专利名称：托盘传送臂、换载装置和处理方法及集成电路试验装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于把半导体集成电路器件(以下，简称为IC)进行试验的IC试验装置，特别是涉及托盘传送臂以及使用了托盘传送臂的托盘的换载装置、IC试验装置以及托盘的处理方法。
在被称为信息处理机(handler)的IC试验装置中，把被收容到托盘中的多片IC搬运到试验装置内，使得IC电接触试验头，在IC试验装置本体中进行试验。而且，如果结束试验则从试验头搬出各IC，通过换载到对应于试验结果的托盘中，进行合格品和不合格品种类的分类。
在以往的IC试验装置，由于用于收容试验前的IC或试验完毕的IC的托盘(以下，也称为标准托盘)与在IC试验装置内传送的托盘(以下，也称为试验托盘)不同，因此在进行试验之前以及结束了试验时要进行IC的换载。
另外，在把结束了试验的IC从试验托盘换载到标准托盘的情况下，要按照称为合格品，不合格品的类型准备空的标准托盘，从试验托盘把IC换载到空托盘中，而如果标准托盘满载，则需要将其搬出，准备新的空托盘。因此，在IC试验装置中安装了被称为托盘传送臂的装置。
然而，在以往的IC试验装置中，需要进行多次搬出满载的标准托盘至设置空托盘的动作行程，特别是由于设置下一个空托盘成为最终的行程，因此IC的换载动作在该期间停止，存在着生产率(信息处理机单位时间的处理个数)降低的问题。
本发明是鉴于这样以往技术的问题点而产生的，目的在于提供减少托盘交换时的动作行程，能够提高生产率的托盘传送臂以及使用了托盘传送臂的托盘的换载装置，IC试验装置以及托盘的处理方法。
托盘传送臂(1-1)为达到上述目的，依据本发明的第1个观点，提供托盘传送臂，该托盘传送臂的特征在于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元。
本发明的托盘传送臂中，由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在交换托盘时，能够在固定位置进行托盘的搬出动作和托盘的搬入动作，在托盘的搬出动作与托盘的搬入动作期间能够省略使托盘传送臂自身沿着横方向移动的动作。从而，在节省托盘交换时的动作行程的同时，由于能够在搬出托盘以后立即搬入别的托盘，因此能够格外地提高IC等向托盘的换载作业的生产率。另外，本发明的托盘传送臂中，由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在IC试验装置中使用的情况特别扩大了水平方向的可移动范围。
(1-2)在上述发明中，可以构成为上述一对托盘收容单元同时移动，然而最好是具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。
这样，能够同时进行托盘的搬出动作和下一个托盘的搬入动作，能够进一步减少托盘交换时的动作行程，同时进一步提高IC等的换载作业的生产率。
(1-3)另外，在上述发明中，虽然上述一对托盘收容单元的构造没有特别的限定，然而可以构成为使得面向相同的方向收容托盘，更理想的是相互背对地设置上述一对托盘收容单元。
这里所谓的「托盘收容单元的背对」意味着构成该托盘收容单元使得收容托盘时托盘对于托盘收容单元的移动方向相对，在把一对托盘收容单元设置为上下方向的情况下，对于上侧的托盘收容单元从上向下收容托盘，对于下侧的托盘收容单元从下向上收容托盘。
这样，能够与其它动作无关地同时进行把要搬出的托盘收容到下侧的托盘收容单元的动作以及把要搬入的托盘从上侧的托盘收容单元搬入到搬入位置的动作，能够进一步减少托盘交换时的动作行程，同时能够进一步提高IC等的交换作业的生产率。
托盘的换载装置(2-1)另外，为达到上述目的，依据本发明的第2个观点，提供托盘的换载装置，在把被设置到第1位置的第1托盘换载到第2位置，把被设置到第3位置的第2托盘换载到上述第1位置的托盘的换载装置中，特征在于具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1以及第2托盘的至少一对托盘收容单元，并且设置成上述一对托盘收容单元能够基本上沿着上下方向移动的托盘传送装置。
本发明的托盘传送装置，由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在交换托盘时，首先使被设置在第3位置的第2托盘收容在上下一方的托盘收容单元中移动到交换位置，在这里把被设置到第1位置的第1托盘收容在上下另一方的托盘收容单元以后，把设置在上下一方的托盘收容单元中的第2托盘设置到第1位置。
这样，由于在第1托盘的搬出动作与第2托盘的搬入动作期间不需要托盘传送装置沿横方向移动的动作，因此减少了托盘交换时的动作行程，由于能够在从第1位置搬出了第1托盘以后立即把第2托盘搬入到第1位置，因此能够格外地提高IC等向托盘换载作业的生产率。另外，本发明的托盘传送装置由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此把本发明的托盘换载装置应用到IC试验装置的情况下，能够特别地扩大水平方向的可移动范围。
(2-2)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好还具有装载被设置到上述第1位置的第1托盘使其基本上沿着上下方向移动的托盘升降装置。
即，使用托盘升降装置使被设置到第1位置的第1托盘沿着上下方向移动，在该期间把被收容到托盘传送臂的某一方的托盘收容单元中的第2托盘设置到第1位置。
由此，进一步缩短第1位置中的托盘交换时间，格外地提高IC等向托盘的换载作业的生产率。
(2-3)在上述发明中，虽然第1～第3位置的位置关系没有特别的限定，然而也可以使所有的位置都位于相同的水平面上，例如，上述第2位置以及上述第3位置分别对于上述第1位置至少基本上位于其上方，下方或者水平方向的某一个位置。
(2-4)在上述发明中，虽然第1～第3位置的具体结构没有特别的限定，然而作为其一个例子，上述第1位置是托盘的卸载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是搭载结束了试验的被试验IC的托盘，上述第2托盘是空托盘。
(2-5)另外，作为其它的例子，上述第1位置是托盘的装载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是结束了被试验IC的换载的空托盘，上述第2托盘是搭载了试验前的被试验IC的托盘。
(2-6)本发明中，虽然没有特别的限定，然而最好还具有把上述第2托盘装载在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中的托盘设置装置。
通过设置这样的托盘设置装置，由于减少托盘传送臂自身的动作行程，所以将加快托盘的交换速度，提高生产率。
IC试验装置(3-1)为达到上述目的，依据本发明的第3个观点，提供IC试验装置，在把搭载了被试验IC的第1种托盘投入到装载机中，把上述被试验IC换载到被搬运到试验工艺中的第2种托盘中，把上述第2种托盘投入到上述工程试验工艺中把上述被试验IC进行试验的同时在上述每个被试验IC中存储其试验结果，把结束了上述试验的第2种托盘取出到卸载机中，根据上述试验结果把上述被试验IC从上述第2种托盘换载到上述第1种托盘的同时，在上述卸载机中，把结束了被试验IC从上述第2种托盘的换载的第1种托盘从该卸载机中取出的同时，把其它的第1种托盘投入到该卸载机中的IC试验装置中，特征在于具有基本上沿着上下方向设置了能够收容上述第1种托盘的一对托盘收容单元的托盘传送装置。
本发明的托盘传送装置由于基本上沿着上下方向设置了一对托盘收容单元，因此在卸载机中交换第1种托盘时，首先把其它第1种托盘收容在上下一方的托盘收容单元中移动到卸载机，在这里把被设置到卸载机中的第1种托盘收容在其它上下另一方的托盘收容单元的同时，把该收容到上下一方的托盘收容单元中的另一第1种托盘设置到卸载机中。
