技术编号:6030459
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米材料和湿度传感器,特别涉及一种基于碳纳米管结构的湿度传感器及其制作方法。 背景技术湿度传感器是化学传感器的一种,在在仓储、工农业生产、工程控制、环境监测、家 用电器、气象、航天导弹等方面有着广泛的应用。现阶段,市场上的湿度传感器主要为电阻 式和电容式两种,产品的基本形式都为在基片涂覆感湿材料形成感湿膜。空气中的水蒸汽 吸附于感湿材料后,元件的阻抗、介质常数发生很大的变化,从而制成湿敏元件。但存在线 性度和产品互换性差,功耗大,灵敏度、测量精度...
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