技术编号：6077418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种纳米探针的对准装置，所述对准装置至少包括基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。本实用新型通过在针管口的底部设置开口，可以快速卡住并对准纳米探针，防止探针偏转。另外，本实用新型在针管表面设置凸起，基座上设置与凸起配合固定的插槽，可以防止针管转动，进一步确保纳米探针的对准精度，从而提高探针的装载效率以及测试效率和准...
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