专利名称：探针卡的紧固机构以及探测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及探针卡的紧固机构以及探测装置，更详细地说，涉及简易化紧固机构，能够简单地向探测装置进行组装的探针卡的紧固机构以及探测装置。
背景技术：
例如，如图9所示，现有技术的探测装置包括探测装置主体1；可在X、Y、Z以及θ方向移动地配置在该探测装置主体1内，载置被检查体(例如晶片W)的载置台2；具有与在载置于该载置台2上的晶片W上形成的电极垫片相对应的探针3A的探针卡3；通过卡支架(未图示)固定该探针卡3的紧固机构4(参照图10、图11)；以及通过连接环5与探针卡3电气连接的测试头T，其中，构成为通过测试头T、连接环5以及探针卡3，在试验器(未图示)和晶片W的电极垫片之间传送接收试验信号，进行晶片W的电气检查。此外，在图9中，标号6表示与载置台协同工作来对晶片W和探针卡进行定位的机构，标号6A表示上侧相机、标号6B表示下侧相机，标号7表示固定紧固机构4的顶板。
然而，紧固机构4这样构造，即，自动地紧固固定通过搬送机构搬送的探针卡3。本发明人例如在专利文献1中揭示有这种紧固机构的方案。例如，如图10以及图11(a)所示，该紧固机构4包括固定在探测装置主体1的顶板1A的凸缘部1B上的插入环41；使该插入环41与中心一致，可旋转地安装在其下面的锁环42；以及相对于插入环41可自由旋转地连接该锁环42的多个(例如六个)V滑轮43。其中，在图11(a)中仅表示出一个V滑轮。
如图10以及图11(a)所示，插入环41包括和顶板1A的凸缘部1B接合的凸缘部41A；从该凸缘部41A的内端垂下的扁平的筒状部41B；以及从该筒状部41B的下端向内方水平地延伸且如后所述通过和锁环42紧固卡支架的止动用凸缘的凸缘状紧固部41C。在筒状部41B的外周面上，在圆周方向上隔开等间隔在六处形成有向内侧呈圆弧状凹陷的凹部41D，在各凹部41D上自由旋转地配置有V滑轮43。此外，紧固部41C成为在固定探针卡3时的基准面。
如图11(a)所示，锁环42形成在插入环41的筒状部41B具有余地地嵌入的内径上。如图11(a)所示，该锁环42包括在插入环41的凸缘部41A的直径方向内侧结合的上环42A、以及通过多个(例如四个)接合销42B，利用弹簧(未图示)的力和该上环42A一体化的下环42C，通过两处的汽缸(未图示)进行正逆旋转。上环42A的内径比下环42C的内径设置得大，下环42C的内径比插入环41的筒状部41B的外径设置得大。在上环42A的内周面整体圆周上，形成有六个V滑轮43嵌入的V槽42D，锁环42通过V滑轮43自由旋转。此外，标号42F表示的是支撑卡支架的凸轮从动件。
如图11(a)、(b)所示，V滑轮43包括安装在插入环41的上面一侧的轴承螺帽43A；从插入环41的下侧与轴承螺帽43A螺合的轴承销43B；通过轴承销43B自由旋转地支撑的滑轮43C；以及调整滑轮43C的高度的衬垫(spacer)43D。此外，如该图所示，在轴承螺帽43A的中心形成有嵌入插入环41的孔的轴43E，在该轴43E上形成有轴承销43B螺合在从轴心稍微偏离的位置的雌螺丝43F。因此，由于轴承销43B的轴心从轴承螺帽43A的轴心偏心，所以，在将V滑轮43安装在插入环41上之后，通过旋转轴承螺帽43A，滑轮43C和锁环42的内周面的V槽结合，锁环42和插入环41一体化，或者，结合状态被解除，将锁环42从插入环41上取下。
即，在将锁环42安装在插入环41上的情况下，通过衬垫43D调整V滑轮43的高度，同时，在轴承螺帽43A的朝向上调整锁环42的水平方向，使插入环41和锁环42的轴芯一致。
此外，专利文献2中，揭示有具有调整测试头和探针卡的连接状态的轴承机构的测试头。该轴承机构具有测试头主体和其支撑框，测试头主体通过设置在支撑框四角的轴承支撑，测试头主体在支撑框内在水平方向上可旋转。在该轴承机构中，垂直轴承和水平轴承自由旋转地安装在各自的安装框上。此外，测试头主体通过水平轴承和引导框的垂直侧面使其水平位置被规制，通过垂直轴承和上下引导框使其垂直位置被规制。
