技术编号：6116870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及探针卡的紧固机构以及探测装置，更详细地说，涉及简易化紧固机构，能够简单地向探测装置进行组装的探针卡的紧固机构以及探测装置。背景技术 例如，如图9所示，现有技术的探测装置包括探测装置主体1；可在X、Y、Z以及θ方向移动地配置在该探测装置主体1内，载置被检查体(例如晶片W)的载置台2；具有与在载置于该载置台2上的晶片W上形成的电极垫片相对应的探针3A的探针卡3；通过卡支架(未图示)固定该探针卡3的紧固机构4(参照图10、图11)；以及通过连接环5与探...
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