技术编号:6102318
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种沿着一表面形貌图上的截线形成截面轮廓(line profile)的方法,尤其是一种沿着一正交表面形貌图上的截线形成截面轮廓的方法。背景技术 利用白光干涉(white light interferometry)的特性,以非接触方式对对象表面进行测量的形貌测量装置,广泛应用在对于精密度有高度要求的产品,诸如半导体晶片、液晶显示器的玻璃面板等。请参照图1所示,一典型非接触式形貌测量装置的示意图。如图1中所示,此形貌测量装置具有一宽频光源10、一准直...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。