能够解决上述技术问题的测试装置及测试方法。该目的可通过权利要求书中独立权利要求中记载的特征的组合来实现。另外，从属权利要求限定了本发明的更佳的具体实施例。S卩，根据与本说明书中所包含的技术创新相关的一个侧面的装置及方法的一个例子，提供一种测试装置以及该测试装置所涉及的测试方法。该测试装置测试被测试设备，具有多个测试模块，其与被测试设备之间传送信号；测试控制部，其输出用于成批读取两个以上测试模块存储的数据的群组读出命令；控制接口部，其根据群组读出命令，从两个以上的测试模块读取数据并成批通知给测试控制部。上述发明的概要所列举的并不是本发明的全部必要特征。另外，这些特征的子组合也可以形成发明。
图1与多个被测试设备(DUT) 10 一起示出了测试装置100的功能结构。图2是示出测试控制器132的动作例的图。图3是示出控制接口部134的一部分的结构例的图。图4是示出控制接口部134的一部分的其它结构例的图。图5A示出测试控制部132输出的指令的数据结构例。图5B示出测试模块120输出的响应数据的数据结构例。图6示出控制接口部134的详细结构的一个例子。图7是示出了测试部210与被测试设备10的连接例的图。图8说明测试控制部132的其它动作例。图9是示出测试模块120的结构例的图。
图10示出在测试模块120之间传送同步信息包的情况下的信息包传送路径的一个例子。图11示出测试部210的结构的一个例子。
具体实施例方式下面，通过本发明的实施方式对本发明的一个侧面进行说明，但是以下的实施方式并不限定权利要求书中所涉及的发明。另外，在实施方式中所说明的所有的特征的组合不一定是解决本发明的技术问题所必须的。图1与多个被测试设备(DUT) 10 一起示出了测试装置100的功能结构。测试装置 100测试至少一个被测试设备10。S卩，测试装置100可以测试一个被测试设备10，也可以并行地测试多个被测试设备10。测试装置100具有系统控制部110、多个测试模块120、多个测点控制部130、总线 140。系统控制部110与多个测点控制部130连接，控制该测试装置100的整体。系统控制部110与多个测点控制部130之间，作为一个例子，通过通用的或者专用的高速串行总线等连接。各个测点控制部130分别与一个或者多个被测试设备10对应。各个测点控制部 130通过控制与对应的被测试设备10连接的一个或多个测试模块120、从而控制对应的被测试设备10的测试。各个测点控制部130根据系统控制部110所提供的控制指令及测试程序等，控制对应的测试模块120。即各个测点控制部130将一个或者多个测试部210用作资源、控制对应的被测试设备10的测试。另外，测点控制部130可以通过测试模块120中所包含的各个测试部210来控制测试模块120。例如，在一个测试模块120中所包含的一部分测试部210连接于第1被测试设备10、其它的测试部210连接于第2被测试设备10的情况下，第1测点控制部130可以控制与第1被测试设备10对应的测试部210，第2测点控制部130可以控制与第2被测试设备10对应的测试部210。即，包含在一个测试模块120中的多个测试部可以按照组而由不同的测点控制部130控制。测试模块120与对应的被测试设备10之间传送信号。各个测试模块120具有多个测试部210。各个测试部210与作为该测试装置100的测试对象的所有被测试设备10中的某一个被测试设备10的端子连接。还有，多个测试部210的每一个通过与所连接的被测试设备10之间传送信号，以测试该被测试设备10。例如，测试模块120可以将具有规定的逻辑模式的测试信号提供给被测试设备 10，接收显示与该测试信号对应的被测试设备10的动作结果的信号。另外，每个测试模块 120可以设置在相互不同的基板上。设置于相同的测试模块120中的多个测试部210通过公共的接口与总线140连接。这里，该接口可以按照测试部210独立地设定对应的每个测试部接受哪个测点控制部130的控制。例如，该接口可以将从总线140接收的指令只通知多个测试部中被该指令指定的测试部210。这样的测试装置100可以分别独立地、任意地设定一个测试模块120具有的多个测试部210接受控制的测点控制部130。由此，通过测试装置100可以有效地利用测试模块 120内的资源进行测试。各个测点控制部130具有测试控制部132及控制接口部134。测试控制部132执行用于控制被测试设备10的测试的程序，且发出与执行结果对应的指令。测试控制部132 发出包含指定应通知该指令的测试模块120的信息的指令。例如，测试控制部132可以发出包含指定被测试设备10的信息的指令。各个测试模块120的接口在属于自己的测试部210与该指令所指定的被测试设备10连接的情况下， 可以判定该指令指定了自己。另外，测试控制部132也可以发出包含指定应通知该指令的测试部210的信息的指令。各个测试模块120的接口在属于自己的测试部210由该指令指定的情况下，可以判定该指令指定了自己。各个测试模块120将该指令通知给被指定的测试部210。测试控制部132可以发出读出数据的读指令、写入数据的写指令、以及其它指令。 测试控制部132可以具有处理器、存储器等。控制接口部134根据测试控制部132的控制来处理测点控制部130与总线140之间的通信。例如，控制接口部134可以将从测试控制部132接收的指令发送给与该指令对应的测试模块120、也可以发送给所有测试模块120。