技术编号:6015659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测试元件及其制作方法,且特别是涉及一种能维持探针相对定位与平面度的。背景技术集成电路芯片(integrated circuit chip, IC chip)的电性测试在制作过程中是相当重要的。每一个IC芯片在晶片(wafer)与封装(package)型态都必须接受测试以确保其电性功能(electrical function) 0集成电路进行测试时,测试机通过一探针卡(probe card)接触待测物(device under test),并通...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。