技术编号：6066196
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面(5)和立柱(10)构成的支架；所述立柱(10)上设置有光学头(12)；所述光学头(12)的下方设置有测量盘(1)；所述下台面(5)设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)上设置有滑块(3)，所述滑块(3)上设置有轴承座(2)，所述轴承座(2)上设置有轴承(9)；所述轴承(9)与测量盘(1)的中心固定连接。专利说明一种蓝宝石表面检测仪主体结构 [0001]本实用新型涉及一种光电子信息，尤其涉...
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