这样，由于在第1种托盘的搬出动作和搬入动作期间不需要使托盘传送装置沿横方向动作，因此减少托盘交换时的动作行程，同时由于能够把第1种托盘从卸载机中搬出以后立即把其它第1种托盘搬入到卸载机中，因此能够格外地提高IC等从第2种托盘向第1种托盘换载作业的生产率。
(3-2)在上述发明中，可以构成为托盘传送装置的上述一对托盘收容单元同时移动，然而最好还具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。
这样，能够同时进行托盘的搬出动作和下一个托盘的搬入动作，能够进一步减少托盘交换时的动作行程，同时能够进一步提高IC等换载作业的生产率。
(3-3)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好具有装载上述被设置到上述卸载机中的第1种托盘使其沿着上下方向移动的托盘升降装置。
即，使用托盘升降装置使被设置到卸载机中的第1种托盘沿着上下方向移动，在该期间把被收容在托盘传送装置的某一方的托盘收容单元中的其它第1种托盘设置到卸载机中。
由此，进一步缩短卸载机中的托盘交换时间，格外地提高IC等从第2种托盘向第1种托盘的换载作业的生产率。
(3-4)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好还具有把上述另一第1种托盘装载在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中的托盘设置装置。
通过设置这样的托盘设置装置，由于减少托盘传送装置自身的动作行程，因此将加快托盘的交换速度，提高生产率。
(3-5)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好在上述卸载机中设置保持上述第1种托盘的保持装置。
通过设置这样的保持装置，能够在把第1种托盘设置在卸载机上的状态下使上述托盘升降装置自由地移动，能够使该托盘升降装置与托盘传送装置同时进行动作，因此能够进一步减少动作行程。
(3-6)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好基本上沿着水平方向设置多对上述卸载机，沿着上述水平方向基本上以与上述卸载机相同的节距设置多对上述托盘传送装置的托盘收容单元。
通过把卸载机的节距与托盘传送装置的节距取为相同，能够同时进行托盘对于卸载机的送入或取出，能够进一步减少动作行程。
(3-7)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好在上述托盘传送装置的托盘收容单元的任一方中能够暂时收容上述卸载机中的被试验IC换载过程中的上述第1种托盘。
在IC试验装置，能够在卸载机中配置的托盘数目有限，限制了能够实时分类的类型数目。从而，在产生了被分类为配置到卸载机中的托盘类型以外的类型的被试验IC的情况下，需要中断分类作业，临时进行当前被设置在卸载机中的托盘与其类型托盘的更换，从而降低了生产率。
然而，如本发明这样，通过在托盘传送装置中暂时收容卸载机的换载过程中的托盘，与向原来位置的传送相比较，由于缩短动作行程以及动作距离，因此能够进一步提高托盘的交换速度。
(4-1)为达到上述目的，依据本发明的第3个观点，提供IC试验装置，在把搭载了被试验IC的第1种托盘投入到装载机中，把上述被试验IC换载到被搬运到试验工艺中的第2种托盘中，把上述第2种托盘投入到上述工程试验工艺中把上述被试验IC进行试验的同时在上述每个被试验IC中存储其试验结果，把结束了上述试验的第2种托盘取出到卸载机中，根据上述试验结果把上述被试验IC从上述第2种托盘换载到上述第1种托盘的同时，在上述装载机中，把结束了被试验IC向上述第2种托盘的换载的第1种托盘从该卸载机中取出的同时，把搭载了此后要进行试验的被试验IC的第1种托盘投入到该装载机中的IC试验装置中，特征在于具有基本上沿着上下方向设置了能够收容上述第1种托盘的一对托盘收容单元的托盘传送装置。
本发明的托盘传送装置由于基本上沿着上下方向设置了一对托盘收容单元，因此在装载机中交换第1种托盘时，首先把此后要进行试验的第1种托盘收容在上下一方的托盘收容单元中移动到装载机，在这里把被设置到装载机中的第1种托盘收容在其它上下另一方的托盘收容单元以后，把该被收容到上下一方的托盘收容单元中的第1种托盘设置到装载机中。
这样，由于在第1种托盘的搬出动作和搬入动作期间不需要使托盘传送装置沿横方向动作，因此减少托盘交换时的动作行程，同时由于能够把第1种托盘从装载机中搬出以后立即把另一第1种托盘搬入到装载机中，因此能够格外地提高IC等从第1种托盘向第2种托盘换载作业的生产率。
(4-2)在上述发明中，可以构成为托盘传送装置的上述一对托盘收容单元同时移动，然而最好还具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。
这样，能够同时进行托盘的搬出动作和下一个托盘的搬入动作，能够进一步减少托盘交换时的动作行程，同时能够进一步提高IC等换载作业的生产率。
(4-3)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好具有装载上述被设置到上述装载机中的第1种托盘使其沿着上下方向移动的托盘升降装置。
即，使用托盘升降装置使得被设置到装载机中的第1种托盘沿着上下方向移动，在该期间把被收容在托盘传送装置的某一方的托盘收容单元中的另一第1种托盘设置到装载机中。
由此，进一步缩短装载机中的托盘交换时间，格外地提高IC等从第1种托盘向第2种托盘的换载作业的生产率。
(4-4)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好还具有把搭载了此后要进行试验的被试验IC的第1种托盘装载在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中的托盘设置装置。
通过设置这样的托盘设置装置，由于减少托盘传送装置自身的动作行程，因此将加快托盘的交换速度，提高生产率。
(4-5)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好在上述装载机中设置保持上述第1种托盘的保持装置。
通过设置这样的保持装置，能够在把第1种托盘设置在装载机上的状态下使上述托盘设置装置自由地移动，能够使该托盘设置装置与托盘传送装置同时进行动作，因此能够进一步减少动作行程。
(4-6)在上述发明中，虽然没有特别的限定，然而最好基本上沿着水平方向设置多对上述装载机，沿着上述水平方向基本上以与上述装载机相同的节距设置多对上述托盘传送装置的托盘收容单元。
通过把装载机的节距与托盘传送装置的节距取为相同，能够同时进行托盘对于装载机的送入或取出，能够进一步减少动作行程。
(4-7)在上述第3以及第4个观点的发明中，最好还具有检测第1种托盘是否被收容在上述托盘收容单元中的传感器。托盘的处理方法(5-1)为达到上述目的，依据本发明的第5个观点，提供托盘的处理方法，在把被设置到第1位置的第1托盘移动到对于上述第1位置基本上至少位于其下方的第2位置以后，把被设置在对于上述第1位置至少基本上位于其下方的第3位置的第2托盘移动到上述第1位置的托盘的处理方法中，特征在于在上述第1位置和上述第2或者第3位置之间设置的基本上沿着上下方向能够至少收容2个托盘的托盘传送臂的上述托盘收容单元中，收容上述第2托盘，与下侧的托盘收容单元一起移动到上述第1位置，把上述第1托盘收容在上述下侧的托盘收容单元的同时使上述上侧的托盘收容单元向上方移动，把被收容在该托盘收容单元的上述第2托盘设置在上述第1位置。