另外，控制接口部134将从各个测试模块接收的数据发送给测试控制部132。另外，测试控制部132发出成批读取两个以上的测试模块120存储的数据的群组读出命令。测试控制部132在该群组读出命令中可以指定测试模块120，可以指定测试部 210、或者、也可以指定被测试设备10。控制接口部134从与该群组读出命令对应的测试模块120读取数据。例如控制接口部134可以将该群组读出命令通知给与总线140连接的所有测试模块120。各个测试模块120在所接收的群组读出命令中自己被指定的情况下，将该群组读出命令通知给对应的测试部210。由群组读出命令指定的测试模块120向总线140输出在群组读出命令所指定的地址、寄存器等中存储的数据。这时，测试模块120，将表示是对该群组读出命令的响应数据的意思的信息添附于该响应数据。例如，测试模块120可以将使该群组读出命令与其它指令区别开来的标签信息添附于该响应数据。所述响应数据可以是表示测试模块120的状态的数据，例如表示各测试模块120 是不是处于等待状态等的数据。另外，所述响应数据也可以是表示测试结果的数据，例如， 表示被测试设备10的良否判定结果等的数据。各个控制接口部134通过总线140接收测试模块120的响应数据。还有，可以废弃与自己发送的群组读出命令对应的响应数据以外的响应数据。控制接口部134在从所述群组读出命令指定的所有的测试模块120接收响应数据的情况下，可以将这些响应数据成批通知给测试控制部132。控制接口部134可以将这些响应数据的逻辑和或逻辑积通知给测试控制部132。通过这样的结构，测试控制部132，可以成批指定两个以上的测试模块、成批读取数据。因此，可以有效地获得测试模块120的状态、测试结果等。测试控制部132可以基于成批读取的响应数据，控制多个测试模块120。例如，测试控制部132在指定的测试模块120全部为等待状态的情况下，可以将使下一个测试开始的触发信号提供给这些测试模块120。另外，测试控制部132可以使各测试模块120执行与指定的测试模块120中的测试结果对应的测试项目。图2是示出测试控制部132的动作例的图。在本例中，说明测试控制部132发出一个一个地指定测试模块120并读取数据的单一读出命令的情况、以及发出上述群组读出命令的情况。图2中的标记C表示测试控制部132发出读指令的时间段，标记D表示测试控制部接收响应数据的时间段。标记P表示在测试控制部132中处理数据的时间段。单一读出命令从多个测试模块120读取数据的情况下，测试控制部132在从一个测试模块120接收响应数据之后，发出对下一测试模块120的单一读出命令。因此，单一读出命令的执行时间与测试模块120的个数成比例地延长。对此，在通过群组读出命令从多个测试模块120读取数据的情况下，测试控制部 132发出成批指定多个测试模块120的群组读出命令。还有，成批接收控制接口部134中所蓄积的响应数据。因此，可以以比单一读出命令短的时间，从多个测试模块120中读取数据。图3是示出控制接口部134的一部分的结构例的图。在本例中，说明在控制接口部 134的结构中处理根据群组读出命令读取的响应数据的结构，而省略其它的结构的说明。本例的控制接口部134具有计数器135及数据存储部136。计数器135及数据存储部136从总线140获取与群组读出命令对应的响应数据。 计数器135对所接收的响应数据的个数进行计数。另外，在计数器135中预先设定有由对应的测试控制部132发出的群组读出命令应读取的数据的个数的预期值。例如，在按测试模块120来接收响应数据的情况下，在计数器135中，由群组读出命令指定的测试模块120的数被设定为所述预期值。另外，在按测试部210来接收响应数据的情况下，在计数器135中，由群组读出命令指定的测试部120的数被设定为所述预期值。计数器135在计数值与预期值一致的情况下，在将计数值复位的同时，将该意思通知给数据存储部136。数据存储部136积蓄所接收到的响应数据。另外，数据存储部136在接收到计数器135的计数值与预期值一致的意思的通知的情况下，将所积蓄的响应数据成批发送给测试控制部132。这时，数据存储部136将所发送的响应数据从存储区域中删除。通过这样的结构，测试控制部132可以成批读取多个测试模块120或多个测试部 210的响应数据。另外，通过对与对应的群组读出命令相对应接收到的响应数据的个数进行计数，控制接口部134就可以检测出从指定的多个测试模块120的数据读取已经结束，而无需识别响应数据是来自哪个测试模块120的数据。图4是示出控制接口部134的一部分的其它结构例的图。本例的控制接口部134 除了具有图3中所示的控制接口部134的结构外，还具有逻辑运算部137。本例的控制接口部134将从各个测试模块120接收到的响应数据的逻辑和与逻辑积通知给测试控制部132。 计数器135与结合图3所说明的计数器135具有相同的功能。每当从各个测试模块120接收响应数据时，逻辑运算部137计算新接收的数据与原来接收的数据的逻辑和以及逻辑积。例如，测试控制部132可以发出读取各个测试模块 120在等待状态时示出逻辑值1的响应数据的指令。测试控制部132可以判定所指定的全部测试模块120是否处于等待状态。在这种情况下，逻辑运算部137计算各个响应数据的逻辑积。另外，测试控制部132可以发出读取被测试设备10的测试结果出现故障时示出逻辑值1的响应数据。