接触探针的制作方法技术资料下载

技术编号:6100696

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本发明涉及用于半导体IC芯片和液晶显示装置等的电气检查的接触探针。背景技术 在形成半导体基板和液晶装置等的电路的电气检查中,使用由将多个接触探针与被检查电路的配列合在一起而配置的探针卡组成的检查装置。接触探针为了进行与作为检查对象的图形配线确实接触且不损伤配线,为了反复使用可能程度的适度的接触,需要具有触点机能的前端部和具有按压功能的弹簧部。现在,这些由各种各样部件组合构成例如特开2000-162241号公报和特开平11-337575号公报提出了用电铸形成...
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