专利文献1日本特开平10-189669号公报专利文献2日本特开平08-102477号公报然而，专利文献1的探针卡的紧固机构4存在这样的课题锁环42通过上环42A、下环42B等多个构件构造，所以构造复杂，此外，在向插入环41上安装锁环42时，必须使用多个V滑轮43，同时调整锁环42相对于插入环41的高度以及水平方向，并且，由于V滑轮43在插入环41以及锁环42的圆周方向上设置有多个，因此，在锁环42的X、Y、Z方向的调整位置中需要较长时间。此外，专利文献2的测试头是调整测试头主体和探针卡之间的连接状态的机构，而并不是涉及紧固机构的技术，其机械性构造完全不同。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种这样的装置能够简易化紧固机构，以低成本制作紧固机构，而且，能够简单且迅速地相对于探测装置主体对紧固机构进行位置调整并进行安装的探针卡的紧固机构以及探测装置。
本发明第一方面所述的探针卡的紧固机构，其特征在于，包括具有下端与探针卡的卡支架接合的筒状部，并且具有从该筒状部的上端部扩径形成的凸缘部的插入环；以及上端部嵌入形成在该插入环的凸缘部的下面的环状槽内并且在内周面整体圆周上形成有槽的锁环，其中，在上述插入环的筒状部上，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处设置有嵌入上述锁环的槽内的第一辊，同时，在上述凸缘部上，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处设置有接触上述锁环的内周面的第二辊，并且，在上述锁环上，对应上述第一辊设置有上述第一辊通过的缺口部。
此外，本发明第二方面所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在第一方面中，在上述卡支架上，设置有支撑在圆周方向上隔开规定间隔形成的伸出部的多个支撑辊，通过上述支撑辊和上述插入环夹持上述伸出部。
此外，本发明第三方面所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在第一方面或者第二方面中，上述第一辊以两个为一组被设置在三处。
此外，本发明第四方面所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在第一至第三方面的任一方面中，上述第二辊被安装在上述插入环的凸缘部上，进行上述锁环的水平方向的位置调整。
此外，本发明第五方面所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在第一至第四方面的任一方面中，上述卡支架的多个伸出部，其各自厚度在圆周方向上逐渐增厚。
此外，本发明第六方面所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在第一至第五方面的任一方面中，在上述插入环的凸缘部上，设置有检测上述卡支架的多个伸出部的传感器机构。
此外，本发明第七方面所述的探测装置，其特征在于，包括载置被检查体的可移动的载置台、配置在该载置台的上方的探针卡、以及可装卸地保持该探针卡的紧固机构，上述紧固机构通过第一至第六方面的任一方面上述的紧固机构所构成。
根据本发明第一至第七方面所述的发明，能够提供这样的装置，即能够简易化紧固机构，以低成本制作紧固机构，而且，能够简单且迅速地相对探测装置主体对紧固机构进行位置调整并安装的探针卡的紧固机构以及探测装置。
图1是表示本发明探针卡的紧固机构的一实施方式的截面图。
图2(a)、(b)是分别表示图1所示插入环的视图，(a)表示的是其下面侧的平面图，(b)表示的是其截面图。
图3(a)、(b)是分别表示插入环和锁环之间关系的主要部位截面图，(a)表示的是插入环的第一凸轮从动件和锁环的关系的截面图，(b)表示的是插入环的第二凸轮从动件和锁环的关系的截面图。
图4(a)、(b)是分别表示图1所示锁环的视图，(a)表示的是其下面侧的平面图，(b)表示的是其B-B线方向的截面图。
图5(a)、(b)是分别表示图1所示紧固机构和卡支架的关系的视图，(a)表示的是其主要部位截面图，(b)表示的是卡支架的伸出部和支撑凸轮从动件的关系的说明图。
