技术编号:6093614
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造用于测试半导体芯片的微型微探针或电触点的方法。背景技术 在用于电连续性的测试探针卡领域中已知,使用通过将直段线机械地形成为期望的形状以提供必要的尺寸和弹力而生成的探针来执行这样的测试。图1-3示出由Brookfield,Connecticut的WentworthLaboratories,INC.所生产的传统“CobraTM”探针测试头。这样的探针头由保持在相对的第一(上)模(die)42和第二(下)模44之间的探针64阵列组成。每个探针具...
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