测试控制部132可以判定在所指定的测试模块120中的至少一个中是否测试出被测试设备10的故障。在这种情况下，逻辑运算部137计算各个响应数据的逻辑和。数据存储部136存储逻辑运算部137的运算结果。另外，逻辑运算部137每当接收到新的响应数据时，就从数据存储部136中读取数据，并与该响应数据进行逻辑运算，将运算结果存储在数据存储部136中。计数器135在计数值与预期值一致的情况下，使数据存储部136所存储的数据值发送给测试控制部132。在发送数据后，数据存储部136可以将存储数据设定为初始值。通过这样的结构，可以将来自多个测试模块120的响应数据以小的传送量发送给测试控制部132。另外，由于将应在测试控制部132中进行的逻辑运算在控制接口部134中进行，所以可以降低测试控制部132的处理负荷。图5A示出测试控制部132输出的指令的数据结构例。测试控制部132输出包含指令码区域COM、标签信息区域TAG、模块指定数据区域、控制部指定数据区域、以及地址区域Ad的数据结构的指令。在指令码区域COM中，存储表示当前指令是预先确定的多种指令中的哪种指令的信息。控制接口部134及测试模块120通过参照从测试控制部132接收到的指令中的指令码区域COM，可以判别当前指令是否是群组读出命令。另外，指令码区域COM存储有表示当前群组读出命令是要求逻辑运算部137中的逻辑和或逻辑积的哪一种运算的指令的信息。在标签信息区域TAG中，存储有将当前指令与其它指令区别开的信息。例如在标签信息区域TAG中，可以存储表示在当前指令从对应的测试控制部132输出之前有多少指令的信息。在模块指定数据区域中存储有指定应执行当前指令的测试模块120的信息。例如模块指定数据区域可以存储测试模块120连接的总线140的端口号。在模块指定数据区域中，也可以存储指定应执行当前指令的测试部210的信息。另外，在当前指令是群组读出命令的情况下，在模块指定数据区域中，存储有指定多个测试模块120形成的组或多个测试部210的形成的组的信息。在控制部指定数据区域中，存储有识别输出了当前指令的测试控制部132的信息。例如，控制部指定数据区域可以存储测试控制部132所连接的总线140的端口号。总线140参照模块指定数据及控制部指定数据，控制将各个数据传送给哪个测试控制部132 或测试模块120。在地址区域Ad中存储有指定测试模块120或测试部210的地址的信息。例如，在当前指令是读指令的情况下，测试模块120或测试部210读取该地址的数据并发送给总线 140。各个测试模块120，从总线140接收的指令中的指令码区域COM是群组读出命令且在模块指令数据区域中自己被指定的情况下，读取由该指令中的地址区域Ad指定的地址的数据。各个测试模块120将所读取的数据添加于当前指令后而得到的响应数据输出给总线 140。图5B示出测试模块120输出的响应数据的数据结构例。响应数据的数据结构是在如图5A中所示的指令数据结构中添加了读出数据区域Data的构造。测试模块120将读取的数据存储在该区域并输出。图6示出控制接口部134的详细结构的一个例子。控制接口部134具有计数器 135、数据存储部136、逻辑运算部137、数据寄存器170、计数寄存器172、解码器174、复位部 176、一致检测电路178、FIF0180、定时器182、以及FIFO控制部184。计数器135、数据存储部136、逻辑运算部137与在图4中标注相同的标记说明过的构成元件具有相同的功能。本例的数据存储部136具有地址区域及数据区域。地址区域中的每个地址对应于数据区域中的某个存储区域。数据存储部136将数据存储于与被指定的地址区域内的地址对应的数据区域中。数据存储部136可以具有多个存储区域，以使得可以处理多个群组读出命令。数据存储部136根据响应数据中包含的各个标签信息TAG将运算结果存储于不同的地址。本例的计数器135具有加法器135-1及计数值寄存器135_2。计数值寄存器135_2 存储计数器135的计数值。加法器135-1在接收了新的响应数据的情况下，读取计数值寄存器135-2存储的值，使该值加1并新写入计数值寄存器135-2中。数据寄存器170存储控制接口部134接收的对群组读出命令的响应数据。数据寄存器170可以具有能够存储多个响应数据的区域。数据寄存器170删除存储的响应数据中由逻辑运算部137处理完的数据。另外，数据寄存器170将新接收的响应数据存储于空的存储区域中。解码器174参照数据寄存器170存储的响应数据的指令码区域COM、判别当前群组读出命令指定逻辑运算部137中的逻辑和和逻辑积中的哪一种运算。解码器174在该指令指定逻辑和的情况下输出逻辑值0，在该指令指定逻辑积的情况下输出逻辑值1。逻辑运算部137对数据寄存器170存储的响应数据中包含的读出数据Data、和存储于与附在该响应数据中的标签信息TAG对应的数据存储部136的地址中的运算结果进行逻辑和或逻辑积运算。逻辑运算部137再将新的运算结果存储于数据存储部136的该地址中。数据存储部136将存储于与数据寄存器170存储的响应数据中包含的标签信息 TAG对应的地址中的运算结果输出给逻辑运算部137。从数据存储部136读取运算结果的地址可以由包含于该响应数据中的标签信息TAG以及地址Ad来指定。本例的逻辑运算部137具有逻辑和运算部160、逻辑积运算部164、逻辑积电路 162、以及逻辑和电路166。