技术编号：6005913
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学元件的干涉检测，尤其涉及一种在光学球面面形干涉检测中高精度的倾斜和离焦调整误差校正方法。背景技术随着光学成像以及光学加工要求的不断提高，对于球面面形的干涉检测精度要求也越来越高。在实际球面干涉检测中，由于机械调节机构存在调整误差等原因，会对待测球面引入一定的调整误差，进而导致在最后得到的检测波面数据中引入倾斜和离焦等调整误差。在传统的待测球面调整误差校正方法中，是利用对测得波面数据进行波面拟合，并在拟合数据中消除对应的常数项、倾斜项和离焦项以...
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