技术编号：6140394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种超声扫描显微镜的扫描方式，特别涉及一种根据产品的目标扫描位置进行快速扫描的扫 描方式。背景技术超声显微镜，是指利用样品声学性能的差别，用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声像的装置。有吸收式超声显微镜、激光扫描法超声显微镜和布格拉衍射成像法超声显微镜等。用于显示介质材料内部的微小结构，能观察材料内部与声学性质差别有关的结构。在微电子学上，利用反射式声镜，可对大規模集成电路不同层次进行非破坏性观察。而大规模集成电路往往体积比较小，在超声扫...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。