图6(a)～(c)是分别表示通过紧固机构固定探针卡的步骤的图。
图7表示的是插入环的第二定位销和卡支架的关系的截面图。
图8(a)～(c)是分别表示卡支架和插入环的关系的截面图，(a)表示的是旋转止动销嵌入插入环的逃逸孔的状态的截面图，(b)表示的是旋转止动销嵌入插入环的逃逸孔的状态的截面图，(c)表示的是邻接(a)、(b)所示的旋转止动销的凸轮从动件的部分的截面图。
图9是截断表示探测装置一例的主要部位的正面图。
图10表示的是适用于图9所示探测装置的现有技术的紧固机构的插入环和顶板关系的分解立体图。
图11(a)、(b)是分别表示图10所示紧固机构的视图，(a)表示的是其分解立体图，(b)表示的是V滑轮的平面图。
标号说明10紧固(clamp夹紧)机构；11插入环(insert ring)；11A筒状部；11B凸缘部；11C环状槽；12锁环(lock ring)；12A槽；12B缺口部；13探针卡(probe card)；14卡支架(card hold)；14A伸出部；15第一凸轮从动件(第一辊)；16第二凸轮从动件(第二辊)；20支撑凸轮从动件(支撑辊)；21传感器机构。
具体实施例方式
下面，参照图1～图6所示的实施方式，对本发明说明。其中，在各图中，图1表示的是本发明的探针卡(probe card)的紧固机构的一实施方式的截面图，图2(a)、(b)是分别表示图1所示插入环的视图，(a)表示的是其下面侧的平面图，(b)表示的是其截面图，图3(a)、(b)是分别表示插入环和锁环之间关系的主要部位截面图，(a)表示的是插入环的第一凸轮从动件和锁环的关系的截面图，(b)表示的是插入环的第二凸轮从动件和锁环的关系的截面图，图4(a)、(b)是分别表示图1所示锁环的视图，(a)表示的是其下面侧的平面图，(b)表示的是其B-B线方向的截面图，图5(a)、(b)是分别表示图1所示紧固机构和卡支架的关系的图，(a)表示的是其主要部位截面图，(b)表示的是卡支架的伸出部和支撑凸轮从动件的关系的说明图，图6(a)～(c)是分别表示通过紧固机构固定探针卡的步骤的图，图7表示的是插入环的第二定位销和卡支架的关系的截面图，图8(a)～(c)是分别表示卡支架和插入环的关系的截面图，(a)表示的是旋转止动销嵌入插入环的逃逸孔的状态的截面图，(b)表示的是旋转止动销嵌入插入环的逃逸孔的状态的截面图，(c)表示的是邻接(a)、(b)中所示旋转止动销的凸轮从动件的部分的截面图。
对于本实施方式的探针卡的紧固机构(以下，只称为“紧固机构”)10来说，例如，如图1所示，其包括具有筒状部11A并且具有从该筒状部11A的上端部扩径形成的凸缘部11B的插入环11、以及上端部嵌入在该插入环11的凸缘部11B的下面形成的环状槽11C内的锁环12，其中，通过插入环11的凸缘部11B而安装在形成于顶板H上的开口部H1上。如后所述，该紧固机构10这样构造利用插入环11和锁环12，通过卡支架14保持探针卡13。
即，在锁环12的内周面上，在其宽度方向的大致中央，跨过整个周长而形成有槽12A，如后所述，该槽12A作为凸轮发挥功能。此外，在插入环11的筒状部11A上，如图2(a)以及图3(a)所示，嵌入锁环12的槽12A内的第一辊(以下，称为“第一凸轮从动件”)15，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处(本实施方式为三处)各设置有两个，通过这些第一凸轮从动件15将锁环12保持在规定高度。在图2(a)中，第一凸轮从动件15虽然在三处各设置有两个，但是也可以各设置一个。通过在三处设置第一凸轮从动件15，能够通过全部第一凸轮从动件15均匀地支撑锁环12。此外，由于在探针卡13进行紧固时，对第一凸轮从动件15施加较大负荷，所以，第一凸轮从动件15在各部位设置有两个，以确保机械性强度。