本发明的托盘传送臂由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在第1位置交换托盘时，首先把被设置在第3位置的第2托盘收容在上下一方的托盘收容单元中移动到第1位置，在这里把被设置到第1位置的第1托盘收容在上下另一方的托盘收容单元以后，把被收容在上下一方的托盘收容单元的第2托盘设置在第1位置。
这样，由于在第1位置的第1托盘的搬出动作与第2托盘的搬入动作之间不需要使托盘传送臂向横方向移动的动作，因此减少托盘交换时的动作行程，同时由于能够在把第1托盘从第1位置搬出以后立即把第2托盘搬入到第1位置，因此能够格外地提高IC等向该第1托盘的换载作业的生产率。
(5-2)在上述发明的托盘的处理方法中，该第1位置的第1托盘与第2位置的第2托盘或者第3位置的第3托盘临时进行交换的情况下，在上述的托盘传送臂的托盘收容单元的任一方中暂时收容上述第1托盘，把第2或第3托盘设置在上述第1位置的同时，从该第1位置取出了上述第2或第3托盘以后，把被收容在上述托盘收容单元中的上述第1托盘再次设置到上述第1位置。
通过把第1位置中的换载过程中的托盘暂时收容在托盘传送臂的托盘收容单元中，与原来的向第2或第3位置的传送相比较，由于缩短动作行程以及动作距离，因此进一步提高托盘的交换速度。
图1是示出本发明的IC试验装置实施例的斜视图。
图2是示出图1所示的IC试验装置中的托盘的处理方法的概念图。
图3是示出图1所示的IC试验装置中使用的试验托盘的部分分解斜视图。
图4是用于说明图3所示的试验托盘中的被试验IC的安装状态的斜视图。
图5是用于说明图1所示的IC试验装置的试验腔中的被试验IC与试验头电接触状态的剖面图。
图6是用于说明图1所示的IC试验装置的试验腔中的被试验IC的试验顺序的平面图。
图7是示出图1所示的IC试验装置的IC储料器的构造的斜视图。
图8是示出图1所示的IC试验装置中使用的标准托盘的斜视图。
图9是示出图1所示的IC试验装置中使用的托盘传送臂的斜视图。
图10是图1的XX-XX线的剖面图。
图11是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图12是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图13是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图14是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图15是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图16是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图17是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图18是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图19是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图20是用于说明本发明第1实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图21是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图22是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图23是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图24是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图25是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图26是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图27是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图28是用于说明本发明第2实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图29是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图30是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图31是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图32是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图33是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图34是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图35是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图36是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
图37是用于说明本发明第3实施例中的托盘的处理方法的与图10相当的剖面图。
以下，根据
本发明的实施例。
第1实施例图1是示出IC试验装置的部分斜剖视图，图2是示出托盘的处理方法的概念图。另外，图2是用于理解本实施例的IC试验装置中的托盘的处理方法的图，基本上还具有平面地示出的沿着上下方向并排设置的部件的部分。从而，参照图1说明其机械的(三维的)构造。
本实施例的IC试验装置1如图1以及图2所示，由包含试验头的腔室100，存放此后要进行试验的被试验IC或者把试验完毕的IC进行分类存放的IC存放单元200，把被试验IC送入到腔室100中的装载机300，把在腔室100中进行了试验的试验完毕的IC分类并取出的卸载机400构成。
腔室100该IC试验装置1是在向IC提供高温或者低温的温度应力的状态下试验(检查)IC是否适宜地进行动作，并且根据该试验结果把IC进行分类的装置，在这样的提供了温度应力状态下的动作试验，把被试验IC从搭载了多个作为试验对象的被试验IC的托盘(以下，也称为标准托盘KST)换载到被搬运到该IC试验装置1内的试验托盘TST后进行。
该试验托盘TST在装载机300中放入被试验IC以后送入到腔室100内，在被搭载到该试验托盘TST的状态下在腔室100中进行各被试验IC的试验。而且，试验完毕的被试验IC运出到卸载机400中以后，在该卸载机400中各被试验IC换载到对应于试验结果的标准托盘KST中。
腔室100由向被放入试验托盘TST中的被试验IC上提供所需要的高温或者低温的温度应力的恒温槽101，使处于由该恒温槽101提供了热应力的状态下的被试验IC接触试验头的试验腔102，从在试验腔102中被试验了的被试验IC去除所提供的热应力的除热槽103构成。
在除热槽103中，在恒温槽101中加入了高温的情况下，通过送风冷却被试验IC使其返回室温，另外在恒温槽101中例如加入-30℃左右的低温的情况下，用温风或者加热器加热被试验IC使其返回到不结霜程度的温度。而且，把该被除热了的被试验IC搬出到卸载机400中。
如图1所示，腔室100的恒温槽101以及除热槽103设置成突出到试验腔102的上方。这里，试验托盘TST在装载机300中放入被试验IC，搬入到恒温槽101中。在恒温槽101中设置着垂直搬运装置，使用该垂直搬运装置，在支撑多个试验托盘TST的状态下待机，直到试验腔102空出为止。而且，在该待机过程中向被试验IC上提供高温或者低温的温度应力。
