技术编号:6126104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及空气分子污染采样技术,更具体地说,涉及一种空气分子污 染采样辅助器件及采样方法。背景技术空气分子污染AMC采样是半导体制程中的一个重要环节, 一般是通过 一个AMC采样装置对待测试负压腔Exhaust Duct Chamber中的环境进行 采样,获取AMC参数。通常,在AMC采样装置中有一个泵,能将环境样本抽到AMC采样装 置中进行检验,但是一般而言,待测试负压腔接近真空,压力很低,通常在 -1800Pa左右,这就给泵的环境样本采集工作带来了很大...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。