逻辑和运算部160输出从数据寄存器170读取的数据Data与从数据存储部136读取的运算结果的逻辑和。逻辑积电路162输出逻辑和运算部160输出的逻辑值与将解码器174输出的逻辑值反转而得到的值的逻辑积。即，逻辑积电路162在指令码COM指定逻辑和的情况下，使逻辑和运算部160输出的逻辑值通过，在指令码COM指定逻辑积的情况下，输出逻辑值0。逻辑积运算部164输出从数据寄存器170读取的数据Data、从数据存储部136读取的运算结果、以及解码器174输出的逻辑值的逻辑积。即，逻辑积运算部164在指令码COM 指定逻辑和的情况下输出逻辑值0，在指令码COM指定逻辑积的情况下输出数据Data和运算结果的逻辑积。逻辑和电路166将逻辑和运算部162和逻辑积运算部164输出的逻辑值的逻辑和写入数据存储部136的相应的地址。通过这样的结构，逻辑运算部137进行由指令码COM 指定的运算。计数寄存器172预先设定有应能从群组读出命令读取的数据的个数的预期值。另外，计数寄存器172也可以设定有与提供该群组读出命令的测试模块120或测试部210的总数对应的预期值。即，测试控制部132在所有测试模块120及测试部210输出响应数据的情况下，可以将控制接口部134接收的响应数据的数量设定在计数寄存器172中。在这种情况下，在各个测试模块120在自己没有被所接收的群组读出命令指定的情况下，在该群组读出命令的指令码COM指定逻辑和运算时，输出将逻辑值1设为读出数据的响应数据。另外，各个测试模块120在自己没有被所接收的群组读出命令指定的情况下，在该群组读出命令的指令码COM指定逻辑积运算时，输出将逻辑值0设为读出数据的响应数据。通过这样的控制，可以容易地在计数寄存器172中设定预期值。—致检测电路178测试加法部135-1输出的计数值是否与被设定在计数寄存器 172中的预期值一致。一致检测电路178在它们的值一致的情况下，将该意思通知给FIFO 控制部184。FIFO控制部184在一致检测电路178通知一致的情况下，将与该群组读出命令相对应的运算结果从数据存储部136转送给FIF0180。另外，FIFO控制部184将与该群组读出命令相对应的运算已经结束的意思的结束通知发给测试控制部132。FIFO控制部184可以使FIF0180从与该群组读出命令中的标签信息TAG对应的数据存储部136的地址读取运算结果。另外，FIFO控制部184可以将该群组读出命令中的标签信息TAG与结束通知一并通知给测试控制部132。测试控制部132根据该通知从FIF0180中读取运算结果。通过这样的结构，可以将来自多个测试模块120的响应数据以很小的传送量发送给测试控制部132。另外，可以减轻测试控制部132的处理负荷。另外，FIF0180可以从总线140直接接收响应于单一读出命令的响应数据。S卩，响应于单一读出命令的响应数据不经数据寄存器170等就被传送给测试控制部132。复位部176根据来自测试控制部132的指示，将计数器135及数据存储部136存储的数据等复位为初始值。测试控制部132在发出新的群组读出命令的情况下，将使与该群组读出命令对应的计数器135及数据存储器136的各存储区域复位的信号提供给复位部 176。定时器182在测试控制部132发出新的群组读出命令后经过了规定时间的情况下，进行暂时中止(timeout)处理。从测试控制部132发出了新的群组读出命令的意思被通知给定时器182。定时器182在接收到该通知之后经过了规定时间的情况下，将与该群组读出命令对应的处理暂时中止的意思通知给FIFO控制部184。FIFO控制部184在接收了暂时中止通知的情况下，在与该群组读出命令对应的终止通知没有通知给测试控制部132时，就使直到现在与该群组读出命令对应的运算结果从数据存储部136转送给FIF0180。FIFO控制部184将与该群组读出命令对应的处理暂时中止的意思通知给测试控制部132。测试控制部132根据该通知，从FIF0180读取运算结果。图7是示出了测试部210与被测试设备10的连接的例子的图。在本例中，第1测试模块120-1具有与第1被测试设备10-1之间传送信号的一个以上的第1测试部210-1、 以及与第2被测试设备10-2之间传送信号的一个以上的第2测试部210-2。测试控制部132在输出指定某个被测试设备10的群组读出命令的情况下，各个测试模块120成批发送与由该群组读出命令所指定的被测试设备10对应的一个以上的测试部210所存储的数据。例如，在接收了指定第2被测试设备10-2的群组读出命令的情况下， 第1测试模块120-1成批发送多个测试部210中第2测试部210-2存储的数据。这里，成批发送可以指发送各测试部210存储的数据的逻辑和或逻辑积的处理。 各个测试模块120可以具有逻辑运算部122，该逻辑运算部122将从由群组读出命令所指定的测试部210读取的数据的逻辑和或逻辑积发送给总线140。这样，在测试模块120的内部，通过对多个测试部210的响应数据进行逻辑和或逻辑积运算，可以减轻测点控制部130 中的处理负荷。图8说明测试控制部132的其它动作例。在本例中，说明在发出续读指令(posted read)的情况下的测试控制部132的动作。续读指令是指将指定某一测试模块120并读取响应数据的个别读指令对各个测试模块120连续地输出、而无需等待从各个测试模块120 的响应数据的读取都结束的指令。