试验腔102中，其中央部位配置着试验头104，通过把试验托盘TST搬运到试验头104的上面，使被试验IC电接触试验头104进行试验。结束了试验的试验托盘TST用除热槽103除热，在IC的温度返回到室温以后，排出到卸载机400中。
另外，在恒温槽101和除热槽103的上部之间，如图1所示插入底板105，在该底板105上安装着试验托盘搬运装置108，通过设置在该底板105上的试验托盘搬运装置108，从除热槽103排出的试验托盘TST经过卸载机400以及装载机300被返送到恒温槽101中。
图3是示出本实施例中使用的试验托盘TST的构造的分解斜视图，该试验托盘TST在矩形的框架12上平行而且等间隔的设置多个格棂13，这些格棂13的两侧以及与格棂13相对的框架12的边12a上分别等间隔地突出形成着多个承载片14。这些格棂13之间的空间以及格棂13和边12a之间的空间和2片承载片14构成载体收容单元15。
各载体收容单元15中，分别收容一个IC载体16。该IC载体16使用挂钩17以悬浮的状态安装在两片承载片14上。因此，在IC载体16的两个端部，分别形成着对于承载片14的安装孔21，定位销插入孔22。这样的IC载体16例如在一个试验托盘TST上安装着16×4个左右。
另外，IC载体16取为相同的形状以及相同的尺寸，在各个IC载体16上收容被试验IC。IC载体16的IC收容单元19根据所收容的被试验IC的形状决定，本实施例中如图3所示取为矩形的凹部。
另外，在IC载体16上，为了防止被收容在该IC载体16中的被试验IC的错位以及脱离，例如设置着如图4所示那样的闩23。从IC收容单元19的底面起面向上一体地形成该闩23，利用构成IC载体16的树脂材料的弹性，在把被试验IC收容到IC收容单元19中或者从IC收容单元19取出时，使用与吸附头24一起移动的闩释放机构25扩展两个闩23的间隔，由此进行被试验IC的收容或者取出。而且，如果闩23脱离闩释放机构25，则该闩23依靠其弹性力返回到原来的状态，因此保持被收容的被试验IC不会产生错位和脱离。
IC载体16如图5所示，保持被试验IC使得被试验IC的端子管脚18露出到下面一侧。在试验头104中，把该露出来的被试验IC的管脚18压向IC插座的接点26，使被试验IC电接触试验头104。因此在试验头104的上部设置着用于把被试验IC向下方按压的按压件20。
这里，同时连接到试验头104上的被试验IC，如图6所示如果是排列成4行×16列的被试验IC，则例如每隔4列同时进行4行(用斜线所示的部分)被试验IC的试验。即，在第1次试验中，把配置在1、5、9、13列的16个被试验IC接触到试验头104进行试验，在第2次试验中，使试验托盘TST移动1列，把配置在2、6、10、14列的被试验IC进行同样的试验，通过反复4次该动作把所有的被试验IC进行试验。其试验的结果存储在添加到试验托盘TST上的例如试验编号、在试验托盘TST内部分配的被试验IC的号码所决定的地址中。另外，本发明中，在这样顺序的试验方法中并没有特别的限定，也可以用其它的顺序进行试验。
IC存放单元200在IC存放单元200中，设置着存放试验前的被试验IC的试验前IC储料器201以及存放根据试验的结果被分类的被试验IC的试验完毕IC储料器202。
试验前IC储料器201以及试验完毕IC储料器202如图7所示，构成为具有框形的托盘支撑框203，从该托盘支撑框203的下方进入并且能够向上方升降的升降机204。托盘支撑框203中重叠支撑着多个图8的放大图所示的标准托盘KST，这些被重叠的标准托盘KST通过升降机204上下移动。
而且，在试验前IC储料器201中，迭层并保持着存放了此后要进行试验的被试验IC的标准托盘KST，另一方面在试验完毕IC储料器202中迭层并保持着把结束了试验的被试验IC进行适宜分配的标准托盘KST。
另外，由于这些试验前IC储料器201和试验完毕IC储料器202做成相同的构造，因此能够根据需要适宜地设置试验前IC储料器201和试验完毕IC储料器202各自的数目。在图1以及图2所示的例中，在试验前储料器201中设置2个储料器STK-B，另外在其旁边设置2个向卸载机400传送的空储料器STK-E，同时在试验完毕IC储料器202中设置8个储料器STK-1，STK-2、……，STK-8，构成为能够根据试验结果最大分为8种类型并且进行存放。即，除去合格品以及不合格品以外，在合格品中还分为动作速度为高速，中速，低速的产品，在不合格品中分为需要再次进行试验的产品等。
装载机300上述的标准托盘KST被传运到装载机300，在该装载机300中，被放入标准托盘KST的被试验IC换载到停止在装载机300处的试验托盘TST上。
作为被试验IC从标准托盘KST换载到试验托盘TST的IC搬运装置，使用X-Y搬运装置304，该搬运装置304如图1所示，具有架设在底板105的上部的2条导轨301，通过这2条导轨301能够在标准托盘KST与试验托盘TST之间往复(把该方向取为Y方向)的可动臂302，由该可动臂302支撑并且能够沿着可动臂302在X方向移动的可动头303。
在该X-Y搬运装置304的可动头303上头朝下地安装着吸附头，通过该吸附头边吸引空气边移动，从标准托盘KST吸附被试验IC，把该被试验IC换载到试验托盘TST上。对于可动头303例如安装着8个这样的吸附头，能够一次把8个被试验IC换载到试验头TST上。
另外，在一般的标准托盘KST中由于比被试验IC的形状稍大地形成用于保持被试验IC的凹部，因此被存放在标准托盘KST的状态下的被试验IC的位置具有较大的分散性。从而，如果在该状态下把被试验IC吸附到吸附头上，直接搬运到试验托盘TST，则难以正确地落入到形成在试验托盘TST上的IC收容凹部中。
因此，在本实施例的IC试验装置中，在标准托盘KST的设置位置与试验托盘TST之间设置被称为位置预修正件305的IC的位置修正装置。该位置预修正件305具有比较深的凹部，由于做成用倾斜面包围该凹部的周缘的形状，因此如果该吸附到吸附头上的被试验IC落入到该凹部中，则用倾斜面修正被试验IC的落下位置。由此，通过把8个被试验IC的相互位置正确地定位，把被修正了位置的被试验IC再次用吸附头吸附换载到试验托盘TST上，能够高精度地把被试验IC换载到形成在试验托盘TST上的IC收容凹部中。
图10是沿着图1的XX-XX线的剖面图，是底板105、后述的托盘传送臂205以及IC存放单元200的纵剖面图。如该图所示，在装载机300的底板105上开设了一对窗口306、306，这一对窗口配置为使得被搬运到该装载机300的标准托盘KST与底板105的上表面相对。另外，这些窗口306的每一个中设置着用于保持被搬运到该窗口306中的标准托盘KST的保持钩306a，借助窗口306在标准托盘KST的上表面与底板105的表面相对的位置保持标准托盘KST。
另外，在各个窗口306的下侧设置用于使标准托盘KST升降的升降台307，用该升降台307运载着换载了试验前的被试验IC后成为空的标准托盘KST下降，把该空托盘传送到托盘传送臂205的下侧托盘收容单元中。
卸载机400卸载机400中也设置着与被设置在装载机300中的X-Y搬运装置304相同构造的X-Y搬运装置404、404。使用该X-Y搬运装置404、404，把试验完毕的被试验IC从被搬出到卸载机400中的试验托盘TST换载到标准托盘KST中。
如图10的底板105、托盘传送臂205以及IC存储单元200的纵剖面图所示，在卸载机400的底板105上开设着2对窗口406、406，配置为使得被传送到该卸载机400中的标准托盘KST面临底板105的上表面。另外，这些窗口406的每一个设置着用于保持被传运到该窗口406的标准托盘KST的保持钩406a，借助窗口406在标准托盘KST的上表面与底板105的表面相对的位置处保持标准托盘KST。保持钩406a的具体结构没有特别的限定，例如可以机械地抓住标准托盘KST，或者通过吸附装置保持标准托盘KST。
