专利名称：一种仿欧姆接触电阻测试装置及测试方法
技术领域：
本发明涉及半导体电阻材料测量技术领域，具体的说是一种仿真欧姆接触电阻测试装置及测试方法。
背景技术：
传统的半导体电阻材料的电阻测量方法是在待测材料的两端通过金属化的方法制备欧姆接触电极，然后测试电阻。这个过程工艺复杂，测试耗时长，测试成本高，不便于批量产品的测试。
发明内容
本发明的目的是研制一种不需要欧姆接触电极的情况下直接精确、快速、稳定地测量出半导体电阻材料的电阻值的仿真欧姆接触电阻测试装置及测试方法。本发明的基本原理是通过一定的压力将金属电极压在被测试产品的表面，使电极与被测试产品紧密接触，从而模拟欧姆接触电极。本发明一种仿真欧姆接触电阻测试装置，包括框型支架1，框型支架1上设置有调压阀和截流阀，框型支架1上还设置有气缸2，调压阀和截流阀之间、截流阀和气缸2之间分别通过送气管道相连通；所述气缸2的活塞杆5底部连有钢板6，钢板6底部左右两侧分别设置有第一橡胶压块3、第二橡胶压块4，所述框型支架1的下边框上设置有和第一橡胶压块3、第二橡胶压块4位置相对应的第三橡胶压块7、第四橡胶压块8，使得活塞下降时，第一橡胶压块3、第二橡胶压块4能和第三橡胶压块7、第四橡胶压块8吻合对应；所述第一橡胶压块3、第二橡胶压块4、第三橡胶压块7和第四橡胶压块8上还设置有金属电极9。所述第一橡胶压块3、第三橡胶压块7上的金属电极9通过导线相并联继而与电阻表10 —头相连，所述第二橡胶压块4、第四橡胶压块8上的金属电极9通过导线相并联继而与电阻表10另一头相连。所述金属电极9，其位置与被测试产品需制备电极的位置相对应，电极形状和大小也与被测试产品需制备电极的形状和大小一样。钢板6的面积较被测试产品的面积稍大，压下时能完全覆盖被测试产品。所述调压阀和进气管相连通。一种仿真欧姆接触电阻测试方法，其步骤如下 ⑴通气；
⑵将被测试产品放到框型支架的底板，其测试点与压板上的金属电极对准，根据不同的产品可设计定位夹具；
⑶打开汽缸开关，压板下压，压板上的金属电极与被测试产品充分接触；
⑷读取电阻表上的电阻值；
(5)关闭汽缸开关、压板上升，取出被测试产品。本发明一种仿真欧姆接触电阻测试装置及测试方法的优点是①减少工艺过程，节约生产时间传统方法，过程复杂、工序时间长，设备投入大、生产成本高；本发明直接去除了欧姆电极的制作过程，快捷、准确的测量出被测试产品的电阻值，节约生产时间，降低生产成本，提高生产效率；
②该测试装置制造过程简单，成本低该装置主要由调压阀、截流阀、气缸、橡胶板、金属电极和电阻表等组成，组装简单，体积小、易搬运，可适用与产品在线检测；
③该测试装置稳定性好，易操作；测试灵敏度高，稳定性好，操作过程方便、快捷；
④应用范围广可根据被测试产品的结构和形状对装置进行调整，适用于各类需欧姆接触电阻的测量。
图1为仿真欧姆接触电阻测试装置的结构示意图。图2为仿真欧姆接触电阻测试装置的侧视结构示意图。