续读指令是群组读出命令的一个例子。如图8所示，在执行单一读出命令的情况下，等待从各个测试模块120的响应数据 D的读取都结束，再发出指定下一测试模块120的个别读指令C。对此，在续读指令下，测试控制部132将指定各个测试模块120的个别读指令连续输出给总线140。控制接口部134依次输出与各个个别读指令对应的响应数据。这时，控制接口部 134，可以在从续读指令所依次指定的多个测试模块120全都接收了响应数据之前，即使不向测试控制部132发送响应数据也可以。控制接口部134在从所指定的全部测试模块120 接收了响应数据的情况下，可以将这些响应数据成批发送给测试控制部132。控制接口部134可以使用结合图3或图4进行说明的任何一种结构来处理响应数据。例如，在计数器135中，由续读指令所指定的测试模块120的个数被指定为预期值。计数器135在根据续读指令从测试模块120接收到的数据个数与所设定的预期值一致的情况下，将从测试模块120接收到的数据成批发送给测试控制部132。通过这样的控制，测试控制部132可以无需等待个别的响应数据就可以执行测试程序。图9是示出测试模块120的结构例的图。测试模块120具有多个测试部210、模块控制部220、以及模块接口部230。模块控制部220存储将多个测试部210的各个分别与多个测点控制部130中哪个被测试设备10(或者测点控制部130)相对应的设定。在本例中，模块控制部220存储识别关于多个测试部210的每个所对应的被测试设备10的识别号。另外，模块控制部220存储控制各个测试部210的控制数据。这样的数据及设定在测试之前由例如测试控制部132写入。模块接口部230与多个测试部210连接。另外，模块接口部230与多个测点控制部130之间通过总线140收发读指令、响应数据等。模块接口部230，在接收指定了某个被测试设备10的群组读出命令的情况下，向模块控制部220询间各个测试部210是否与该被测试设备10对应。在与该被测试设备10 对应的测试部210存在的情况下，模块接口部230将该群组读出命令发送给该测试部210。另外，各个测试模块120可以不通过测试控制部132就与其它的测试模块120传送信号。在这种情况下，模块控制部220与其它的测试模块120的模块控制部220之间传
送信号。更具体地，模块控制部220将指定了其它的测试模块120的信号发送给总线140。 其它的测试模块120的模块控制部220可以经总线140接收该信号。另外，各个模块控制部220可以将应使对应的测试部210、和其它的测试模块120 中的测试部210同步动作的同步信息包发送给总线140。更具体地，各个模块控制部220在对应的测试部210为规定的等待状态的情况下生成同步信息包。控制接口部134可以经总线140将所接收的同步信息包发送给全部测试模块120。 另外，控制接口部134可以将从模块控制部220接收到的同步信息包发送给与同一测点控制部130对应的全部测试模块120。图10示出在测试模块120之间传送同步信息包的情况下的信息包传送路径的一个例子。一个测试模块120发送的同步信息包经总线140被发送给对应的控制接口部134。 即，模块控制部220将同步信息包发送给对应的测点控制部130。控制接口部134在接收到的信号是同步信息包的情况下，指定对应的全部测试模块120，并将该同步信息包发送给总线140。各个模块控制部220从总线140接收到由系统控制部110等预先设定的规定个数的同步信息包的情况下，判定应同步动作的全部测试模块120为等待状态。另外，各模块控制部220也接收自己发送的同步信息包。因此，包含自己在内的测试模块120的个数作为应接收的同步信息包的个数被设定在各个模块控制部220中。另外，模块控制部220使对应的测试部执行下一测试项目。更具体地，各个模块控制部220在接收到规定个数的同步信息包的情况下，使测试部210生成接下来要生成的测试信号，并提供给被测试设备10。通过这样的控制，即使在各个测试项目的执行时间因各个测试模块120而不同的情况下，可以按照测试项目使多个测试模块120同步动作。另外，在同步动作中，由于不通过测试控制部132，所以可以减轻测试控制部132的处理负荷。图11示出测试部210的结构的一个例子。另外，测试部210不限于这样的结构， 也可以是其它的结构。测试部210作为一个例子可以具有发送方单元12、接收方单元14。 测试部210可以是只具有发送方单元12或接收方单元14的结构。发送方单元12可以以信息包目录所指定的顺序将信息包发送给被测试设备10。 接收方单元14从被测试设备10接收信息包，并将信息包目录所指定的信息包与所接收的信息包进行比较，判定被测试设备10良否。首先，说明发送方单元12。发送方单元12包括信息包目录存储部20、信息包目录处理部22、信息包指令列存储部M、信息包数据列存储部沈、下位顺序控制器观、数据处理部32、数据变换部34、发送部36。信息包目录存储部20存储被提供的多个信息包目录。信息包目录处理部22执行信息包目录存储部20所存储的多个信息包目录中从外部所指定的信息包目录、依次指定与被测试设备10通信的各个信息包。信息包目录处理部
