技术编号:6023968
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般是关于一种高处理量检测一物体的系统及方法,其是使用短周期反射及穿透发光光束(例如但不限于发光光束)。背景技术 检测一物品以决定此物品状态的系统与方法,例如屏蔽(亦称为标线板或光罩),在此项技术中已为业界所熟知。光学检测系统与方法,通常包含导引一发光光束至一检测物体,并检测由系统反射的发光,或穿透物体的发光。晶体管的大小持续缩小,且需以较高分辨率检测屏蔽(亦称为标线板)。除需较高分辨率外,需以一可节省时间的方式执行光学检测。因此需提供一种具有高处理...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。