技术编号:6135481
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及气体传感器技术。已有的半导体气体传感器,以其灵敏度高,响应和恢复快,制作工艺简单,价格便宜等优点,被广泛应用在军事、工业、农业以及环境等领域。但已有的半导体气体传感器还存在一些缺点,如气体选择性差,在被测气氛中受环境气氛的温度、成份,湿度和气压等因素的影响,使得其稳定性和可靠性都不理想。本实用新型的目的,就是提供一种既有好的稳定性,又有好的可靠性和选择性的,真空微电子气体传感器。真空微电子器件具有快速响应,开关速度和工作频率高,抗辐射能力强,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。