另外，在每一个窗口406的下侧设置着用于使标准托盘KST升降的升降台407，用该升降台407装载被换载了试验完毕的被试验IC并且满载的标准托盘KST下降，把该满载的托盘传送到托盘传送臂205的下侧托盘收容单元中。另外，代替升降台407，也能够通过分别位于窗口406正上方的储料器STK的升降机204进行标准托盘KST的升降。
本实施例的IC试验装置中，虽然能够区分的类型最多是8种，然而在卸载机400的窗口306中仅能够配置最多4个标准托盘KST。从而，能够实施分类的类型被限制为4种。一般，把合格品分类为高速响应器件，中速响应器件，低速响应器件3种类型，在此基础上再加上不合格品共4种类型就很充分，然而有时候也将产生像需要再次进行试验的产品等不属于这些类型的类型。
这样，在产生了被分类为在卸载机400的窗口406上配置的4个标准托盘KST中被分配的类型以外的类型的被试验IC的情况下，从卸载机400使1个标准托盘KST返回到IC存储单元200中，代替该托盘，把要存放新发生的类型的被试验IC的标准托盘KST转送到卸载机400中，存放被试验IC。然而，如果在分类作业的过程中进行标准托盘KST的交换，则其期间必须中断分类作业，从而产生生产率降低的问题。因此，在本实施例的IC试验装置1中，在卸载机400的试验托盘TST与窗口406之间设置缓冲部件405，在该缓冲部件405上暂时存放仅偶尔产生的类型的被试验IC。
例如，使缓冲部件405具有能够存放20～30个被试验IC的容量，同时设置分别存储被存放在缓冲部件405的各IC存放位置的IC类型的存储器，在各被试验IC中预先存储暂时存放在缓冲部件405中的被试验IC的类型和位置。而且，在分类作业的空闲期间或者缓冲部件405满载的时刻，从IC存放单元200调出存放在缓冲部件405中的被试验IC所属类型的标准托盘KST，在该标准托盘KST中进行存放。这时，虽然也有被暂时存放在缓冲部件405中的被试验IC遍及多种类型的情况，但在这样的时候，在调出标准托盘KST时可以一次把多个标准托盘KST调出到卸载机400的窗口406中。
托盘传送臂205如图1所示，在被试验IC储料器201以及试验完毕IC储料器202的上部与底板185之间，设置着在被试验IC储料器201与试验完毕IC储料器202排列方向的整个范围移动的托盘传送臂205。本实施例中，由于在被试验IC储料器201以及试验完毕IC储料器202的正上方(不偏离Y轴方向)设置装载机300以及卸载机400的窗口306、406，因此托盘传送臂205只能够沿着X轴以及Y轴方向移动。另外，通过IC存放单元200和装载机300或者卸载机400的位置关系，还能够使托盘传送臂205沿着X轴，Y轴以及Z轴的所有方向移动。
该托盘传送臂205具有用于把标准托盘KST上下排列并进行保持的一对托盘收容单元205a、205b，在装载机300以及卸载机400和被试验IC储料器201以及试验完毕IC储料器202之间进行标准托盘KST的传送。
图9是示出托盘传送臂205的具体实施例的斜视图，具有通过沿着X方向动作的滚珠31在该X方向移动的底板32，在该底板32的一个主面上，借助沿着Z轴方向延伸的33设置着2片托盘收容板34、35。
位于上侧的托盘收容板34中，固定着被固定在底板32上的第1液压缸36的杆，通过该第1液压缸36动作，托盘收容板34沿线性导轨33在Z方向上移动。另一方面，位于下侧的托盘收容板35上，固定着被固定到底板32上的第2液压缸37的杆，通过该第2液压缸37动作，托盘收容板35沿线性导轨在Z方向上移动。
位于上侧的托盘收容板34的上面，在适宜的位置设置着用于导行标准托盘KST的边缘的导销38，沿着导销38能够保持标准托盘KST。
与此不同，下侧的托盘收容板35由于在其下面保持标准托盘KST，因此设置着保持钩机构39使得该标准托盘KST不落下。该保持钩机构39例如如该图所示，构成为以随液压缸41动作的连接机构42开闭配置在相当于标准托盘KST的4个角部位置的钩40。即，在要保持标准托盘KST时，打开钩40，在保持了标准托盘KST的状态下通过闭合该钩40把标准KST保持在托盘收容板35上。同样，在释放标准托盘KST时，在闭合钩40的状态下移动到所希望的位置，在这里通过打开钩40能够释放标准托盘KST。
另外，在上侧的托盘收容板34以及下侧的托盘收容板35的每一个上，设置用于检测存在/不存在标准托盘KST的接近传感器43。该接近传感器43的检测信号送出到图外的控制装置中。另外，滚珠31的旋转驱动控制，第1以及第2液压缸36、37以及保持钩机构39的液压缸41的控制通过图外的相同的控制装置进行。
在图9所示的例中，在一个底板32上设置着上下一对托盘收容板44、35，然而也能够构成为像图1所示那样，沿着X方向再设置一对托盘收容板34、35，在上下的托盘收容板34、35的每一个中同时各传送2个标准托盘KST。这种情况下，如图10所示，最好把一对托盘收容单元的节距P1，后述的托盘设置装置206的节距P2，装载机300以及卸载机400的窗口306、406的各个节距P3、P4、P5，IC存放单元200的储料器STK的节距P6设置成完全相同。
另一方面，从IC存放单元200中的空托盘储料器STK-E供给向卸载机400传送的空的标准托盘KST，而为了把该收容到该空托盘储料器STK-E中的空托盘设置在托盘传送臂205的上侧的托盘收容单元205a中，如图1以及图10所示那样，设置着托盘设置装置206。
该托盘设置装置206如果从位于正下方的空托盘储料器STK-E通过升降机204送上来空托盘，则通过保持钩206a保持该空托盘。保持钩206a在保持空托盘时闭合，在释放时打开。
另外，本实施例中，在空托盘储料器STK-E的正上方配置了托盘设置装置206，然而并不特别限定于此，也可以位于其它的位置。在其它情况下，由于仅通过升降机204不能够从空托盘储料器STK-E把空托盘传送到托盘设置装置206，因此对于X轴或者Y轴方向需要另外设置使空托盘移动的装置。另外，也可以在装载机300和卸载机400的窗口306、406中实施托盘设置装置206的功能。
另外，本实施例中，在底板32上固定上侧托盘收容板34和下侧托盘收容板35，通过一个滚珠31使2个托盘收容板34、35一起移动，然而本发明的托盘传送臂205并不限定于这种结构，也可以构成为使得上侧托盘收容板34和下侧托盘收容板35分别通过滚珠独立地移动。
其次说明其动作。
图11～图20是与图10相当的剖面图，示出在卸载机400的一对窗口(仅示出一方)中，从IC存放单元200的储料器取出满载的标准托盘KST，并且把空标准托盘KST设置到该窗口406中的一系列的动作。
图11示出在卸载机400的窗口406中设置标准托盘KST，从被搬出到该卸载机400中的试验托盘TST换载试验完毕的被试验IC的阶段。这时，被设置在窗口406中的保持钩406a闭合。
从该状态开始如果被设置到卸载机400的窗口406中的标准托盘KST满载，则该标准托盘KST传送到相对应类型的储料器STK-1～8中，同时把空的标准托盘KST从空托盘储料器STK-E设置到卸载机400的窗口406中。以下示出其顺序。
另外，在以下的例中，以被设置到卸载机400的2个窗口406中的标准托盘KST都满载的情况为例说明本发明，然而即使在任一方的标准托盘KST满载的情况下，也能够仅使用托盘传送臂205相对应一方的托盘收容单元进行同样的动作。
首先，如图12所示，在被设置到卸载机400的窗口406中的标准托盘KST满载之前，使空托盘储料器STK-E的升降机204上升，把被重叠的空的标准托盘KST上升到托盘设置装置206。这时，托盘设置装置206的保持钩206a最初打开，通过升降机204把空的托盘KST设置到托盘设置装置206中而闭合。由此，即使升降机204下降也能够保持空的标准托盘KST。
