一种蓝宝石表面检测仪主体结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面(5)和立柱(10)构成的支架；所述立柱(10)上设置有光学头(12)；所述光学头(12)的下方设置有测量盘(1)；所述下台面(5)设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)上设置有滑块(3)，所述滑块(3)上设置有轴承座(2)，所述轴承座(2)上设置有轴承(9)；所述轴承(9)与测量盘(1)的中心固定连接。
【专利说明】一种蓝宝石表面检测仪主体结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种光电子信息【技术领域】，尤其涉及一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构。
【背景技术】
[0002]第三代半导体材料氮化镓(GaN)基发光半导体(LED)由于具有响应速度快、寿命长、耐冲击、抗震、高效节能等优异特性，在银行、体育场、机场、车站以及室内外广告牌等领域的显示设备中，具有广阔的市场应用前景:尤其是在这些领域最常用到的大屏幕动态显示器中，它是最关键的器件之一。此外，GaN基蓝、绿光LED还可以用于家电和信息数码设备，如计算机和手机等的状态显示和背景照明等消费电子领域。其制作的白色固态光源体积小、重量轻、寿命长，掀起了照明领域新一轮的革命。然而为了使氮化镓在蓝宝石衬底上均匀生长，对蓝宝石衬底的机械参数，包括厚度、弯曲度、翘曲度、表面平整度等等参数的要求都非常高。但是在生产过程中，而达成这一要求则离不开高精度、高效率的表面检测仪器。
[0003]传统的蓝宝石表面检测仪器的主体结构由两大部分构成。第一部分为带动整个测量盘的前后运动机构，第二部分为测量盘的自转机构。而带动整个测量盘前后运动的机构所采用的方法是手轮转动带动手轮上的斜齿轮转动，斜齿轮的转动带动与之相啮合的斜齿条的前后运动，斜齿条的前后运动带动固定斜齿条的燕尾基座的前后运动，基座上设有测量盘。从而实现测量盘的前后方向的运动。但是这种结构存在前后运动行程有限，尤其是转动的小手轮的效率很低，对大尺寸的蓝宝石尤其是还固定在陶瓷盘上的蓝宝石的检测带来困难，同时这种机构对机械加工的精度要求也较高。
实用新型内容
[0004]为了克服现有结构存在前后运动行程有限，尤其是转动的小手轮的效率很低，对大尺寸的蓝宝石尤其是还固定在陶瓷盘上的蓝宝石的检测带来困难，以及这种机构对机械加工的精度要求也较高；本实用新型提供一种新式结构，该结构不仅行程大、效率高，而且加工简单，操作方便。
[0005]本实用新型提出一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面和立柱构成的支架；所述立柱上设置有光学头；所述光学头的下方设置有测量盘；所述下台面设置有滑轨，所述滑轨上设置有滑块，所述滑块上设置有轴承座，所述轴承座上设置有轴承；所述轴承与测量盘的中心固定连接。
[0006]作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的改进:所述滑轨的数量为至少两个；所述任意滑轨均设置有相对应的滑块；所述轴承座固定在滑块上。
[0007]作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进:所述轴承座和轴承之间设置有卡簧。
[0008]作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进:所述下台面的上表面平整度在0.03mm以内。
[0009]作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进:所述滑轨通过滑轨锁紧螺丝与下台面的上表面相互固定；所述轴承座通过滑块锁紧螺丝与滑块相互固定。
[0010]作为对本实用新型所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构的进一步改进:所述测量盘的上表面平整度控制在0.02mm内。
[0011]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:在测量盘的中心设立轴承使其可以绕中心转动，轴承的外圈固定在轴承座中，轴承座的两端设有直线滑轨的滑块，两个滑块通过对应的滑轨固定于下台面上。当人将陶瓷盘(粘有蓝宝石)放置在测量盘上时，即可转动和推动测量盘实现其转动和前后方向的运动，从而可以通过光学系统检测蓝宝石的表面加工质量。实际操作的过程中省去了前后方向的转动手轮，简化了操作过程，提高了生产效率。
