技术编号:6093635
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到一种压力传感器,尤其涉及一种电容压力传感器,它带有降低寄生电容影响的电路。现有技术展示了不同的固态压力传感器,这些传感器带有一个用于检测压力的可偏移的膜片,一些是可以成批生产的。所希望的是采用相对刚性强的材料,如半导体材料做的固态压力传感器。电容式压力传感器通过测量两块电容极板之间的电容量来测量压力。压力变化表现为电容量的变化。在一个用半导体做成的压力传感器上寄生电容会被引入电容测量中,并引起测量误差。这种寄生电容发生在电容极板和附近起着一块电...
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