此外，如图2(a)以及图3(b)所示，在插入环11的凸缘部11B上，接触锁环12的槽12A上侧的内周面的第二辊(以下，称为“第二凸轮从动件”)16，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处(图2(a)中为三处)设置，这些第二凸轮从动件16这样构造如图3(b)所示，在第一凸轮从动件15在特定高度保持锁环12的状态下，调整和锁环12的内周面接触的程度。即，这样构造如图3(b)所示，第二凸轮从动件16连接在可旋转地配置在插入环11的凸缘部11B上面的位置调整构件16A上，通过旋转位置调整构件16A，第二凸轮从动件16与锁环12分离连接。如图3(b)所示，第二凸轮从动件16的轴部在从轴芯偏离的位置处螺合在位置调整构件16A的轴部，通过位置调整构件16A的旋转，第二凸轮从动件16以位置调整构件16A的轴芯为中心，接近锁环12的内周面，或者离开。因此，通过旋转操作位置调整构件16A来调整第二凸轮从动件16和锁环12的内周面的接触状态，调整锁环12相对于插入环11的水平位置(X、Y位置)，使这些两者11、12的轴芯一致。
此外，如图4(a)所示，在锁环12上，在圆周方向上隔开规定间隔(例如每120°)形成有与第一凸轮从动件15相对应的缺口部12B，在将锁环12安装在插入环11上时，插入环11侧的第一凸轮从动件15通过缺口部12B，在锁环12的上端嵌入到插入环11的环状槽11C内的状态下，若旋转锁环12，则第一凸轮从动件15就进入锁环12的槽12A内。
此外，在锁环12上，互相在圆周方向上隔开180°的位置处形成有两个孔12C，插入进行与插入环11之间的定位用的第一定位销(未图示)，而且，在插入环11上还形成有对应这些定位用的孔12C的定位用孔(未图示)。此外，在相对于插入环11自由旋转地一体化锁环12的状态下，通过在这些定位孔12C上安装第一定位销，而能够以规定的位置关系一体化插入环11和锁环12。在插入环11和锁环12被定位的状态下，如图1所示，能够连接用于旋转操作锁环12的马达17和锁环12。
即，如图1所示，在顶板H的水平方向外侧配置有马达17以及连接马达17的球形螺栓(未图示)，并且，在球形螺栓上螺合有螺帽构件(未图示)。此外，在该螺帽构件上连接有配置在锁环12的槽12A下侧的连接板18的一端，在连接板18的另一端上通过螺栓构件19连接有锁环12。此外，在螺帽构件上设置有快门(shutter)(未图示)，通过设置在顶板H上的透过传感器(未图示)检测快门，来停止马达17。这样，马达17的正逆旋转，通过球形螺栓以及螺帽构件，将连接板18的一端变换为前后的直线运动，其结果，锁环12在规定的角度范围内正逆旋转。螺栓构件19如图4所示，与在直径方向上贯通锁环12的槽12A的下侧的两个雌螺丝部12D螺合，从而使连接板18和锁环12连接。
此外，如图4(a)以及图5(a)所示，在锁环12上，在圆周方向上隔开规定间隔而安装有多个(图4(a)中为六个)支撑辊(以下，称为“支撑凸轮从动件”)20，而且，如图5(a)所示，在卡支架14上形成对应支撑凸轮从动件20的伸出部14A。此外，探针卡13通过卡支架14被支撑凸轮从动件20支撑，通过锁环12的正逆旋转，相对于插入环11的筒状部11A分离连接。
即，如图5(b)所示，卡支架14的伸出部14A包括一端部(该图中右端部)形成为最薄的薄壁部14B；另一端部(该图中左端部)形成为最厚的厚壁部14C；以及从薄壁部14B向厚壁部14C在两阶段上改变倾斜角而形成的第一、第二倾斜部14D、14E。此外，随着锁环12旋转，支撑凸轮从动件20从薄壁部14B向厚壁部14C移动，逐渐抬升探针卡13(参照图6)，最终如图5(a)所示，通过支撑凸轮从动件20和插入环11的凸缘部11B保持探针卡13。
此外，如图6(a)～(c)所示，在插入环11上安装有检测卡支架14的传感器机构21，使其位于上述伸出部14A的厚壁部14C。该传感器机构21如该图所示，包括收纳于在插入环11的凸缘部11B上形成的贯通孔的销21A；由U字状的缺口部夹着贯通孔配置的板传感器21B；以及弹性安装在这两者21A、21B之间的弹簧21C，通过销21A检测卡支架14。在贯通孔的下端形成有向内侧的伸出部，销21A通过形成于直胴部上的凸缘部而卡止在伸出部上。板传感器21B在缺口部具有传感器部，作为在该传感器部以非接触方式检测出入缺口部的销21A的透过型传感器而构成。传感器部例如由发光元件以及受光元件构成，通过受光元件检测出是否从发光元件发出有光L，来检测卡支架14的有无。