[0012]本实用新型的有益效果是，解决了大尺寸的蓝宝石尤其是还固定在陶瓷盘上的蓝宝石的检测问题，简化了操作过程，提高了生产率，降低了生产的成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细说明。
[0014]图1是本实用新型的正面结构示意图；
[0015]图2是本实用新型的俯视结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]实施例1、图1和图2给出了一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面5和立柱10构成的支架；立柱10上设置有对蓝宝石衬底晶片的表面进行检测的光学头12。
[0017]在光学头12的下方设置有测量盘I ;下台面5的上表面平整度控制在0.03mm以内，并在该上表面通过若干滑轨锁紧螺丝6固定有滑轨4 ;为了确保滑行的稳定，滑轨4的数量设置为至少两根；在滑轨4上设置有相应的滑块3，在滑块3上的上方通过滑块锁紧螺丝7固定有轴承座2 (为了保持稳定，多个滑轨4配套多个滑块3，而轴承座2通过滑块锁紧螺丝7分别与多个滑块3进行固定，通过这种方式固定，可以确保滑块3上方的装置不会在通过滑轨4进行滑行的时候，产生径向的位移)；轴承座2上设置有轴承9 ;轴承座2和轴承9之间设置有卡簧8，通过卡簧8确保轴承9在轴承座2内转动的时候不会产生径向的位移；轴承9与测量盘I下表面的中心相互固定连接。测量盘I的上表面平整度控制在0.02mm。
[0018]实际使用的时候，本实用新型设置如下:
[0019]1、先检查下台面5的上表面平整度，将平整度最好控制在0.03mm以内；
[0020]2、然后检查两排滑轨固定螺丝孔的平行度，误差最好控制在0.03mm内，检查合格后锁紧螺丝6将滑轨4 (配套滑块3)固定在下台面5上；
[0021]3、检查测量盘I的上表面平整度最好控制在0.02mm以内，检查合格，在测量盘I的下表面中心点固定轴承9,并卡好卡簧8 ；
[0022]4、将轴承9压入轴承座2，检查转动是否平稳，根据检查的结果，如果平稳，则继续下一步，如果不平稳，则重新安装；
[0023]5、将轴承座2通过锁紧螺丝7锁紧在滑块3上；
[0024]6、在下台面5上固定立柱10，根据测量盘I的位置固定横梁11，并在测量盘I的正上方的横梁11上固定光学头12，将光学头12接电缆13等，完成其他的设备连接；
[0025]7、试着前后运动和转动整个结构，待全部运转正常后转入正式生产。
[0026]最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的一个具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面(5)和立柱(10)构成的支架；所述立柱(10)上设置有光学头(12);其特征是:所述光学头(12)的下方设置有测量盘⑴； 所述下台面(5)设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)上设置有滑块(3)，所述滑块(3)上设置有轴承座(2)，所述轴承座(2)上设置有轴承(9)； 所述轴承(9)与测量盘(I)的中心固定连接。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，其特征是:所述滑轨(4)的数量为至少两个； 所述任意滑轨(4)均设置有相对应的滑块(3)； 所述轴承座(2)固定在滑块(3)上。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，其特征是:所述轴承座⑵和轴承(9)之间设置有卡簧(8)。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，其特征是:所述下台面(5)的上表面平整度在0.03mm以内。
5.根据权利要求4所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，其特征是:所述滑轨(4)通过滑轨锁紧螺丝￠)与下台面(5)的上表面相互固定； 所述轴承座(2)通过滑块锁紧螺丝(7)与滑块(3)相互固定。
6.根据权利要求5所述的蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，其特征是:所述测量盘(I)的上表面平整度控制在0.02mm内。
【文档编号】G01B11/30GK204142202SQ201420451657
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年8月12日 优先权日:2014年8月12日
【发明者】胡荣杰, 唐旭, 刘浦锋, 宋洪伟, 陈猛 申请人:上海超硅半导体有限公司