托盘传送臂、换载装置和处理方法及集成电路试验装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6138904

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本发明涉及用于把半导体集成电路器件(以下,简称为IC)进行试验的IC试验装置,特别是涉及托盘传送臂以及使用了托盘传送臂的托盘的换载装置、IC试验装置以及托盘的处理方法。在被称为信息处理机(handler)的IC试验装置中,把被收容到托盘中的多片IC搬运到试验装置内,使得IC电接触试验头,在IC试验装置本体中进行试验。而且,如果结束试验则从试验头搬出各IC,通过换载到对应于试验结果的托盘中,进行合格品和不合格品种类的分类。在以往的IC试验装置,由于用于收容试...
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