专利名称：空气分子污染采样辅助器件及采样方法
技术领域：
本发明涉及空气分子污染采样技术，更具体地说，涉及一种空气分子污 染采样辅助器件及采样方法。
背景技术：
空气分子污染AMC采样是半导体制程中的一个重要环节， 一般是通过 一个AMC采样装置对待测试负压腔Exhaust Duct Chamber中的环境进行 采样，获取AMC参数。
通常，在AMC采样装置中有一个泵，能将环境样本抽到AMC采样装 置中进行检验，但是一般而言，待测试负压腔接近真空，压力很低，通常在 -1800Pa左右，这就给泵的环境样本采集工作带来了很大的困难。由于AMC 采样装置中的泵不可能是很大型的，因此会遇到无法抽取环境样本的情况。
发明内容
本发明旨在提供一种AMC采样辅助期间以及采样方法，将AMC采样 装置置于与待测试负压腔同等压力的环境中，从而消除压力差，使得泵能供 方^f更地抽取环境样本。
本发明的第 一方面，提供一种空气分子污染AMC采样辅助器件，与AMC 采样装置结合使用，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环 境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等 压的环境中对AMC进行采样。
该AMC辅助器件包括 一密闭容器，用于放置该AMC采样装置；以 及一连接管道，连接至该待测试负压腔内部，使该密闭容器的内部与该待测 试负压腔内部等压。
其中，该AMC采样装置的采样管穿过连接管道到达待测试负压腔的内 部进行AMC采样。通常，该连接管道的直径大于该AMC采样装置的采样管。
在一个实施例中，该AMC采样装置还包括一接口部件，该AMC采样 辅助装置通过该接口部件与待测试负压腔相连接。
根据本发明的第二方面，提供一种对新材料空气分子污染AMC采样方 法，该方法提供一与密闭常压的环境，在与密闭常压的环境中对AMC进行 釆样，得到参考数据。
根据一实施例，该AMC釆样方法，包括提供一密闭容器，在该密闭 容器中放置AMC采样装置；以及提供一连接管道，连接该待测试负压腔内 部与该密闭容器内部，使该待测试负压腔内部与该密闭容器内部等压。
其中，将AMC采样装置的采样管穿过所述连接管道到达待测试负压腔 的内部进行AMC采样。通常，该连接管道的直径大于该AMC采样装置的 采样管。
在一个实施例中，将该AMC采样辅助装置通过一接口部件与待测试负 压腔相连接。
采用本发明的技术方案，使得AMC采样装置能在与待测试负压腔同等 压力的环境中进行釆样，消除了压力差对AMC采样装置带来的影响，提高 了采样的准确度。
本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图对实 施例的描述而变得更加明显，在附图中，相同的附图标记始终表示相同的特 征，其中
图1示出了利用本发明的AMC采样辅助器件辅助AMC采样装置进行 采样。
图2示出了根据本发明的 一 实施例的AMC采样方法的流程图。
具体实施例方式
本发明的主要目的是给AMC采样装置提供一个与待测试负压腔等压的 环境，使得压力差对于泵的影响能被消除。
参考图1所示，本发明的一方面提供一种空气分子污染AMC采样辅助 器件100,该AMC采样辅助器件100与AMC釆样装置200结合使用，该 AMC采样辅助器件100提供一与待测试负压腔300等压的环境，该AMC 采样装置200置于该AMC采样辅助器件100中，在与待测试负压腔300等 压的环境中对AMC进行采样。
参考图1所示的实施例，该AMC辅助器件100包括
一密闭容器102,用于放置该AMC采样装置200;
一连接管道104,连接至该待测试负压腔300内部，使该密闭容器102 的内部与该待测试负压腔300内部等压。
该AMC采样装置200的采样管202穿过连接管道104到达待测试负压 腔300的内部进行AMC釆样。 一般而言，连接管道104的直径大于AMC 采样装置200的采样管202。通常，连接管道104的直径越大，越容易创造 待测试负压腔300内部与AMC辅助器件内部的等压环境。
同样，在图1所示的实施例中，该AMC采样辅助装置100还包括一接 口部件106,该AMC采样辅助装置100通过该接口部件106与待测试负压 腔300相连接。具体而言，就是在待测试负压腔300的侧壁上打开一个开 孔，由该接口部件106实现对于该开孔的密封。然后连接管道104通过该 接口部件106进入到待测试负压腔300的内部，建立待测试负压腔300内 部与AMC采样辅助装置100内部的连通通路，实现两者的等压。