如果空的标准托盘KST被设置到托盘设置装置206中，则如图13所示，使托盘传送臂205沿着X轴方向移动到托盘设置装置206的正下方，在该位置使第1液压缸36动作使上侧的托盘收容单元205a上升。而且，把托盘设置装置206的保持钩206a打开，把空的标准托盘KST换载到托盘传送臂205的上侧的托盘收容单元205a中。如果空的标准托盘KST换载到了上侧的托盘收容单元205a中，则再次使第1液压缸36动作，使得上侧的托盘收容单元205a下降到原来位置。
在该状态下如果被设置到卸载机400的窗口406中的标准托盘KST满载，则如图14所示，首先打开窗口406的保持钩406a，通过使升降台407下降，满载的标准托盘KST向Z轴方向下降到位于托盘传送臂205的下方。
而且，如图15所示，使托盘传送臂205沿X轴方向移动到位于升降台407的正上方，在该位置，如图16所示，使上侧的托盘收容单元205a移动到卸载机400的窗口406的同时，使下侧的托盘收容单元205b下降到升降台407。上侧的托盘收容单元205a通过使第1液压缸36动作而上升，下侧的托盘收容单元205 b通过使第2液压缸37动作而下降。
在图6所示的状态下，通过闭合被设置到卸载机400的窗口406中的保持钩406a，保持由上侧的托盘收容单元205a运送到这里的空的标准托盘KST。另外，通过闭合被设置在下侧的托盘收容单元205b中的钩40，把搭载到升降台407上满载的标准托盘KST保持在下侧的托盘收容单元205b中。
图17示出该状态，在卸载机400的窗口406中由于设置着空的标准托盘KST，因此以后能够从试验托盘TST换载下一个被试验IC。
保持2个满载的标准托盘KST的托盘传送臂205移动到被分配给这些标准托盘KST的类型的试验完毕IC储料器202(STK-1～8)，在这里收容标准托盘KST。即，如果设被保持在图17所示的托盘传送臂205的右侧的标准托盘KST在试验完毕IC储料器202中属于类型STK-4，被保持在左侧的标准托盘KST属于类型STK-2，则如图18所示，使托盘传送臂205沿着X方向移动直到右侧的托盘收容单元205b位于试验完毕IC储料器STK-4的正上方，在该位置仅使右侧的托盘传送臂205的下侧的托盘收容单元205b沿Z轴方向下降。
与此同时，使试验完毕IC储料器STK-4的升降机204上升，接受满载的标准托盘KST。如果升降机204到达下侧的托盘收容单元205b，则打开该托盘收容单元205b的钩40，把标准托盘KST换载到升降机204上。而且，通过使升降机204下降到原来位置，如图20所示，能够把满载了被试验IC的标准托盘KST收容到被分配到该托盘的储料器STK-4中。另外在该期间，升降台407上升到卸载机400的窗口406。
与此相同，为了把被保持在左侧的托盘传送臂205中的标准托盘KST收容在储料器STK-2中，如图19所示，使托盘传送臂205沿着X轴方向移动直到左侧的托盘收容单元205b位于试验完毕IC储料器STK-2的正上方，在该位置仅使左侧的托盘传送臂205的下侧的托盘收容单元205b沿Z轴方向下降。与此同时，使试验完毕IC储料器STK-2的升降机204上升，接受满载的标准托盘KST。如果升降机204到达下侧的托盘收容单元205b，则打开该托盘收容单元205b的钩40，把标准托盘KST换载到升降机204上。而且，通过使升降机204下降到原来位置，如图20所示，把满载了被试验IC的标准托盘KST收容在被分配给该托盘的储料器STK-2中。
这样，依据本实施例的IC试验装置1，则在卸载机400中进行满载的标准托盘KST与空的标准托盘KST的交换时，如图16所示，由于在该位置能够不移动托盘传送臂205而同时进行满载的托盘的取出和空托盘的送入，因此交换行程缩短相应的量，交换速度提高。而且，由于在交换行程的前一阶段，即图16所示的阶段能够对于卸载机400进行空托盘的设置，因此即使满载的托盘的传送尚未结束，也能够开始来自卸载机400中的试验托盘的被试验IC的换载作业，能够提高IC试验装置的生产率。
另外，由于2对托盘收容单元205的节距P1设定为与托盘设置装置206的节距P2，装载机300以及卸载机400的窗口306、406的各节距P3、P4、P5，IC存放单元200的储料器STK的节距P6相等，因此在相同的位置能够同时移动2个标准托盘KST，由此也提高了交换速度。
第2实施例在本发明的IC试验装置中使用的托盘传送臂205的托盘收容单元205a、205b中具有各种利用方法。
在上述第1实施例中，使用在卸载机400中把满载的标准托盘KST与空的标准托盘KST进行交换的方法，然而也可以暂时存放配置在卸载机400中的4个标准托盘KST的某一个，在该期间把其它类型的标准托盘KST设置到卸载机400中进行了被试验IC的换载以后，把前面存放到托盘传送臂205中的标准托盘KST再次设置在卸载机400中进行下一个被试验IC的换载。
即，如已经说明过的那样，在发生了被分类为分配给被配置在卸载机400的窗口406中的4个标准托盘KST类型以外的类型的被试验IC的情况下，从卸载机400把1个标准托盘KST返回到IC存放单元200中，代替该托盘，把要存放新发生的的类型的被试验IC的标准托盘转送到卸载机400，如果存放了其被试验IC，则在分类作业的过程中如果进行标准托盘KST的交换，则在其期间必须就中断分类作业，存在着生产率降低的问题。因此，在本实施例的IC试验装置1中，在卸载机400的试验托盘TST与窗口406之间设置缓冲部件405，使得在该缓冲部件405上暂时存放偶尔发生的类型的被试验IC。
与此不同或者与此相并用，还能够采用图21～图28所示的托盘的处理方法。IC试验装置1由于使用与上述第1实施例相同的装置，因此省略其详细的说明。
首先，图21是示出在一方的卸载机400中被试验IC从试验托盘TST换载到标准托盘KST的剖面图(与图10相当)，说明了暂时取出右侧的标准托盘KST，作为另一个托盘把空的标准托盘KST搬送到右侧的窗口406中的情况。
首先，如图21所示，在使卸载机400的右侧的升降台407下降的同时，使空托盘储料器STK-E的升降机204上升，把空托盘KST送入到托盘传送臂205右侧(也可以是左侧)的下侧托盘收容单元205b中。通过预先闭合保持钩406b保持被设置在卸载机400右侧的窗口406中的标准托盘KST。另外，如果把空托盘KST送入到托盘传送臂205下侧的托盘收容单元205b中，则通过闭合钩40保持该空托盘KST。
其次，如图22所示，使托盘传送臂205沿着X轴方向移动到位于卸载机400的正下方，在这里，使要把被保持在下侧的托盘收容单元205b中的空托盘送入到升降台407中的下侧的托盘收容单元205b下降。如果下侧的托盘收容单元205b接近升降台407，则打开下侧的托盘收容单元的钩40把空托盘KST装载到升降台407上。
与此同时或者与此前后，使上侧的托盘收容单元205a上升，取出保持在卸载机400的窗口406中的标准托盘KST。即，如果上侧的托盘收容单元205a接近窗口406，并且在托盘收容单元205b中装载了标准托盘KST，则打开保持钩406a释放标准托盘KST，把该标准托盘KST送入到托盘收容单元205a中。
其次，如图23所示，使上侧的托盘收容单元205a下降到原来位置的同时，使下侧的托盘收容单元205b上升到原来位置。由此，从卸载机400的窗口406把标准托盘KST送出到上侧的托盘收容单元205b中，从下侧的托盘收容单元205b把空托盘KST送入到升降台407上。
而且，如图24所示，使托盘传送臂205沿着X轴方向移动暂时从其位置避开以后，升降台407上升到窗口406，通过闭合保持钩406a把空托盘KST设置在卸载机400的窗部406中。在该图所示的状态下，把分配给空托盘KST的类型的被试验IC换载到该空托盘KST上。另外，该状态下的托盘传送臂205的退避位置不限定于图示的原来位置，也可以是其它的位置。
如果结束了该换载作业，则暂时存放在当前托盘传送臂205中的作业过程中的空托盘KST返回到原来的窗口406中。即，如图25所示，打开卸载机400的保持钩406a释放标准托盘KST以后，使升降台407下降。
