专利名称：一种超声扫描显微镜的扫描方式的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种超声扫描显微镜的扫描方式，特别涉及一种根据产品的目标扫描位置进行快速扫描的扫 描方式。
背景技术：
超声显微镜，是指利用样品声学性能的差别，用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声像的装置。有吸收式超声显微镜、激光扫描法超声显微镜和布格拉衍射成像法超声显微镜等。用于显示介质材料内部的微小结构，能观察材料内部与声学性质差别有关的结构。在微电子学上，利用反射式声镜，可对大規模集成电路不同层次进行非破坏性观察。而大规模集成电路往往体积比较小，在超声扫描显微镜的一次扫描中可扫描大批量的集成电路，但问题在于，通常需要扫描的目标位置只占整体的很小部分，也就是说只要扫描很小的部分即可完成检测任务。因此，目前的整体扫描的方式速度慢，效率低，极大地影响了产品的检测扫描效率。
发明内容
为解决现有超声扫描显微镜扫描大批量集成电路产品时速度慢，效率低的问题，本发明提供以下技术方案—种超声扫描显微镜的扫描方式，包括以下步骤A、将批量目标产品整齐排列于辅助托板中，根据目标产品的大小排成多行多列矩阵式，将辅助托板固定于超声扫描显微镜的检测槽中；B、确定产品扫描的基准点；C、根据产品的尺寸和测试要求设定出超声显微镜的横向扫描范围和纵向移动间距等參数；D、对目标产品的目标位置依次进行扫描。作为本发明的一种优选方案，所述步骤D中，横向移动为匀速移动，纵向移动为等距离跳跃式移动。作为本发明的另ー种优选方案，所述步骤D中的纵向等距离跳跃式移动分为两种，当超声扫描显微镜的探头位于产品目标位置上方时，为短距离衔接跳跃式移动；当超声扫描显微镜的探头离开产品目标位置上方吋，为长距离跳跃式移动，直接移动到下一行目标产品的目标位置上方。本发明有如下优点直接对产品的目标位置进行扫描，避免在不需要扫描的位置上浪费时间，极大地提高了超声扫描显微镜的扫描效率，也在一定程度上提高了超声扫描显微镜的利用率。
具体实施例方式下面对该エ艺实施例作详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。本实施例为扫描一种三针引脚的集成芯片，由于该芯片的引脚比较长，扫描范围只占到整体面积的七分之一左右，其具体扫描步骤如下A、将批量三针引脚芯片整齐排列于辅助托板中，一次大约排列500个，排列成10行50列的矩阵，将辅助托板固定于超声扫描显微镜的检测槽中；B、确定产品扫描的基准点，以辅助托盘的左上角产品位置为基准点；C、根据产品的尺寸,设定超声扫描显微镜的横向扫描范围为300mm,纵向短距离衔接跳跃式移动距离为3mm，连续移动10次，纵向长距离跳跃式移动距离为20mm，同时设定好其他相关參数；D、对三针引脚芯片的目标位置依次进行扫描。 从其准点开始，横向一次扫描完成后，纵向移动3mm,再一次进行横向扫描,纵向移动10次后，第11次纵向移动20mm，继续进行横向扫描，并依此反复，直到全部扫描完成。该方法主要省去了扫描引脚部分20_长度的范围，这样极大地提高了超声扫描显微镜的扫描速度和效率，给企业带来了一定的经济效益。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
之一，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
权利要求
1.ー种超声扫描显微镜的扫描方式，其特征在于该方法包括以下步骤 A、将批量目标产品整齐排列于辅助托板中，根据目标产品的大小排成多行多列矩阵式，将辅助托板固定于超声扫描显微镜的检测槽中； B、确定产品扫描的基准点； C、根据产品的尺寸和测试要求设定出超声显微镜的横向扫描范围和纵向移动间距等參数； D、对目标产品的目标位置依次进行扫描。
2.根据权利要求I所述的ー种超声扫描显微镜的扫描方式，其特征在于所述步骤D中，横向移动为匀速移动，纵向移动为等距离跳跃式移动。
3.根据权利要求2所述的ー种超声扫描显微镜的扫描方式，其特征在于所述步骤D中的纵向等距离跳跃式移动分为两种，当超声扫描显微镜的探头位于产品目标位置上方时，为短距离衔接跳跃式移动；当超声扫描显微镜的探头离开产品目标位置上方吋，为长距离跳跃式移动，直接移动到下一行目标产品的目标位置上方。
全文摘要
本发明提供了一种超声扫描显微镜的扫描方式，包括以下步骤A、将批量目标产品整齐排列于辅助托板中，根据目标产品的大小排成多行多列矩阵式，将辅助托板固定于超声扫描显微镜的检测槽中；B、确定产品扫描的基准点；C、根据产品的尺寸和测试要求设定出超声显微镜的横向扫描范围和纵向移动间距等参数；D、对目标产品的目标位置依次进行扫描。本发明有如下优点直接对产品的目标位置进行扫描，避免在不需要扫描的位置上浪费时间，极大地提高了超声扫描显微镜的扫描效率，也在一定程度上提高了超声扫描显微镜的利用率。
文档编号G01N29/06GK102854250SQ20111017840
公开日2013年1月2日 申请日期2011年6月28日 优先权日2011年6月28日
发明者刘学森 申请人:上海华碧检测技术有限公司