这样，AMC采样装置200就能在与待测试负压腔300等压的环境下工 作，进行AMC采样。由于压力差已经消除，此时AMC采样装置200内的 泵的工作压力将下降许多，大大改善泵的工作状况，提高采样的准确度。
利用上面的图1所示的AMC采样辅助装置，本发明还提供一种对新材 料AMC采样方法，图2示出了根据本发明的一实施例的AMC采样方法400 的流程图，该方法包括
提供一与密闭常压的环境，在与密闭常压的环境中对AMC进行采样， 得到参考数据。
正如上面所说的，当利用图1所示的AMC采样辅助装置100时，该方 法进一步包括
402.提供一密闭容器，在该密闭容器中放置AMC采样装置；
404.提供一连接管道，连接该待测试负压腔内部与该密闭容器内部， 使该待测试负压腔内部与该密闭容器内部等压。
406.将AMC采样装置的采样管穿过连接管道到达待测试负压腔的内 部进行AMC采样。
其中，该连接管道的直径大于该AMC采样装置的采样管。通常，连接 管道的直径越大，越容易创造待测试负压腔内部与AMC辅助器件内部的等 压环境。
同样的，在图2所示的方法400中，同样是将该AMC采样辅助装置通 过一接口部件与待测试负压腔相连接。
采用本发明的技术方案，使得AMC采样装置能在与待测试负压腔同等 压力的环境中进行采样，消除了压力差对AMC采样装置带来的影响，提高 了采样的准确度。
上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本发明的，熟悉 本领域的人员可在不脱离本发明的发明思想的情况下，对上述实施例做出种 种修改或变化，因而本发明的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符 合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
权利要求
1.一种空气分子污染AMC采样辅助器件，与AMC采样装置结合使用，其特征在于，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样。
2. 如权利要求1所述的AMC采样辅助器件，其特征在于，该AMC辅 助器件包括一密闭容器，用于放置该AMC采样装置；一连接管道，连接至该除尘腔内部，使该密闭容器的内部与该待测试负 压腔内部等压。
3. 如权利要求2所述的AMC采样辅助器件，其特征在于，所述AMC采样装置的采样管穿过所述连接管道到达待测试负压腔的内 部进行AMC采样。
4. 如权利要求3所述的AMC釆样辅助装置，其特征在于， 该连接管道的直径大于该AMC采样装置的采样管。
5. 如权利要求2-4中任一项所述的AMC采样辅助装置，其特征在于， 还包括一接口部件，该AMC采样辅助装置通过该接口部件与待测试负压腔 相连4妄。
6. —种空气分子污染AMC采样方法，其特征在于，提供一与待测试负 压腔等压的环境，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样。
7. 如权利要求6所述的AMC采样方法，其特征在于，包括 提供一密闭容器，在该密闭容器中放置AMC采样装置； 提供一连接管道，连接该待测试负压腔内部与该密闭容器内部，使该待 测试负压腔内部与该密闭容器内部等压。
8. 如权利要求7所述的AMC采样方法，其特征在于，将AMC采样装置的采样管穿过所述连接管道到达待测试负压腔的内部 进行AMC采样。
9. 如权利要求8所述的AMC采样方法，其特征在于， 该连接管道的直径大于该AMC采样装置的采样管。
10. 如权利要求7-9中任一项所述的AMC采样方法，其特征在于，将 该AMC采样辅助装置通过一接口部件与待测试负压腔相连接。
全文摘要
本发明揭示了一种空气分子污染(AMC)采样辅助器件，与AMC采样装置结合使用，该AMC采样辅助器件提供一与待测试负压腔等压的环境，该AMC采样装置置于该AMC采样辅助器件中，在与待测试负压腔等压的环境中对AMC进行采样。本发明还提供一种对某种新材料空气分子污染AMC采样方法。采用本发明的技术方案，使得AMC采样装置能在与待测试负压腔同等压力的环境中进行采样，消除了压力差对AMC采样装置带来的影响，提高了采样的准确度。
文档编号G01N1/24GK101373171SQ200710045078
公开日2009年2月25日 申请日期2007年8月21日 优先权日2007年8月21日
发明者勇 丁, 周金锋, 柳 桂, 陈华勇 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司