此外，如图7所示，在插入环11的凸缘部11B上，安装有两个第二定位销22，互相在圆周方向上隔开180°而沿着筒状部11A垂下，此外，在卡支架14F上形成有对应第二定位销22的两个嵌入孔14F。在将探针卡13安装在紧固机构10上时，通过插入环11一侧的第二定位销22嵌入卡支架14的嵌入孔14F，可以正确地设定探针卡13和插入环11的圆周方向的位置。
此外，如图8(a)、(b)所示，在从卡支架14的插入环11的筒状部11A出来的伸出部上，互相在圆周方向上隔开180°而立设有两个旋转止动销23，而且，在插入环11的凸缘部11B的下面安装有框24。在该框24以及凸缘部11B上形成有旋转止动销23游动嵌入的逃逸孔24A、11D。此外，在框24上，在圆周方向上可调整位置地安装有凸轮从动件25，该凸轮从动件25向筒状部11A一侧突出，与旋转止动销23结合，决定插入环11的圆周方向的位置。
因此，如图6(a)所示，卡支架14的伸出部14A进入插入环11的筒状部11A和锁环12的缝隙，在该状态下，如果马达17动作，锁环12旋转，则伸出部14A的薄壁部14B和支撑凸轮从动件20接触。此外，锁环12通过马达17旋转，如图5(b)所示，如果支撑凸轮从动件20从薄壁部14B沿着第一、第二倾斜部14C、14D连续地转动，则如图6(b)所示，传感器机构21的销21A接触伸出部14A的上面，抵抗弹簧21B的弹力，卡支架14逐渐上升，最终，如图5(a)、图6(c)所示，卡支架14达到上升端。
此外，马达17的旋转运动，通过球形螺栓以及螺帽构件而变换为连接板18的直线运动，连接板18进行直线运动。通过连接板18的直线运动使锁环12旋转，若连接板18的快门通过透过传感器以非接触方式而检测到其位置，则马达17停止，设定锁环12的位置。在马达17停止时，通过支撑凸轮从动件20和插入环11的凸缘部11B，夹持卡支架14的伸出部14A，作为其结果，用紧固机构10保持卡支架14。此时，插入环11的第二定位销22嵌入在卡支架14上形成的嵌入孔14F。在传感器机构21中，如图6(c)所示，板传感器21B检测到进入缺口部的销21A。
下面，关于紧固机构10的组装作业进行说明。首先，在插入环11的特定位置安装第一凸轮从动件15、第二凸轮从动件16、定位调整构件16A以及其他零件，同时，在锁环12的特定位置安装支撑凸轮从动件20以及其他零件。然后，一体化插入环11和锁环12。即，如果使锁环12的缺口部12B对准插入环11的第一凸轮从动件15，将锁环12嵌入插入环11的筒状部11A，则锁环12的上端部嵌入在插入环11的凸缘部11B上形成的环状槽11C内。在该状态下，如果旋转锁环12，则第一凸轮从动件15进入锁环12的槽12A内，锁环12对于插入环11自由旋转地一体化，锁环12的高度被自动地设定。
此后，将第一定位销插入锁环12的定位用孔12C，使锁环12旋转，将第一定位销插入插入环11的定位用孔，进行插入环11和锁环12的圆周方向的定位。此时，锁环12的高度已经通过第一凸轮从动件15和锁环12的槽12A设定。分别旋转操作三处的位置调整构件16A，进行调整，使各个第二凸轮从动件16和锁环内周面的接触压力变得相等，设定锁环12对于插入环11的X、Y方向的位置。此时，不用留意锁环12的高度，仅通过使用位置调整构件16A调整X、Y方向的位置，就能够将锁环12安装在插入环11上。通过以上步骤，完成紧固机构10的组装。
其后，从紧固机构10取下第一定位销，在插入环11和锁环12的X、Y、Z方向的位置被设定的状态下，将第二定位销22安装在插入环11的凸缘部11B上之后，通过插入环11的凸缘部11B，将该紧固机构10固定在顶板H的开口部H1。接下来，通过连接板18以及螺栓构件19连接螺合在已经配置在顶板H上的马达17一侧的球形螺栓上的螺帽构件和锁环12。然后，将安装有旋转止动销23的卡支架14安装在锁环12上。此时，驱动马达17，通过紧固机构10紧固卡支架14的伸出部14A，将卡支架14固定在紧固机构10上。在该状态下，从插入环11一侧调整对于卡支架14一侧的旋转止动销23的凸轮从动件25的位置。通过调整凸轮从动件25的圆周方向的位置，在通过马达17的驱动，支撑凸轮从动件20转动卡支架14的伸出部14A时，旋转止动销23和凸轮从动件25接触，不用旋转卡支架14，便可以使之向正上方抬升。