接着，如图26所示，使托盘传送臂205移动到卸载机40的正下方，在该位置，如图27所示，使得要把存放在上侧的托盘存放单元205b中的作业过程中的标准托盘KST送入到卸载机400的窗口406中的该上侧的托盘收容单元205a上升，如果上侧的托盘收容单元205a接近窗口406，则闭合该窗口的保持钩406a保持标准托盘KST。
与此同时或者与此前后，使下侧的托盘收容单元205b下降，取出放置在升降台407上的标准托盘KST。即，如果下侧的托盘收容单元205b接近升降台407则闭合钩40保持标准托盘KST。而且，使上侧的托盘收容单元205a下降到原来位置的同时，使下侧的托盘收容单元205b上升到原来位置。由此，对于卸载机400的窗口406送入作业过程中的标准托盘KST，对于下侧的托盘收容单元205b送入标准托盘KST。
而且，如图28所示，在使托盘传送臂205沿着X轴方向移动暂时从其位置退避了以后，使升降台407上升到窗口406。被保持在托盘传送臂205的下侧的托盘传送单元205b中的标准托盘KST也可以搬运到对应于其类型的IC存放单元200的储料器STK中，在图28所示的状态下待机，如果接着发生了属于其类型的被试验IC，可以按照图21～图28所示的顺序再次进行标准托盘KST的交换。
这样，依据本实施例的IC试验装置1，由于暂时把交换作业过程中的标准托盘KST存放在托盘传送臂205的托盘收容单元205a中，在该状态下进行待机直到结束对于其它的标准托盘KST的换载，因此与向IC存放单元一个个地运送该标准托盘相比提高了交换速度，生产率也将提高。
另外，本实施例中，把作业过程中的标准托盘KST存放在上侧的托盘收容单元205b中，然而本发明并不限定于这种方法，也可以存放在下侧的托盘收容单元205b中。
第3实施例在上述的实施例中，把本发明的托盘传送臂205适用于卸载机400中的标准托盘KST的交换中，然而本发明的托盘传送臂205也能够适应于装载机300中的标准托盘KST的交换。
IC试验装置1由于使用与上述的第1实施例相同的装置，因此省略其详细的说明，在装载机300中，如图10所示，把放入了试验前的被试验IC的标准托盘KST(被收容在IC存放单元200的储料器STK-B中)搬运到该载机300的窗口36中，在这里把被试验IC换载到试验托盘TST以后，把空的标准托盘KST搬运到IC存储单元200的空托盘储料器STK-E中。
参照图29～图37说明标准托盘的处理方法。
图29～图37是与图10相当的剖面图，示出在装载机300的一对窗口306、306中，把空的标准托盘KST取出到IC存放单元200的空托盘储料器STK-E中，在该窗口306、306中设置搭载了被试验IC的标准托盘KST的一系列的动作。
首先图29示出在装载机300的窗口306、306中设置满载了试验前的被试验IC的标准托盘KST，把试验前的被试验IC换载到被搬入该装载机300中的试验托盘TST的阶段。这时，设置在窗口306中的保持钩306a闭合。
另外，在以下的例中，以被设置到装载机300的2个窗口306、306中的标准托盘KST的每一个都为空的情况为例说明本发明，然而即使某一方的标准托盘KST为空的情况下，仅使用托盘传送臂205一方的托盘收容单元也可以进行同样的动作。
首先，如图30所示，在设置到装载机300的窗口306中的标准托盘KST空出之前，使试验前IC储料器201的储料器(以下，称为STK-B)的升降机204上升，使迭放的标准托盘KST上升到托盘设置装置207。这时，托盘设置装置207的保持钩207a最初为打开，如果用升降机204把标准托盘KST设置到托盘设置装置207中则闭合。由此，即使升降机204下降也能够保持满载了被试验IC的标准托盘KST。另外，托盘设置装置207与在第1实施例中说明过的托盘设置装置206结构相同。
如果满载的标准托盘KST设置到托盘设置装置207中，则如图31所示，使托盘传送臂205沿着X轴方向移动到托盘设置装置207的正下方，在该位置使第1液压缸36动作使上侧的托盘收容单元205a上升。而且，打开托盘设置装置207的保持钩207a把满载的标准托盘KST换载到托盘传送臂205的上侧的托盘收容单元205a中。如果满载的标准托盘KST换载到上侧的托盘收容单元205b中，则再次使第1液压缸36动作使上侧的托盘收容单元205a下降到原来位置。
在该状态下如果被设置到装载机300的窗口306中的标准托盘KST成为空托盘，则如图32所示，首先打开窗口306的保持钩306b，使升降机307下降，由此使空的标准托盘KST向Z轴方向下降直到位于托盘传送臂205的下方。
而且，如图33所示使托盘传送臂205沿着X轴方向移动直到位于升降台307的正上方，在该位置，如图34所示，使上侧的托盘收容单元205a上升到装载机300的窗口306的同时，使下侧的托盘收容单元205b下降到升降台307。通过使第1液压缸36动作使上侧的托盘收容单元205a上升，通过使第2液压缸37动作使下侧的托盘收容单元205b下降。
在图34所示的状态中，通过闭合设置在装载机300的窗口306中的保持钩306b，保持由上侧的托盘收容单元205a运送到这里的满载的标准托盘KST。另外，通过闭合设置在下侧的托盘收容单元205b中的钩40，把搭载在升降台307上的空托盘KST保持在下侧的托盘收容单元205b中。
图35示出该状态，由于在装载机300的窗口306中设置了满载的标准托盘KST，因此能够把试验前的被试验IC换载到试验托盘TST上。
保持着2个空标准托盘KST的托盘传送臂205移动到试验完毕IC储料器202的空托盘储料器STK-E，把空托盘KST收容在该储料器中。即，首先如图36所示，使托盘传送臂205暂时沿着X方向移动，在使升降台307返回到原来位置以后，如图37所示，使托盘传送臂205沿着X轴方向移动直到位于空托盘储料器STK-E的正上方，在该位置，使托盘传送臂205的下侧的托盘收容单元205b沿Z轴方向下降。
另外，本实施例中，由于在空托盘储料器STK-E的正上方设置着装载机300的窗口306，因此如图36所示，虽然暂时使托盘传送臂205脱离X轴方向，但在装载机300的窗口306与空托盘储料器STK-E在水平方向设置为不同位置的情况下，可以直接使托盘传送臂205移动到空托盘储料器STK-E。
与此同时，使空托盘储料器STK-E的升降机204上升，接受空的标准托盘KST。如果升降机204到达下侧的托盘收容单元205b，则打开该托盘收容单元205b的钩40，把空的标准托盘换载到升降机204上。而且，通过使升降机204下降到原来位置，能够把空的标准托盘KST收容到空托盘储料器STK-E中。
这样，依据本实施例的IC试验装置1，则在装载机300中把空的标准托盘KST与此后要进行试验的标准托盘KST进行交换时，如图34所示，不移动托盘传送臂205而在其位置能够同时进行空托盘的接受和满载的托盘的送出，因此交换行程缩短相应的部分，托盘的交换速度将提高。而且，由于在交换行程的前一阶段即图34所示的阶段能够对于装载机300进行满载的托盘的设置，因此即使空托盘的传送尚未结束，也能够开始被试验IC向装载机300中的试验托盘的换载，能够提高IC试验装置的生产率。
另外，由于2对托盘收容单元205的节距P1设置为与托盘设置装置207的节距P7，装载机300以及卸载机400的窗口306、406的各个节距P3、P4、P5，IC存放单元200的储料器STK的节距P6相等(参照图10)，因此在相同的位置能够同时移动2个标准托盘KST，由此也将提高交换速度。
另外，以上所说明的实施例是为了易于理解本发明而记述的，并不是为了限定本发明的实施例。从而，上述实施例中公开的各要素也包括属于本发明技术范围内所有的技术变更及其等价形式。
以上所述的本发明，在减少托盘交换时的动作行程的同时，将格外地提高IC等的换载作业的生产率。另外，本发明的托盘传送臂由于基本上沿着上下方向设置一对托盘收容单元，因此在适用于IC试验装置的情况下，能够特别地扩大水平方向的可移动范围。
权利要求
