技术编号:6133846
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用电容-时间(下面称为C~t)测定法评价半导体元件分离缺陷的测试结构及测试方法,该C~t测定法用于评价近年来向高集成化发展的半导体器件的元件分离结构。近年来,在向高集成化发展的半导体器件中,元件分离结构的开发起着重要的作用。元件分离结构是为了在半导体芯片上形成半导体集成电路而把各元件间分离开用的结构。附图说明图11是表示晶片及在晶片上形成的半导体芯片与评价在半导体芯片2上形成的元件分离结构用的探针的关系的俯视图。图11中,1为晶片,2为在晶片1...
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