用于相位测量的系统和方法技术资料下载

技术编号:6088483

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这份申请是美国专利申请第10/823,389号(2004年4月13日提交)的部份后继申请,而第10/823,389号专利是第10/024,455号的部份后继申请(2001年12月18日提交),并且要求美国专利临时申请第60/479,732号(2003年6月19日提交)的权益。上述申请的全部内容在此通过引证被完整地并入。背景技术 以相位为基础的光学干涉测量技术已被广泛地用于需要亚波长距离灵敏度的光学距离测量。光学距离被定义为折射指数和长度的乘积。然而,大多数...
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