如以上说明，根据本实施方式，如果使插入环11一侧的第一凸轮从动件15进入锁环12的槽12A内，则能够自动地设定锁环12相对于插入环11的高度，关于锁环12的X、Y方向的位置，使用插入环11一侧的三个位置调整构件16A，不用留意高度，仅通过调整各第二凸轮从动件16和锁环12的内周面的接触程度，就能够设定锁环12相对于插入环11的X、Y方向。即，在将紧固机构10组装在探测装置主体的顶板H上时需要进行调整，仅通过调整第二凸轮从动件16的X、Y方向的位置就可以，能够在短时间且简单地组装紧固机构10。
此外，根据本实施方式，第一凸轮从动件15由于以两个作为一组而在三处设置，所以，通过全部第一凸轮从动件15能够均匀地支撑锁环12，在紧固探针卡13时，即使较大负荷作用于探针卡13，也不会发生损伤。此外，由于第二凸轮从动件16以可调整锁环12的水平方向位置的方式而被安装在插入环11的凸缘部11B上，因此，仅通过调整第二凸轮从动件16，就能够正确地设定锁环12的X、Y位置。此外，由于卡支架14的多个伸出部14A以各个厚度在圆周方向上逐渐增厚的方式而被设置，因此，仅通过旋转锁环12，就能够将探针卡13固定在紧固机构10上。此外，由于在插入环11的凸缘部11B上设置有检测卡支架14的多个伸出部14A的传感器机构21，所以，能够自动地检测出紧固机构10保持有探针卡13。
其中，本发明不受上述实施方式的任何限制，能够根据需要，适当地设计变更各构造要素。
产业可利用性本发明能够合适地应用于探测装置。
权利要求
1.一种探针卡的紧固机构，其特征在于，包括具有下端与探针卡的卡支架接合的筒状部，并且具有从该筒状部的上端部扩径形成的凸缘部的插入环；以及上端部嵌入在该插入环的凸缘部的下面形成的环状槽内并且在内周面整体圆周上形成有槽的锁环，其中，在所述插入环的筒状部上，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处设置有嵌入所述锁环的槽内的第一辊，同时，在所述凸缘部上，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处设置有与所述锁环的内周面接触的第二辊，并且，在所述锁环上，对应于所述第一辊设置有所述第一辊通过的缺口部。
2.如权利要求1所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在所述卡支架上，设置有支撑在圆周方向上隔开规定间隔形成的伸出部的多个支撑辊，通过所述支撑辊和所述插入环夹持所述伸出部。
3.如权利要求1或2所述的探针卡的紧固机构，其特征在于所述第一辊以两个为一组被设置在三处。
4.如权利要求1～3中任一项所述的探针卡的紧固机构，其特征在于所述第二辊被安装在所述插入环的凸缘部上，进行所述锁环的水平方向的位置调整。
5.如权利要求1～4中任一项所述的探针卡的紧固机构，其特征在于所述卡支架的多个伸出部，其各自厚度在圆周方向上逐渐增厚地形成。
6.如权利要求1～5中任一项所述的探针卡的紧固机构，其特征在于在所述插入环的凸缘部上，设置有检测所述卡支架的多个伸出部的传感器机构。
7.一种探测装置，其特征在于，包括载置被检查体的可移动的载置台、配置在该载置台的上方的探针卡、以及可装卸地保持该探针卡的紧固机构，所述紧固机构通过权利要求1～6中任一项所述的紧固机构所构成。
全文摘要
本发明提供一种紧固机构(10)，在插入环(11)的筒状部(11B)上，在圆周方向上隔开规定间隔而设置有嵌入锁环(12)的槽(12A)内的第一凸轮从动件(15)，同时，在凸缘部(11B)上，在圆周方向上隔开规定间隔而设置有接触锁环(12)的内周面的第二凸轮从动件(16)，并且，在锁环(12)上，对应第一凸轮从动件(15)而设置有第一凸轮从动件(15)通过的缺口部(12B)。
文档编号G01R1/073GK1932527SQ200610153449
公开日2007年3月21日 申请日期2006年9月15日 优先权日2005年9月16日
发明者山田浩史 申请人:东京毅力科创株式会社