电致发光显示装置的缺陷检查方法及装置、以及制造方法技术资料下载

技术编号:6130439

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本发明涉及各像素中具有电致发光元件的显示装置的电致发光元件 所引起的缺陷、或对电致发光元件进行驱动的晶体管所引起的缺陷的检 查。背景技术在各像素的显示元件中采用了作为自发光元件的电致发光元件(以下称为EL元件)的EL显示装置,作为下一代平面显示装置而被期待,正 在进行研究开发。这种EL显示装置,在作成了于玻璃或塑料等的基板上形成EL元件 以及按每个像素驱动该EL元件用的薄膜晶体管(TFT)等的EL面板之后, 经过几次检查,作为产品出厂。在目前的EL显示装置...
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