1222，作为一个例子，根据从外部所接收到的地址来执行信息包目录，依次指定发送给被测试设备10的信息包。信息包目录处理部22，作为一个例子，指定用于产生指定的信息包的指令列所存储的信息包指令列存储器M上的地址。还有，信息包目录处理部22，作为一个例子，关于其与被测试设备10之间通信的信息包，指定信息包数据列存储部沈内该信息包中所包含的数据列的地址(例如，数据列的起始地址)。这样的信息包目录处理部22特别地指定用于使信息包产生的指令列的地址、以及包含于该信息包中的数据列的地址。另外，在这种情况下，在信息包目录中，对于两个以上的信息包指定了共用的指令列或者数据列时，关于所述两个以上的信息包，信息包目录处理部22也可以指定相同的指令列的地址或者相同的数据列的地址。信息包指令列存储部M按照信息包的种类存储用于产生多种信息包中的每种信息包的指令列。信息包指令列存储部对，作为一个例子，可存储用于产生写数据包的指令列、用于产生读数据包的指令列、以及用于产生空闲数据包(idle packet)的指令列等。信息包数据列存储部沈按照信息包的种类存储分别包含于多种信息包中的数据列。信息包数据列存储部26，作为一个例子，可以包括包含于写数据包中的数据列、包含于读数据包中的数据列、以及包含于空闲数据包中的数据列等。另外，信息包数据列存储器 26，作为一个例子，还可将每个信息包均有变更的个别数据、以及对于每种信息包共同的共同数据区别开来存储在彼此不同的存储区域中。还有，发送方的信息包数据列存储部沈从接收方单元14内的数据变换部34、接收接收方单元14内的接收部82所接收的信息包中包含的接收数据。而且，发送方的信息包数据列存储部26存储接收方单元14内的接收部82所接收的信息包中包含的接收数据。下位顺序控制器观从信息包指令列存储部M读取由信息包目录处理部22所指定的信息包的指令列、即由信息包目录处理部22指定地址的指令列，并依次执行所读取的指令列中包含的各指令。还有，下位顺序控制器观根据指令列的执行使由信息包目录处理部22所指定的信息包的数据列(即，由信息包目录处理部22指定地址的数据列)、依次从信息包数据列存储部26输出，生成用于与被测试设备10之间的测试的测试数据列。另外，下位顺序控制器观每次执行指令时，将指示对所读取的个别数据及共同数据实施指定的处理(运算或数据变换)的控制数据提供给数据处理部32及数据变换部34。 由此，下位顺序控制器观可以将由信息包目录处理部22所指定的信息包中的被指定的数据部分、作为对读取的数据实施指定处理的数据。另外，下位顺序控制器观根据由信息包目录处理部22所指定的信息包的指令列的执行的结束，可以将结束通知提供给信息包目录处理部22。由此，信息包目录处理部22 根据下位顺序控制器观的指令列的执行进度，可以依次指定信息包。另外，发送方单元12具有的发送方的下位顺序控制器观对发送部36指定向被测试设备10发送的信号的前沿定时(edge timing)。下位顺序控制器观，作为一个例子，向发送部36提供定时信号，按信息包来控制前沿定时。另外，发送方的下位顺序控制器观与接收方单元14具有的接收方的下位顺序控制器观进行通信。由此，发送方的下位顺序控制器观可以与接收方的下位顺序控制器观进行信息交换(handshake)、与接收方的下位顺序控制器观同步执行指令列。
发送方的下位顺序控制器观，作为一个例子，向接收方的下位顺序控制器观通知已将被预先指定的信息包的测试数据列发送给了被测试设备10。由此，发送方的下位顺序控制器观可以使接收方的下位顺序控制器观、在直至接收到来自发送方的下位顺序控制器观的通知之前、禁止判定所接收的数据列的良否。另外，发送方的下位顺序控制器观，作为一个例子，从接收方的下位顺序控制器 28接收到已收到与所生成的测试数据列一致的数据列的通知后，生成被预先指定的信息包的测试数据列。由此，发送方的下位顺序控制器观可以在从被测试设备10接收到了规定的信息包之后，将预先指定的信息包发送给被测试设备10。数据处理部32从信息包数据列存储部沈读取由信息包目录处理部22所指定的信息包的数据列、生成用于测试被测试设备10的测试数据列。在这种情形下，发送方的数据处理部32，在与发送给被测试设备10的信息包对应的测试数据列中，可以包含与接收方单元14内的接收部82接收到的信息包中所包含的接收数据对应的值。例如，发送方的数据处理部32从发送方的信息包数据列存储部沈读取数据，生成将向被测试设备10发送的信息包的数据列中的预先指定的部分设为与接收数据对应的值 (例如，接收数据原样的值、或者对接收数据实施了某种处理后的值)的测试数据列。这样的发送方的数据处理部32可以将与从被测试设备10接收到的信息包中所包含的接收数据对应的值包含于信息包中发送。数据变换部34，在由下位顺序控制器观所指定的定时内、对从数据处理部32输出的测试数据列进行数据变换。数据变换部34，作为一个例子，用预先指定的图表等对测试数据列进行Sb-IOb变换等。还有，数据变换部34，作为一个例子，也可以对测试数据列进行串扰(scramble)处理。还有，数据变换部34输出转换后的数据列。发送部36将数据变换部 34生成的测试数据列发送给被测试设备10。接下来，对接收方单元14进行说明。接收方单元14由于具有与发送方单元12大致相同的结构及功能，所以对于接收方单元14，说明其与发送方单元12的不同之处。接收方单元14包括信息包目录存储器20、信息包目录处理部22、信息包指令列存储部M、信息包数据列存储部沈、下位顺序控制器观、数据处理部32、数据变换部34、接收部82、判定部84。