一种纳米探针的对准装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种纳米探针的对准装置，所述对准装置至少包括：基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。本实用新型通过在针管口的底部设置开口，可以快速卡住并对准纳米探针，防止探针偏转。另外，本实用新型在针管表面设置凸起，基座上设置与凸起配合固定的插槽，可以防止针管转动，进一步确保纳米探针的对准精度，从而提高探针的装载效率以及测试效率和准确性。
【专利说明】一种纳米探针的对准装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体测试【技术领域】，特别是涉及一种纳米探针的对准装置。
【背景技术】
[0002]集成电路的制造过程中，通常要对失效的晶圆进行测试分析，以确定失效原因，进一步提升最终成品的良率。本发明所用的纳米探针正是用于失效分析中对晶体管级别目标的电性量测。该系统利用一个具有若干纳米探针系统的扫描电子显微镜机台，将纳米探针与晶体管或所需结构的端点进行接触，向集成电路施加测试信号，以判断其电学性能是否完好。在纳米探针的测试系统中，装载的纳米探针的角度会影响测试的准确性。现有技术中装载探针的装置如图1?图4所示，其包括:基座IA和针管2A，所述针管2A —端套设在所述基座IA中，另一端固定纳米探针3A。这种装载结构主要依靠手动和目测来确保探针的角度，这样很容易造成探针针尖偏转，使操作效率降低。
[0003]目前DCG厂商提供的测试系统中装载有8根探针，由于采用了更多便利的自动化操作步骤，使得对探针装载角度的一致性提出了更高的要求，若探针装载后存在较大的偏差，则会显著增加在自动化操作中发生撞针的风险，以及后续测量中的难度。
[0004]因此，提供一种简单高效的对准装置来确保探针装载角度是本领域技术人员需要解决的课题。
实用新型内容
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种纳米探针的对准装置，用于解决现有技术中装载纳米探针时容易发生探针偏转造成撞针且装载效率低等的冋题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种纳米探针的对准装置，所述纳米探针的对准装置至少包括:
[0007]基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；
[0008]针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。
[0009]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述插槽的长度范围为I ?3cm0
[0010]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述纳米探针包括针杆和与所述针杆呈一定角度连接的针尖，所述开口卡在所述针杆和针尖的连接处。
[0011]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述开口的长度范围为0.5?1mm，所述开口的宽度范围为0.05?0.1mm。
[0012]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述凸起的形状为圆柱体或者长方体。
[0013]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述凸起的高度范围为0.5 ?Icm0
[0014]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述插槽开设在基座顶部的壁上，所述凸起相应地设置在针管顶部。
[0015]作为本实用新型纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述基座和针管的材质均为不锈钢。
[0016]如上所述，本实用新型的纳米探针的对准装置，至少包括:基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。本实用新型通过在针管口的底部设置开口，可以快速卡住并对准纳米探针，防止探针偏转。另外，本实用新型在针管表面设置凸起，基座上设置与凸起配合固定的插槽，可以防止针管转动，进一步确保纳米探针的对准精度，从而提尚探针的装载效率以及测试效率和准确性。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为纳米探针结构示意图。
[0018]图2为现有技术中针管的结构示意图。
[0019]图3为现有技术中基座的结构示意图。
[0020]图4为现有技术中探针装载在针管上的整体示意图。
[0021]图5为本实用新型针管的结构示意图。
[0022]图6为本实用新型纳米探针的对准装置示意图。
[0023]元件标号说明
[0024]I, IA基座
[0025]11插槽
[0026]2，2A针管
[0027]21开口
[0028]22凸起
[0029]3，3A纳米探针
【具体实施方式】
[0030]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0031]请参阅图5至图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0032]如图6所示，本实用新型提供一种纳米探针的对准装置，所述纳米探针的对准装置至少包括:基座I和针管2。
[0033]所述基座I上开设有从基座口延伸的插槽11。所述基座口是针管2的插入端，基座口为水平放置的中空圆柱体。
[0034]作为示例，所述插槽11的长度范围控制在I?3cm。本实施例中，所述插槽11的长度优选为2cm。当然，在其他实例中，所述插槽11的长度也可以是1cm、1.5cm或2.5cm等。
[0035]如图5和图6所示，所述针管2的一端套设在所述基座I中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住纳米探针3的开口 21。作为示例，所述开口 21的长度在0.5?Imm范围内，开口 21宽度以刚好卡住纳米探针3为准，约为0.05?0.1mm。本实施例中，所述开口21的长度为0.8mm，宽度为0.1mm0
[0036]进一步地，所述纳米探针3包括针杆和与所述针杆成一定角度连接的针尖，所述开口 21卡在所述针杆和针尖的连接处。由开口 21卡住的纳米探针3在装载时自动对准角度，不会往左右发生偏移，提高探针装载的效率。
[0037]另外，如图5和图6所示，在针管2表面还设置有与所述插槽11配合固定的凸起22。所述凸起22的形状可以是圆柱体或者长方体，也可以是其他任何可以与插槽11相配合的形状，在此不限。本实施例中，所述凸起22的形状为圆柱体。所述凸起22的高度一般选择在0.5?1cm，本实施例中，所述凸起22的盖度暂选为0.6cm。针管2的直径比基座口的直径稍小，将针管2安装到基座I上后，推动针管2，使针管2的凸起22沿着基座I的插槽11滑动，直至凸起22位于插槽11的最尾部固定。
[0038]优选地，如图6所示，所述插槽11开设在基座I顶部的壁上，相应地，所述凸起22则设置在针管2顶部表面，以防止针管2转动，从而保证卡在针管上的探针保持在正确的装载位置。当然，在其他实施例中，所述插槽11也可以设置在基座I的侧面，凸起22相应地制作在针管2的侧面，在此不限。
[0039]作为优选的实施例，所述基座I和针管2的材质可以均为不锈钢，但是并不限于此，在其他实施例中也可以选择其他合适的材质。
[0040]通过本实用新型的对准装置，分别将每一根纳米探针3准确快速的装载在测试系统的每个基座中，装载后的纳米探针3角度无偏差，降低测试过程中撞针的风险。
[0041]综上所述，本实用新型提供一种纳米探针的对准装置，对准装置至少包括:基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。本实用新型通过在针管口的底部设置开口，可以快速卡住并对准纳米探针，防止探针偏转。另外，本实用新型在针管表面设置凸起，基座上设置与凸起配合固定的插槽，可以防止针管转动，进一步确保纳米探针的对准精度，从而提高探针的装载效率以及测试效率和准确性。
[0042]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0043]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种纳米探针的对准装置，其特征在于，所述纳米探针的对准装置至少包括: 基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽； 针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。
2.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述插槽的长度范围为I ?3cm0
3.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述纳米探针包括针杆和与所述针杆呈一定角度连接的针尖，所述开口卡在所述针杆和针尖的连接处。
4.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述开口的长度范围为0.5?1mm，所述开口的宽度范围为0.05?0.1mm。
5.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述凸起的形状为圆柱体或者长方体。
6.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述凸起的高度范围为0.5 ?Icm0
7.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述插槽开设在基座顶部的壁上，所述凸起相应地设置在针管顶部。
8.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于:所述基座和针管的材质均为不锈钢。
【文档编号】G01R1/067GK204203303SQ201420708767
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年11月21日 优先权日:2014年11月21日
【发明者】李楠, 朱灵 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司