技术编号:6006300
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体电阻材料测量,具体的说是一种仿真欧姆接触电阻测试装置及测试方法。背景技术传统的半导体电阻材料的电阻测量方法是在待测材料的两端通过金属化的方法制备欧姆接触电极,然后测试电阻。这个过程工艺复杂,测试耗时长,测试成本高,不便于批量产品的测试。发明内容本发明的目的是研制一种不需要欧姆接触电极的情况下直接精确、快速、稳定地测量出半导体电阻材料的电阻值的仿真欧姆接触电阻测试装置及测试方法。本发明的基本原理是通过一定的压力将金属电极压在被测试产品的表面,...
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