1．一种托盘传送臂，其特征在于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元。
2．如权利要求1中记述的托盘传送臂，其特征在于具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上对于上下方向移动的驱动装置。
3．如权利要求1或2中记述的托盘传送臂，其特征在于上述一对托盘收容单元设置成为相互背对。
4．一种托盘的换载装置，在把设置在第1位置的第1托盘换载到第2位置，把设置在第3位置的第2托盘换载到上述第1位置的托盘的换载装置中，特征在于具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1以及第2托盘的至少一对托盘收容单元，并且把上述一对托盘收容单元设置成基本上能够沿着上下方向移动的托盘传送装置。
5．如权利要求4中记述的托盘的换载装置，其特征在于还具有装载被设置在上述第1位置的第1托盘使其基本上沿着上下方向移动的托盘升降装置。
6．如权利要求4或5中记述的托盘的换载装置，其特征在于上述第2位置以及上述第3位置的每一个对于上述第1位置基本上至少位于其上方，其下方或者水平方向的某一方。
7．如权利要求4～6的任一项中记述的托盘的换载装置，其特征在于上述第1位置是托盘的卸载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是搭载结束了试验的被试验IC的托盘，上述第2托盘是空托盘。
8．如权利要求4～6的任一项中记述的托盘的换载装置，其特征在于上述第1位置是托盘的装载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是结束了被试验IC的换载的空托盘，上述第2托盘是搭载了试验前的被试验IC的托盘。
9．如权利要求4～8的任一项中记述的托盘的换载装置，其特征在于还具有在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中装载上述第2托盘的托盘设置装置。
10．一种IC试验装置，这是把搭载了被试验IC的第1种托盘投入到装载机中，在被搬运到试验工艺中的第2种托盘中换载上述被试验IC，把上述第2类型托盘投入到上述试验工艺中把上述被试验IC进行试验的同时在上述每个被试验IC中存储其试验结果，把结束了上述试验的第2种托盘取出到卸载机中，根据上述试验结果从上述第2种托盘把上述被试验IC换载到上述第1种托盘的同时，在上述卸载机中，把结束了从上述第2种托盘的被试验IC的换载的第1种托盘从该卸载机中取出的同时，把另一第1种托盘投入到该卸载机中的IC试验装置，该IC试验装置的特征在于具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1种托盘的至少一对托盘收容单元的托盘传送装置。
11．如权利要求10中记述的IC试验装置，其特征在于具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。
12．如权利要求10或11中记述的IC试验装置，其特征在于还具有装载被设置在上述卸载机中的第1种托盘使其沿着上下方向移动的托盘升降装置。
13．如权利要求10～12的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中还具有放置其它第1种托盘的托盘设置装置。
14．如权利要求10～13的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于在上述卸载机中还设置着保持上述第1种托盘的保持装置。
15．如权利要求10～14的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于基本上沿着水平方向设置多对上述卸载机，基本上沿着上述水平方向以与上述卸载机相同的节距设置多对上述托盘传送装置的托盘收容单元。
16．如权利要求10～16的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于在上述卸载机中，上述托盘传送装置的托盘收容单元的任一方能够暂时收容被试验IC换载过程中的上述第1种托盘。
17．一种IC试验装置，这是向装载机中投入搭载了被试验IC的第1种托盘，在被搬运到试验工艺中的第2种托盘中换载上述被试验IC，把上述第2种托盘投入到上述试验工艺中把上述被试验IC进行试验的同时在上述每个被试验IC中存储其试验结果，把结束了上述试验的第2种托盘取出到卸载机中，根据上述试验结果把上述被试验IC从上述第2种托盘换载到上述第1种托盘的同时，在上述装载机中，把结束了向上述第2种托盘的被试验IC的换载的第1种托盘从该装载机中取出的同时，把搭载了此后要进行试验的被试验IC的第1种托盘投入到该装载机中的IC试验装置，该IC试验装置的特征在于具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1种托盘的至少一对托盘收容单元的托盘传送装置。
18．如权利要求17中记述的IC试验装置，其特征在于具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。
19．如权利要求17或18中记述的IC试验装置，其特征在于还具有装载被设置在上述装载机中的第1种托盘使其沿着上下方向移动的托盘升降装置。
20．如权利要求17～19的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中还具有装载搭载了此后要进行试验的被试验IC的第1种托盘的托盘设置装置。
21．如权利要求17～20的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于在上述装载机中设置着保持上述第1种托盘的保持装置。
22．如权利要求17～21的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于基本上沿着水平方向设置着多对上述装载机，基本上沿着上述水平方向以与上述装载机相同的节距设置着多对上述托盘传送装置的托盘收容单元。
23．如权利要求10～22的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于还具有检测在上述托盘收容单元中是否收容着第1种托盘的传感器。
24．一种托盘的处理方法，这是使被设置在上述第1位置的第1种托盘移动到对于上述第1位置至少基本上位于其下方的第2位置以后，使被设置在对于上述第1位置基本上至少位于其下方的第3位置的第2托盘移动到上述第1位置的托盘的处理方法，该处理方法的特征在于在基本上沿着上下方向在上述第1位置与上述第2或第3位置之间设置的能够收容至少2个托盘的托盘传送臂的上侧的托盘收容单元中，收容上述第2托盘，与下侧的托盘收容单元一起移动到上述第1位置，把上述第1托盘收容在上述下侧的托盘收容单元中的同时使上述上侧的托盘收容单元向上方移动，使收容在该托盘收容装置中的上述第2托盘设置在上述第1位置。
25．如权利要求24中记述的托盘的处理方法，其特征在于把上述第1托盘暂时收容在上述托盘传送臂的托盘收容单元的任一方中，把第2或第3托盘设置在上述第1位置的同时，从该第1位置取出了上述第2或第3托盘以后，把该收容到上述托盘收容单元中的上述第1托盘再次设置到上述第1位置。
全文摘要
本发明目的在于减少托盘交换时的动作行程,提高生产率。在用于交换标准托盘的托盘传送臂205上沿着上下方向设置一对托盘收容单元205a、205b,还设置着使这些托盘收容单元相互独立地沿上下方向移动的液压缸36、37。
文档编号G01R31/28GK1232185SQ9910500
公开日1999年10月20日 申请日期1999年4月14日 优先权日1998年4月14日
发明者中村浩人 申请人:株式会社爱德万测试