接收部82从被测试设备10接收信息包的数据列。接收方数据变换部34在接收方下位顺序控制器观所指定的定时内，对接收部82 所接收的数据列进行数据变换。接收方的数据变换部34，作为一个例子，用预先设定的图表等对所接收的数据列进行Sb-IOb转换等。还有，接收方的数据变换部34，作为一个例子，也可以对所接收的数据列进行解串扰(descramble)处理。还有，接收方的数据变换部34向判定部84提供转换后的数据列。另外，接收方的数据变换部34也可以将转换后的数据列提供给接收方的信息包数据列存储器沈和发送方的信息包数据列存储器26中的至少一方。接收方的信息包目录处理部22，执行从外部指定的信息包目录，依次指定期待从被测试设备10接收的信息包。还有，接收方的数据处理部32将所生成的测试数据列提供给判定部84。接收方的下位顺序控制器观使期望从测试设备10输出的信息包的数据列、作为测试数据列从接收方的信息包数据列存储部26输出。另外，接收方的下位顺序控制器28对接收部82指定读取从被测试设备10所输出的信号的数据值的选通定时(strobe timing)。判定部84在从接收方的数据处理部32接收测试数据列的同时，接收从接收方的数据变换部34所接收的数据列。判定部84基于将所接收的数据列与测试数据列比较的结果，判定与被测试设备10之间的通信的良否。判定部84，作为一个例子，包括比较接收部82 所接收的数据列与测试数据列是否一致的逻辑比较部、以及存储比较结果的故障存储器。 另外，判定部84，作为一个例子，也可以将接收部82接收的数据列与所指定的数据列一致之事通知给接收方的下位顺序控制器观。另外，接收方的下位顺序控制器观与发送方的下位顺序控制器观进行通信。由此，接收方的下位顺序控制器观与发送方的下位顺序控制器观进行信息交换，可以与发送方的下位顺序控制器观同步地执行指令列。接收方的下位顺序控制器观，作为一个例子，将接收到了与该接收方的下位顺序控制器观所生成的测试数据列一致的数据列之事通知给发送方的下位顺序控制器观。由此，发送方的下位顺序控制器观可以从接收方的下位顺序控制器观接收已收到与生成的测试数据列一致的数据的通知，生成预先指定的信息包的测试数据列。另外，接收方的下位顺序控制器观，作为一个例子，在从发送方的下位顺序控制器观接收到将预先指定的信息包的测试数据列发送给了被测试设备10的通知之前，禁止判定部84对接收部82接收到的数据列的良否进行判定。由此，接收方的下位顺序控制器观在将规定的信息包向被测试设备10发送后，可以判定与该规定的信息包对应的响应是否已从被测试设备10输出。接收方的信息包数据列存储部沈接收接收部82从接收方单元14侧的数据变换部；34所接收的信息包中包含的接收数据。还有，接收方的信息包数据列存储部沈存储接收部82所接收的信息包中包含的接收数据。还有，接收方的数据处理部32，在期待从被测试设备10输出的信息包中所包含的测试数据列中，包含与接收部82已经接收的信息包中所包含的接收数据相对应的值。例如，接收方的数据处理部32从接收方的信息包数据列存储部沈读取数据，并且生成这样的测试数据列该测试数据列将期待从被测试设备10接收的信息包的数据列中的预先指定的部分设为与接收的数据对应的值(例如，接收数据原样的值或对其进行某种处理后的值)。例如，接收方的数据处理部32，可以在与应从被测试设备10接收的第2信息包对应的测试数据列中、包含与接收部82已经接收的第1信息包中所包含的接收数据对应的值。由此，若采用接收方的数据处理部32，例如，参照从被测试设备10接收的信息包中所包含的ID等、可以判定随后的信息包中应包含的ID是不是正确。如上所述，若采用本实施方式的测试装置100，可以在与被测试设备10比较靠近的位置上、进行将与接收的信息包中所包含的接收数据对应的值包含在随后的信息包内的处理。由此，若采用测试装置100，可以高速地响应与被测试设备10的通信。另外，测试装置100优选具有由相对高的动作频率的运算处理单元等来实现的数据处理部32。由此，测试装置100根据所接收的信息包中包含的数据、可以高速地进行生成随后的信息包中包含的数据的处理。以上通过实施方式对本发明的一个侧面进行了说明，但是本发明的技术范围并不限于上述实施方式中所记载的范围。本领域技术人员可以明白的是，在上述实施方式中，可以进行多种变更或者改良。从记载的权利要求的范围可知，进行这样的变更或改进而得到的实施方式也被包含于本发明的技术范围内。 请注意，在权利要求书、说明书、及附图中所示的装置、系统、程序、及方法中的动
作、次序、步骤、以及阶段等的各种处理的实施顺序，如果没有特别明示“在......之前”、
“先于......”等，或者除非在后面的处理中使用前面的处理的输出，则应该认为可以以任
意的顺序来实现。关于权利要求书、说明书、及附图中的动作流程，为了方便虽然使用了“首先”、“其次(接下来)”等进行了说明，但是并不意味着必须以这样的顺序来实施。
权利要求
1.一种测试装置，其对被测试设备进行测试，其特征在于包括多个测试模块，其与所述被测试设备之间传送信号；测试控制部，其输出用于成批读取两个以上所述测试模块所存储的数据的群组读出命令；控制接口部，其根据所述群组读出命令，从所述两个以上测试模块读取数据并成批通知给所述测试控制部。