具体实施例方式根据图1、图2所示，一种仿真欧姆接触电阻测试装置，包括框型支架1，框型支架1上设置有调压阀和截流阀，框型支架1上还设置有气缸2，调压阀和截流阀之间、截流阀和气缸2之间分别通过送气管道相连通；所述气缸2的活塞杆5底部连有钢板6，钢板6底部左右两侧分别设置有第一橡胶压块3、第二橡胶压块4，所述框型支架1的下边框上设置有和第一橡胶压块3、第二橡胶压块4位置相对应的第三橡胶压块7、第四橡胶压块8，使得活塞下降时，第一橡胶压块3、第二橡胶压块4能和第三橡胶压块7、第四橡胶压块8吻合对应；所述第一橡胶压块3、第二橡胶压块4、第三橡胶压块7和第四橡胶压块8上还设置有金属电极9。所述第一橡胶压块3、第三橡胶压块7上的金属电极9通过导线相并联继而与电阻表10 —头相连，所述第二橡胶压块4、第四橡胶压块8上的金属电极9通过导线相并联继而与电阻表10另一头相连。所述金属电极9，其位置与被测试产品需制备电极的位置相对应，电极形状和大小也与被测试产品需制备电极的形状和大小一样。钢板6的面积较被测试产品的面积稍大，压下时能完全覆盖被测试产品。所述调压阀和进气管相连通。一种仿真欧姆接触电阻测试方法，其步骤如下 ⑴通气；
⑵将被测试产品放到框型支架的底板，其测试点与压板上的金属电极对准，根据不同的产品可设计定位夹具；
⑶打开汽缸开关，压板下压，压板上的金属电极与被测试产品充分接触；
⑷读取电阻表上的电阻值；
(5)关闭汽缸开关、压板上升，取出被测试产品。
权利要求
1.一种仿真欧姆接触电阻测试装置，包括框型支架⑴，框型支架⑴上设置有调压阀和截流阀，框型支架⑴上还设置有气紅⑵，调压阀和截流阀之间、截流阀和气缸⑵之间分别通过送气管道相连通；所述气缸⑵的活塞杆ω底部连有钢板(6)，其特征在于所述钢板(6) 底部左右两侧分别设置有第一橡胶压块⑶、第二橡胶压块⑷，所述框型支架⑴的下边框上设置有和第一橡胶压块⑶、第二橡胶压块⑷位置相对应的第三橡胶压块(7)、第四橡胶压块 ⑶；所述第一橡胶压块⑶、第二橡胶压块⑷、第三橡胶压块(7)和第四橡胶压块⑶上还设置有金属电极⑶。
2.根据权利要求1所述的仿真欧姆接触电阻测试装置，其特征在于所述第一橡胶压块⑶、第三橡胶压块(7)上的金属电极⑶通过导线相并联继而与电阻表(10)—头相连，所述第二橡胶压块⑷、第四橡胶压块⑶上的金属电极⑶通过导线相并联继而与电阻表(10)另一头相连。
3.根据权利要求1所述的仿真欧姆接触电阻测试装置所实施的仿真欧姆接触电阻测试方法，其特征在于其步骤如下⑴通气；⑵将被测试产品放到框型支架的底板，其测试点与压板上的金属电极对准，根据不同的产品可设计定位夹具；⑶打开汽缸开关，压板下压，压板上的金属电极与被测试产品充分接触；⑷读取电阻表上的电阻值；(5)关闭汽缸开关、压板上升，取出被测试产品。
全文摘要
一种仿真欧姆接触电阻测试装置及测试方法，其方法步骤如下⑴通气；⑵将被测试产品放到框型支架的底板，其测试点与压板上的金属电极对准，根据不同的产品可设计定位夹具；⑶打开汽缸开关，压板下压，压板上的金属电极与被测试产品充分接触；⑷读取电阻表上的电阻值；⑸关闭汽缸开关、压板上升，取出被测试产品。其优点是①减少工艺过程，节约生产时间；②该测试装置制造过程简单，成本低；③该测试装置稳定性好，易操作；④应用范围广。
文档编号G01R27/02GK102207523SQ201110064109
公开日2011年10月5日 申请日期2011年3月17日 优先权日2011年3月17日
发明者郑峻 申请人:郑峻