2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于所述测试控制部将根据所述群组读出命令而应读取的数据个数的预期值设定在所述控制接口部中；所述控制接口部在根据所述群组读出命令从所述测试模块接收到的数据的个数与所述预期值一致的情况下，将从所述测试模块接收到的数据成批通知给所述测试控制部。
3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于所述控制接口部将所述群组读出命令成批发送给所述多个测试模块；各个所述测试模块在被所述群组读出命令指定的情况下，将其存储的数据发送给所述控制接口部。
4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于所述控制接口部将从各个所述测试模块接收到的数据的逻辑和或逻辑积通知给所述测试控制部。
5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于具有逻辑运算部，每当从各个所述测试模块接收数据时，计算新接收的数据与已经接收的数据的逻辑和或逻辑积；数据存储部，其存储所述逻辑运算部进行运算所得到的运算结果；计数器，其在从各个所述测试模块接收到的数据的个数与所述预期值一致时，将所述数据存储部存储的数据值通知给所述测试控制部。
6.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于所述测试控制部输出包含将所述群组读出命令与其它指令区别开的标签信息的所述群组读出命令；各个所述测试模块将所述标签信息附带于根据所述群组读出命令读取的数据、并输出给所述控制接口；所述数据存储部根据所述标签信息将所述运算结果存储在不同的地址；所述逻辑运算部，对从各个所述测试模块接收到的数据、和与附于该数据的所述标签信息对应的所述数据存储部的地址中所存储的所述运算结果进行逻辑和或逻辑积运算，并将新的运算结果存储在所述数据存储部的该地址中。
7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于所述测试控制部，输出还包含指定使所述逻辑运算部进行逻辑和还是逻辑积运算的指令码的所述群组读出命令；各个所述测试模块，将所述指令码附带于根据所述群组读出命令读取的数据，并输出给所述控制接口；所述逻辑运算部，根据从各个所述测试模块接收到的数据所附的所述指令码、对该数据与所述数据存储部存储的所述运算结果进行逻辑和或逻辑积运算。
8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于各个所述测试模块，在没有被所接收到的所述群组读出命令指定的情况下，在所述群组读出命令的所述指令码指定逻辑和运算时，将逻辑值1作为读出数据输出，而在所述群组读出命令的所述指令码指定逻辑积运算时，将逻辑值0作为读出数据输出。
9.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于所述测试装置并行测试第1被测试设备及第2被测试设备；至少一个所述测试模块具有第1测试部，其与所述第1被测试设备之间传送信号；第2测试部，其与所述第2被测试设备之间传送信号；所述测试控制部输出指定所述第1被测试设备和所述第2被测试设备中的某一个的所述群组读出命令；各个所述测试模块将与所述群组读出命令指定的所述被测试设备对应的一个以上的测试部存储的数据成批发送给所述控制接口部。
10.根据权利要求9所述的测试装置，其特征在于各个所述测试模块将与所述群组读出命令指定的所述被测试设备对应的一个以上的测试部存储的数据的逻辑和或逻辑积发送给所述控制接口部。
11.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于所述测试控制部，将指定所述测试模块之一且读取数据的单一读出命令、连续地输出给两个以上的所述测试模块；所述控制接口部根据各个所述单一读出命令、从所述两个以上的测试模块读取数据并成批通知给所述测试控制部。
12.根据权利要求11所述的测试装置，其特征在于所述测试控制部将根据连续输出的所述单一读出命令应读取的数据个数的预期值设定在所述控制接口部中；所述控制接口部在根据所述单一读出命令从所述测试模块接收到的数据的个数与所述预期值一致的情况下，将从所述测试模块接收到的数据成批通知给所述测试控制部。
13.—种测试方法，其利用与被测试设备之间传送信号的多个测试模块、测试所述被测试设备，其特征在于包括指令输出步骤，将用于成批读取两个以上所述测试模块存储的数据的群组读出命令输出给测试控制部；读取步骤，根据所述群组读出命令，从两个以上所述测试模块读取数据并成批通知给所述测试控制部。
全文摘要
本发明提供一种测试装置以及该测试装置所涉及的测试方法。该测试装置测试被测试设备，具有多个测试模块，其与被测试设备之间传送信号；测试控制部，其输出用于成批读取两个以上测试模块所存储的数据的群组读出命令；控制接口部，其根据群组读出命令，从两个以上的测试模块读取数据并成批通知给测试控制部。
文档编号G01R31/28GK102193055SQ20111002582
公开日2011年9月21日 申请日期2011年1月24日 优先权日2010年1月26日
发明者平出守, 矢口刚史 申请人:爱德万测试株式会社